��ࡱ� > �� | ~ ���� { � � � � � � W ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� g� �� � bjbjVV � r< r< � �� �� �� � � � � � � � � ���� �� � & ( N N N N 1� 1� 1� � � � � � � � $ "� � Ԝ F +� � 1� � @ 1� 1� 1� +� � � N N �� @� ɗ ɗ ɗ 1� X � N � N � ɗ 1� � ɗ ɗ ɗ N ���� ��L:� ���� �� @ ɗ � V� 0 �� ɗ � ɗ � ɗ � � ɗ ( 1� 1� ɗ 1� 1� 1� 1� 1� +� +� ɗ 1� 1� 1� �� 1� 1� 1� 1� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� � 1� 1� 1� 1� 1� 1� 1� 1� 1� � � : EMBED PBrush Fig.4.1: a) Micro-membrane (pressure= 0[Pa]), b) Micro-membrane (pressure=value [Pa]). Fig.4.2. : a) Micro-membrane with optical grating and laser beam (pressure= 0[Pa]), b) Micro-membrane with optical grating when pressure is value [Pa]. Here EMBED Equation.3 4. Working principle Most described and used pressure sensor is micro-electromechanical pressure sensor, working principle of which is based on deformation of polysilicon micro-membrane and change of resistance connected in Wheatstone configuration. Novel modeled MOEMS pressure sensor is made with periodical diffraction grading, which is integrated with semiconductor laser diode and photo element matrix. The grading in the micro-membrane is performed using some specific etching techniques. Working principle of particular pressure sensor can be described as follows: beam of the laser in diffraction grating is splitted into exactly described positions (diffraction maximums). If some pressure is applied deformation of micro-membrane changes distance between diffraction maximums. And this displacement change can be calibrated in pressure units, like change in resistance is calibrated into pressure units in the case of piezoresistive sensor. Changing distance between elements making optical pair, sensitivity of the device can be increased remarkably. Principle scheme of the object without optical grating and with it is presented in Fig 4.1, 4.2 respectively. " p q } ) * + , - . / 0 G � � � � � � �����������û�û����~m���i�Z���� h�l 5�CJ OJ QJ ^J aJ h�Q/ !j� h�O� h�l CJ EH��UaJ 'j:�Q h�O� h�l CJ EH��UVaJ h�O� h�l CJ EH��aJ !j h�O� h�l CJ EH��UaJ h�O� h�l CJ aJ h�l CJ aJ h�l 5�CJ aJ j� h�l Uj9�Q h�l UVj h�l Uh�l h�)' h�l j hh � UmH nH u" p q r � � � � R � F � $$If a$gdh � > kd� $$If �l ��� ' ' �'� � � � � 4� 4� l a�t yt�l $$G$ If a$gdh � Q kd $$If �l ���0 �' � z �'� � � � � � 4� 4� l a�t yt�l $$G$ If a$gdh � r - . / 0 F G � � � � � � � � � � � � � � $ � a$gd�l $a$gd�l $ � ^ a$gd�l Q kd� $$If �l ��0 �'�� �z �'� � � � � � 4� 4� l a�t yt�l $If gdh � , 1�h��/ ��=!��"��#��$��%� ���� ��@=�_ ��X���k�pZD�Nx� � + PT� �^P �^ �x읿�-�����۰�00g���<���`��z�(��hB��� �+J(U�P����q�]{��&��W�MV}�9\l�X�5Y��}�Y�O///�S��x�����w��������//��_^���|��//z������'������'���2��ɻ̮�y����c����V����ۯ��F��W�z=m�w����+�U_���!�=���I����~��>�_���Ǽ�k>���?���q�F��� @ a��� �@! @ � ���&� @ �D ��n+ @ � ��= @ � � �7��&V@`����~��/�l��* �N �;��@�:���ۗ/_�����Lb � �#���� p3��� �f'X� �@�6C�a@`R����|=:O�'�}� @`� �w �x�����|8ޝ'b@ �o��L���+Q��lW^���0�!�|淤��O?� � Dy�@ �� �w�;���@5ռ��?� ������s^�:��T�! @`P��Ao nA �0�k�E�j�ha���������K�! @`v���� �C �J�+�wM�j?_QM��� �!����V�( �,�R��E픏g�gcx@ 3@��x��8E`Q�.v����S+3 � "���f� Ж���]�?��ۺ�u@ hO �۞1+@ �X���Y~�w��Xp� N@��F�D@`6�����N���4��!�A��3�_g7�p �u���G���[>������n�+� 0%� �! �3L��מɿ�&o�_x[��_�r��R�3�2� #���� Ў����%D��`��]P � 0#��w �! �S*����p���"L� �� �G�C�\F�R�ʇ"�O_�� @�n�� �C ���_�ko����v�#,@���[��( Н��_i�-.�}����! �!�^܄H � @ 0�_CA� @ �o��L�� @ F �k(h@ � �� p� � @�� @ � � пn2!B � ����@ � � �7�M&D@ � #��54 @ � @��Ʉ@ � `п�� @ �@ �� 7�! @ � � ��PЀ @ @ ��&" @ ���_xA� `� ��,HV D8�k�����A�ȑ��O�@oy�R�}�J�_E��7�G�D;��;1B (���il�Vѿ<#�D ��ި�\� �@�n+>����G�o$������hG�}�'@@`� �7l�;x���E�#툯F�! ��'4`�)ъ#�7���|�-�h��w�':@`� ��r>��*#���@�S�X� @��(>Ƥ�UF�o<������h�q�'4@�$�� [�N�,�ѿ! D;�ey��J �{ZF��,�C���G�b�vֽ�z� 2�_��4� D���_�oT��zV!y�$���W|�L D���ߨ�/��a�ю��jOP�@J ���=x����E�&�E�6 �� ��I yz���Z�����]�j A 1 �;@`�@�S�Z����H&u� pL@�^��:� D��~�?i`y��[�v�B�@dT�"��q�@�R��=�9�@�CY ;@��,Q���V ѿ�v�L ڹw, 1 ~G.1S����ؖ8٘@�sS 5@�6���G���_�{�� D;��U �A ��~�g��hu���#��@��P#2�@��SMÌVѿM���!��{��h��ԙ�=�VѿCoG��J ��&�. ��� ��E���_�{�Ȏ�v�]j��@(�ߣy��k�U@���N�?�h�?�L X�$���W�ZE��[�$�NI Zp� A ~�,3�:���G݉�u�h �L L�$����Lx]4Z�C�z���u�@��R�@�����[&������q D��eB�%�o�*�&�h���fauj�ҀKu@P�M �;u���h��;�&ĥ� DK�e�A����U���� ���&&�g DK��A�7��Y���h��[l: �e�b�� �� �"Ղ@����m���9?�h���: �&����A����q���%ߒ�� �� �w���щh%��q�%�%�( �� ���@����-� =� -�D�� ~?r3�_O Z�C�^����@�|0�:��&���S]Ƌ$Z�C����h(�R�o�@t�� �w���ϙh���oѥ���y��C�7�數c9�h���� �C��h)��� :LJ ��)/��h���`a��hYaR���pL �묬 N�J��p��`�e�"�� 0)��`e��;�*���&&�� DK �j܆�K���s:�����t@�$-1��I �˜L����9���[�N D� �*܆�3�_�%e����8��p[�%-78��I �- �܊V�п�05"-7L*p� ~�s̖��8�o��� �h���� �H ����龞@����~a�-�h�aF���pC �붖 X���r��e7R�@ 0�ﰅ��cѪ���6&�f�e��$C��o�,��eѪ�wy��Uђ�5A�� �w5s� �h� ��fa�1�hIb.Հ�p@ �븂 Z�҆�v+����� �� 0����߭k�����V&���剉��B`v�߆�����5���^� �D�� ���Dпk������5�o��q�������B`j�_�uc�Ȣ5������%-UL-(p�@�����{�����h�kG Z��EA�'�%��m����M ZEC�n��B`�@�l1���sLA �n�Ҝ@����m��X�3�h c ���� ��s�>�h� �;����� DK�� ܆���#���E+g�������0�x�I ���i W�V�пUۂAX%-gL*.p#@��fX.�"���{�,��J Z�YD�&%���Z &�+Z-C�N�9quT��Ƥ�!0&�﨩=�_� �7��&�&���1E^A`R��&y� D+d�߃��X$-sL*4p�@�.fT:��V�п��+z$-s�&"��@�z,S�����ܦ8="�h�cR���� �w�Tէh% �u����%�qD�@`R����0O�V�п�� !�@��1���m�C ��9���N�J�������D���<��t�� ���D�_���7,�E Z��Nq�0�!��*{�L����e�C�R�R�8jO 0��yc�V�пlL@�A Z �Hq�*�!��}$MZc�V�пc�;��D ZGS� � ��������r��l]�@�,2���I�C �;L�Ƒ�h������ p �hYdY�'� ���<��� D�\�߫w� �%��EB`�_jĘ��-����&'-� �,p�@�N��=��l�=�fb��@�\2���=�@ �{gRf�M�j�ws;p� D�%#�|������);�V�п6KD%-��,=� �@�F-s��`��ؗx9%�h��v}�� �w�<��h�fk�-�e����A�F��[20���V�п�{��8N ZF�Q_�4F&��=�>�ѕ@�j���X,�hed�o�� �7\�0�h� �;�&��DK*wI օ��пs%��F+U�ߘ���;��T�� 8�[ ~;�[�:O Z�B���+̄@-�hy����� ��6Q2�V��������AD�+c���@�� I�A�������%�DK-��+B`@���3>��V�п�{t!-� �Dp � ~�$W��@�"���f�`;����B�� 0 ��NZ��H�)��H�_|��]�#��n����U(���=LD���]� ���п�fb�Z&�B����hB Z�P��:@�6I�mI ZyB���M؆@F Z�� 4X@�f�����V�п��I<�E Z�P��Z@��J�!��V�п!�5AD Z�i-4��� ~J��RM ZmB�Vo B�*���h� Д ���T����&�o���Zx#-�4���P���I D+L��I7*n�L Z�J�� �@�Μ�C��0�Cow���@�L�Tq`�@�ޖRY�iѪ���-�� -� "OpM �O$C� B ZUB���p#�hɦ���8n'�����]E�$�]m_���@�ds�<�4%���)��kA ZIB�[�t#-�4U������&5"��m$�B��@�|s�
�c��DK<�j�A�.���&� � ���wx�h��.�º�� ◼�@�����{�ef�r�U;�� �w挋�9�h5��� �C��r�]��u!p ��=��U��V�пͶ�!p�@��s� �n!��=��?8�h�;��ĽH���[d�B�y��H�9J�� �7��&�9D�@�+,@�?���/��V}пGvc!К@� �_��[Q�K��9��u� �� �!П�l�[�]�� ������%�%�����+��^_�Jih�ߦ�"b���ܫKN:F 0���V���o���������z�Xa����ګ��N�*S=w��Zr+��2#!0�ۻ��� �ᒥ&:v������%T!��������U���]�>=��!��������i��p�Rne�@�填r�p���]��t�S���U��Ǝ`��9��5G���ᒥ"�W�1F�C�$Ta�x�ԛ������z�0s�����s���H��4OM Z*2���2�^���A��� 9��˖ũ� �C`��l��}��o�$��mΥ� DKE�Vh<^�(ʩ�x�|mm��P�� <��i�R���G�:}�8�h�(�Y��5����h�p� o� �7 Ђ����v��.�����fOѲ�$\ ��_6���q^[�`U�����g-�'��Mo�����/'!!I���KE9uP�{Z��O7!0��U? z�7\��Pg��$��kjy���=�V'_Ν_fA`"r��H۪8��+wr�}��X$�)!%��5������YUkfD5Y�Nt:#������� L8�̞�:ɱ�}Y��D# ����5F�s�Td��u6���o�$���Mׄf�I����@�=�Yn�H�ˆ���%!��2� h´��8L@�����K~�%i��L��iI�|��n��[���5o���D�v��^�F� ��� �n�$�p�o�䭋���#0rZ��_�h�������W��~�v#8-̊���{V�@W��[�am� �����XcCe&q��\y=}o ���q���5���_��3Q��+n6>֘��@d÷>SC��.�k�c�+O�=3���$�J*��t�q��5�-K�ɧf-q�郋LC@6|p3�o���i�V�+3ɺ�a�8������ Έ ���7��5�}t�F��d���u;�c��ᒺ�I�� �-9�B�׀*�Ps-�36�N������nt��3���\Y����;BxK�O�|N�O�${�8���l�����k4)��|x'�?�ZOO<�UC���,$Rv!V�E��%� �ᒽ8��\�����5��}87MbN\~oNWI����5�*���D�m���ь� ���ӹ:#����y %mԙ�����e�?��Ƹfc��3�[���3�|��3d�_~�F6�7\�3瀹�8��d��5��17�͝��8>5G.�|����n���Ų6X� {�q ���_;.���KkwJ�|#��)Jƿ�n)�~��������$�O����w�0��S��&����M|J]=�7p���]��2��f��v,䰻��&���d��u� Y[��V+�k�'Y��Z�h�b�6Ǯj�K\e�;�?Ci�CAI��/�!0&�������K����ֲ�������-�N��=�e�l�u���屧K\n�I��o�k�O��l�� �f$ ��Ƀ?�t���f<�\C �R�~�n����>|�'�&�7['�rŲ�B���O1����azv~8��\�9����?����N�����N"��?�z ���nϗ�/���.�+�=�����~��>y���Z_�pŜ�� ���og!B�o�d����G������(8a���q�e�콣��k+����P�՞K��4��Į�p�Ïك( p������������d4�������rS�qޞ�2>{�x� ���c���%���s��[�|����z��'Wx�Xn9�w-�[�J{ � �|�w���u?{����ptL�����������3�}��� Z�+3��p_�h� �M�!�!E�ǘ�./������d���>z�,y�я��~�s�w�+s��p_s�]��u!0/�Du,挑;�W�}�K?�/�Ur��U���Gb�Ji�@~�b��k��W��9zH��b���3�c��'���s�R�Q%�_u0�I�$y�0�#�W.�0���Ȟ �� 0�DE,��:��v�B{K?��Ur��6�M¿N͕���*~�b��k^�jS`>$ja1�ۙD����[��r����W.<�� �- ��� ��4�7��\�C��!�����3����:��s�"UQ%��\{B[ �q�L�a�� ���7���7�6�s
H�[�'�>K�Y���8 Ϝ)�B�=��p1�� �5�߭#���y�x����t�U�!x�����4�DK� ��t�7��lgҀ\Hj�������a�g�>��C��ɹI�.SAA���_A��N������o;#!02��H���3M�x���k���}V� ��ғ��=rf�7\H�� \�+~����x�� ,�]:w �=��h@������,fg���cf9���y_}��}�@ X# ��R��>K�Y�5+�C �O���?VV� B�Q�Y��*�� �B A���h@<7��>K�Y%��!b@�?���{L�J�Fy�g�>��=� �&��u}{ � �(�,�g��[��! �п^�,qA <��a�����i ��/O�@�� �D��Y����r��"~[P�&f$p_}��>C �Q�Y��*��]Wѿ�� � пAn4aB ��a�����l㜐�� пl@�)��a�����ow����'"@@����S7��>K�Y����W��>qA 8�o� @��K�Fy�g�>��� ��q���п�7 �C�/��a�����w��G&_�'@D&���|��� ^? ����xs˺, �88dq�5�B �� �L �(�4 п>�#Q@ ��sL�fP�%z 05��Է�! @�"�WW@_D:��T�l�k�� K�����@ ��؍�!�� |0����_��1�� k�⬇eC�� �E��E,tfZh�63�#�E�F���@ ��@ue��Vma���`пu�@ X$ zd��E����/���~���o�U)$ �M"iC����~��˗/���w�eStn9�lZC���bÌ,^ ��E��n�����K�� ��J��������E�ʊ� a���6R;M,[�4��(k�$��֬�W��bÖX���iӳF:1sr1:���Ҷ����|��Z��,��� v5+��&Zi�u��5=f�[�п'�1� P09S\��C�Ȥ�H`����m%�_������ڣRnQ�,�� ��WY�������X�ί���͵K�o���6���R�`���!vԠ�^�%ow�3���?�{*��s���!Pp���@ � ��Y��|�����]4��=��+ 1}di +���6+[��c֟�͖ήֿݰ�=����m�6L���T;�����o�����k�F/�יsf��Y�����l �n�8ۣ� @ �@=)��+G��R���J�N�J�1�Y`�� ��z�JN��^���ȣm3X9Q9���R�褭6ӏ=��M��ܴa�S����1z:2k��P�����rd�(ok,��y�� @`��J��1���A}pi�L��%yFi��*ɞ`�H����'{������ȣm3X?QԨ@H%p:� .>�iC��pN�۰t���6���Q���lQ��(v}�$�@ � v X�����s��r�7��(|q��]"}�iX�<���lL�c�� ��������rko�ّ�6���6� �մ�v�'5�ؙ��ژ���gÙl]��(v�� @ � jXI_{Wc�fL�t�f�-c��%K�SH{"i��������h�a駆mn:�>��#eJzU��Lz�w�Φ��=gG~,���K��Ͳ5�|��r�m���{i���f�Y���-ץg�@��wg0 � PC`����=:��ZG}KNj���my�Z��ɯ�� �=8^�k���TkҖ�2��6eciS�8mG~���ɐl�ʋ�]b�y�M7O�I�==�~�)ڰ����Ȳg�f�o� <}��s� �X+�-��\����6�[�,^y��~(��� 뱆]�Ƣ��~,�|u�}�BzՆ�c��U�/��5��v�R�dִ��%ʟ 2��i��й�E�H|g���Z֯��11���3�Բ�M;i%���S@ � гP�\k#�֗DY����l����FyU$��)���Y�i_y��,��Y�����V�}���[>��r�T:����q�����{���Źk!X��`o����F�|ٮ.�Hg%���Q9�a� � X�NkS�1�^&��Jw��FfIa�N�N�J���%]H��T���f�H{�}½�)���ZJh� \�Ǥ��&�?�V٣.$5��ހ�Z���Z֙6lJ֨�K���̂���=l� �.˥�`u�L��ZPS�PR�ʍ0��~��2@_6�\��́�l!���m���,K�ܲa��l����ֳ�uJCFꡖ�j�(�����M�'9.'�3N ��Zio����Z�l�42�+M�a�*#�.�K�����:l릝i{۽t��VE�15��� �x��Uoҹ�ៈnq9Y:%��+*�Z- �G�nk�>F�:������0�$�?��z���=6k{����_=��#��4U��g�vL$�z;�!�k�~u7#ѿnn%�@`T�`{�h: �G�i�ȕ�m,W�-0����K2�*�>���ɯ)��N�랍
<ݰ'ke6�t���t��κ��e�����qi���dj�����m}r ����qp]�v�h��ll����d�ԃt�ܓ�{r��^�bc�מ⧼l[n �����m"4ҟ�̱�f6��mv�����cw?l~��,0x|>
C � p9��l�=RJ�H��[��|N`ͥrݲG�,v��z�l�цI�${lj��梷���sѕv�ݳ�֨�K�o�e�|4T�������W�.1gW�p:K�vU�C��)e�]������s���:��fz��m�Q��P3� �Yhc�y�1��6���`���� tB� �����#�j��� �>L'�3i�v�,���G.-v�S�ݳ�'&sD�d��5}�g����r����f��n\���%S� f�g|+�K�l �#7E~�i,kB5�[�8�AGyf �6�岶|<9�'��V暤�,B��,5s�Q����')e{ s)�1�Њ�`�C�'�6c�?�� �hJ�*��*�#���q��:R�_Zs6.������iAm_�aiæl4l�h^&UW:%�R�J�\�K��t�Y��-��Y+{Rk�Y�Jk�qɔC�%�����J���1�SP9��09_�|�g��tc�mKml���t����A�:����1X��u�F.>R�Rcc҆Z��ڟ=ݸ$s͔yX���ιgƭa�l4l�����DJ���Ґ����M��t�-��Yۅ��vi�撍�FM\2rc�� o! |N��� p9&�q�h��e��dWM�Y���O�i���&�fl��%`�ڬ�'v�=3~�a.���G�ֶ�%�#o�.W�Yۅ��b��Ny��,�ʸĬٱ%h@ X#��]#C? p�L��d�Љ N���zd��͜T��s@`�O��G�� @l�7.��*�f�Ӟt�9�����(zu2}�-2� ��Y�Ռ�A�!ذ��r�.�Ԡ�K;k��vEe\�Q�Z4 d�|�]�- �K,� t�^e-iW���P��cD��U����_yɳQ�[s)]�ƛ'֓;�^jJ۶�FCF��T(�ҿ���և��\U22�
J �{��! @ ��VJ�2���>��*�U��CI�O垉� kj־~�dx�c��ҥ�s[d�p��U�� =5v�1�m9]K�X���R#2W������eg�c�ok��8A���:a�)� 4" �(�,��i�T���O�/��Z�>����B25k�Nu ��մ]�Z�#��0ѕfM|N���S�ke���0�Dvw�sq|�Y��k��8A���:a�)� 4" �(���.�ʇ"R(cJ ��~��ǔ�}k��I���ig:��i�[繞T��m��,sˉ�)O`m��avU�<]������e�F�F�麴��|���f< @ ��22��g�*�*?�����'ȶ�4�Y�W�)�Nf�:����8gY��;�����*�Y���d���)����h?O��=y� @ ��@*��/D��)����n��ԇ���m��Z�ȋt�\�L�o]��Em�5�)g���N��E��ջ#�>%"���ŵ̬ � ��8A��=9a�)� 4"`�IT������G���R��~�3z����J%��4eg=��)�>�[.�+nC�@�ղǜ�K6�:�/b�~@1�f�ӌ�.���J�(�Ϸ��l�C � Ў�I'��סI�}>��P�U�o.�O*e�hj���D��x��]�DҖ�Eլ�n��z6��K*-͚,���b߆ٳW��~��eq�&����rk�K,��V~5#��t-�N�X\G��Uh� ��=�)� �.D@�:�JJԓ=o] s��ɣ��\Q�:&�_6ˮj���u`���J�`��Yk���r�A��27u[��-tڲMԚX��J�:%�*=���a�� О���5~=G��`���,@ � �e$�M(��G�����KҰN��^�ǎ*Z�<�L�W6KT�>��t�
!uI����R&G��;Jl������ �C ��_���S ٟ�[�������~m�,�\�� ����% � �I@>�`�L�9�EW��2,���YX�H��R�����vlj� f `�L���}ׇ����_C��X�6�~п>�#Q@ � �@��qb @ ���_��( @ � ���81 � @�����H� @ uпu�@ � �� ���}$ @ � �:��:N�� @ �A ���> @ �@�o'FA � � ���q�� @�� ���� @ � |@����D@ � PG �[ljQ� @ >�}�G�� @ �#�����(@ � п>�#Q@ � �@��qb @ ���_��( @ � ���81 � @�����H� @ uпu��'��7�����/�#%@@ � ��o �w���� ������~�pE�����o���4��~�I��|��v҆ п��)A �"l�%�W�����d�WQ�6&� @ ����P >xlЇ���y�WyR��?��Cv��� �� ����$@� ��?fj�q1��^��F��� 7пnn%�@ +�y�[{���e��%�! @�Ҽ��H ���l�|X� ���7��,.C �N ��� �W>�+~��W���_� ����_+h4 `�n�W�a^�*��sc��%>��晔��m�%0�&��mG�W��A��ѿ�`gj�mg��ZY����2 ����[ޣB`� %ҋF�Л�a8��U��v!{P�?���l y��Bd������$�K���dc[�� o[e�M��I�/O���|���ٕ��&_�`���'�\�ߔ&W�K�@`|�� �ǥ� ���W�e�=�[���E{�_����㸄'�'���Y��EMqD��]�����#��I�A��@����agQѿ��_ؓ��)������9����,z �o��i��2�ѿ� p�/�����?��8FB�M �+���2����l��|�A�]���N���'2�^�ߘ�홨)��_�o �{�3�C � ~���a�Rѿ�_���YoW~� �H ���zڕ���_�o ���3KC � ~+��2�D�o ��m��o9�*0f! ���c��磦 �ѿap��*Ѭ� ��}^��@At��f��.�U�� ��Mw ����;v��߿����C�?�� p��$����u,�z����NoA�C��2� U���t @)D��. �@�C?N�@�4����t_ �B��}����"��?]r��@ �{W�p�.u��f3H5�� ��п����������A�g���U��������S�ب���^{�u�"�ѿ��� p� �w�j2�3A��[��#��?Wx��K ��\�g�;� ���� ���2���� �ߨ%�⸩��ߋ��!��?Q{��H �;M��Q* �w�M���p�o,�, � ��mT���n{B� @8Q���B �������?���� �R�Y8A �;k��o��wȍ�S��N�a�@ � ~�� Q�пA�:a� t.�,� ��]I�t�$@�C���:L�C�4p�3�I ��� ��;�Nċ �z�qւ �@��X �.M�C�z���UM�4p�3�I �[��XK����+��L�Lг�� PO ����U�{��c�q� �1#! ��п�T O�P�п��3�
.$������r��u�� �-ƅ�S�L ��6Yc}� � ���G�#@,X�@�Z^�q�����Ǣ� g\(0����V ?�S�п~v3�� @Έ)X�@��H֬�I�Z���� \�@I��q���@��I���(d�����''@ڈ&X�@�N^��O!C�:�ʄѕ ��B9�)�!��횩Yl� U ���;��5d�8��H!p!��ZR��3����c9/H�LA į���!J���>&��<"b���п7dj�\!@ C��l �!�M��q�.�"@�n'U��$@ C���o�� �#�f!F\B ��+�O ��;�&&���?.��@���25/�~���}�$@ ��\�O@�VfT�u#@�B�v�l,� )�I]�tD �����玉���{����"�1B�4���i T.�o�)��!d�Ӻ���@ �{(�2�*���Nc��"$ 1B�į��?wdT.���;� @"9' ��пC�h�(P�пŦ�G �Hܫ�� �ߣ����P�п�6�&@.9���п�����Q�пs�`�� �ķ�!:%��%;��j�wi_��H'G�!�� ��DeJ7,�o���B� �NkB��Q�_�)��(X�߹w0ޏE��rT#0. ~�J�xS�Z��MAN ���2��п��(��Z���4V�A��rT&0� ~c�����Z����x?��?9CD8D �;\^ơ� � �[l : � ��!��`8#��}&2�J���fc�0�+� �@�� �7L��;P��w���# �ԋFB�����P�пK��>
�����4�+�Ti� �i��U��� ���{I��~K� U�M<�����I����z7LC �����rH�������Z�5L �G܋�i� ��wci`����]�� 0��&�o&� ���yɑn�.�� ��п�l�L� �;�Rf#`�9�p��� ~G��i� ��ww�� �O��
�\9�пS-h&3"���"<� �w�=���`B�X&�@�C�4U7� ���7F�w$������H� v�AJ ���>�D9�п.k�4"6��jʆ@� �w�}���HB�^,8B�l6M�%���d?dlwI���!�~�P�C�( ~�ٶ��(��w���Ć#�~S�.!�P���W z� ����%�;N`�y�ءld���{ �!�y��g5R��r��� �'@�.�U�?E#�����D�-�z��!� ��R)�,#��ٵ�8�#����m<� ��ܾǨ�p�G[��3;v�g���@&���}�^e~�D��U�:�� O�!��߁�QJ�� �����h� ����C��п'�;��I�c�;�ʤ�� ��dYA�@�ξ+�5?� ��Z+�َB��g|�C��п���� �A��o�#b@�]�=YYІ����nq�N�3�;���y �� .y(&���w'^tf@��E�>��O����F&���]R�� p �������FV=�� ��=�����>�ߧ�U꜑ ; �@�θ�2����A��c ���?��8�o� ��W��A�^����C�WLd��C�N$�у�}ಥ�� �,�mq�ߙ6[� p���z� �؇YLX��;"9� �����c��{؇��?�2��E�� p���)lE+�,�>&���+�h��A�6F�K��hLDU�@���n:��� �&�n���b�@���)����A�β���� � (�(iM�ߧo���� '���"�w`CZSm1�������Ӎ � ����#1JlH�� �Y� �ܘ��� � �w�u͜J� iA�ŔG#��}��I�o�A���`p���ؓFSCԳ���;�G!�Y��e-R~%�����b��@��/B�����Rg��!��4�&��E ~��MR�8hп��!�C��ؖQ[Ls4��/�e�� �w��Ii�`gMQ�����kN�S����g�c`g�^m1��������8eп_^R����3�&��gz��/�\�xN��sV+�.E��iz���!��]jwe�"����C`sGQ��пC�u!���ˋ��� ����� �@ ���>��g�|A�>s�R� ؟FG�0=�� �)s,p���%�%F"�5��b�} ~G���>.���V� �6������@���+1` .��)2��� ���� �"���x�dj�8Yп�+�^�&�.�K�wz�������dA�v[|$��!�Rӫ0& ����Ӥ8Yп�.m�56�.���@�δC2�8Vп'� C p/6���S�B �{�F��p�L�u3�� @ xI�ˣ�8Igҿ������ @ �f���, ~}�ٿ��B � ��,������ !���[��x���o@ � p� �W�f�B�Z�G� � @`n�_�/j� �D ���]i���4�� @ 8B ���E�B � ���ѿ+��#τ�@ � 07�/��@ � V"��E�����~�ev� !���H���w��@ � ��� ��sX��v � @ x����C � �'��=ώ�� @ �#��}�=�b�I >��}n��ѝ�����n��g ����� ��d-rW�F��eD�FY�N�w���l � �D ����E���@�''ٱ���;�4uF�V�Ҫ�@ �;�]��M��&]x�-#g�2�)�f��Sr`R�@A �[ ���@-Ln/�ׄ�蘺�;��lw,wF.@�#�oG��� Z�3���l�4�=e���ɻN��pӲf �� �_ L� 4e��7�ձ���o��7�g���Gv@�N�2wN�\���,=��ۊof���2��h\�w��d_�I�YC`Y��eo=�� �>��� lf���2��ٸ4�����ø,&���W����ؑ!X��i\W�NRu]�w��v��/i@ �`���2/ O�� ��&��[/*��Ҽ�(5aM�F]� 0 ��4���@�Q�>^6.����v�� �i\���"`�[4�a�; �h��G�>���3 Xzi\7�#����2�e�� D�%��;/�p� �E��O��&D����^*���Y^^~������������2 � �w��BIX��$�,o��G C q�� L@`�g�L���=��e����%L��d4 �\����;*��\���z��t�lt��Y�S&�$����.�! ������m��t��e�A�"��}���Z�K`)ѱ����]V��Lw�w9e@��п�&J<@��ADD�2:�>w�@�п�q� �� ��:��1�t�� A �#��ݣC p�A�_�2:���6� �� п�J� D`�ױ���Y�� �"��]�v3Y L`�ױ���^�@��п�gJD@� �A�_�2:�>s�@�п��u�� ��:��1�dk��@��>��C��a4��&