%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿMEMS Based Pressure Sensor Using COMSOL Multiphysics) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20121113140832) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 1280 /Height 720 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 10 0 R /Filter /DCTDecode >> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀÐ"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ùïöRø ñsö‚ð•®»á¿x�RÓ¤�÷z©µò¬wû¿ÝÏ'îä“þ¹×ÓÐþÁ|1¡%ìþ"ðtsˆä“ì‘Éq%ÏîÿÖyŸèÿ»ÿ¶•ÉÁ¾ \éž°‚çU–; Üþö·ýì¶÷òÎ?üœ¯£i¯…~&øgûWxz÷ÂVÞ5ŽÃPÔ#�ÄW—þdze®—ˆþÑs$’Iÿ]?çŸú©?wþ®I?±8ƒÄL× ÄU2 žï'Úä÷_—½ÿ¶ŸË˜ÎÃû?­ÂŸ?<ù>?ƒûÿá>»ý£µø>Ý.?ëœuRoÚoÄBOøþ—þýÇ^‰ð§öe²ý©ÿnÈþiº�¾Ÿ¡kšþ¡wÖø’8í#ûEÇîÿ휻¬�_ ¾þÒ:ŸˆµÍÏâ6�àßøXñö³k}¨ÙÜê:ŒcÌŠÞÒxàŽ8ä’7ŽOÞG'—ûÁûÊý[ŹFÝÅCUMT~âÑ;¥÷´Ò·ml|æ]Ã5ñPö”ŸÛäøŽ3þsÄ_óû7ýñAý§°ø>5iÖ6×–ãRµýßî째û?—'1ÏóÇòαÿgOÙ#áÏÅ‚Þñ^µ�-æñçÆh¾iv6šÕ”ÙÖ÷æâ ÉÞKI<ù#ˆ?™~_™Ÿùg^D¼KáåE×öm¥Éö?Ÿ^þLôßf ~ÏÿnÝ ÿ¶uôí‘û|?ø5cû@Eá;ßÃ{ð[ðÕ•Üú¶£ì:Üݽ¾ÁG¿ÙäŠKˆÆ|Çùl�]Çü[à„¼kñ£ö§ñÍ�×t½{á«àë{„{ÛytýNOO²·Hà·òK+1¹ýìža«Ï>Ĭ—‰ÃÓ§K÷ut~ê¼?…ɧU?ko§nÝux s•OŽýµÿô“äeý¥üEæäÞË“ÆvRÿÃLøŒ)?o“>›+—Ò|6¿ jššê>Óít8üË�í?XirKû¹Ë‚9çŽIäýÛþîßÌ“þþG^éû%éçáïì‹ûD|DÐ÷Cñšn‰§xvøF$¸Ò#Ô5³¼»ƒ<Çq|ùƒý^ÿLרg¹®/ÃÔÄQ§ • áOΤÔa~ÛßÓSÅËò5‰¯?qO¯ø2?´ÇˆŽ ¾�‘Ó÷})Gí1â"…�üŸO/“^ÇðWÆ%ñ/ìÇûDüX»ñ¥©|Wð¶‘á�B×n“RÓ-¯5D³¼¼Žõ†æ;ù{ÿY™þ²½Ãà–•á­[Wýž>%xø>±v>ø÷XñõÅÐ’[íOKÓ÷ÙAq;ɉ$y"¸tód>džZ~óŽ~77ãÚYo´xœý߸ìõöžÇÚÛà^í´æþo²}_ÁqÆ({ ßþ‘ÍÊ|[í/âšþUuòéí5â"§7Òÿߺú�Æß³5‡ìmû Á¦ø¯K_xŸÀ¿´oxžÖ[az¶‚eÖt«$“?òïq%�ÅÀÿ¦w ^�á_„:gímûY|ñÅÇÄ ¿| ñ—޵6³Ð~ƱþÑß°Ãÿ éËåxß^ñíÿˆm&þl¿ÙË¥iZ‡ý³ŽKË{‰?é�¼•íû=ø+ã·í=ñÃÅbê¶^ Ò¾ÁñOÁÐYI´RÅo£X%š>ô?»>T›ü³Ü~ðt®ø“’ÑÅÔÂW£ofçÏ×à”b­þ;¿NVoO€ñS¡ E?·Ëÿ“5IûJø‰ÿ§9úGC~Ó"Q�·H}w_T|9ýž´_ÙãIø¡�>­qqâ?ØòÿÇ“Ïy"Kö{ëÄ” øçþ )û6x[ÁzOŠ>Iâ_ƒ–zàÖ4­BÂk›[‹ˆ5'ŽIcŸM’)î<«yã’Y?Öy–å#‹ìÿ?–üYËe^t¨ayÔa9§¢ø!)ëÛáþñÙkòBu'ý{¿ü‘ðúþÓ#Eâú@=<ºl´·ˆ¡È[Ù¯îëÞ?e¯ØÀŸ>þÎ6Óßx¾ÏÆ_´&…â«Ë}CûZßû;G¸Ò?Õù–ÿeó'ŽXÈ>ÑNùãÐþüð—í…û1þÅ>Ô½a¨øïIø�s¤ê–°Çm§ÏosÆû»y �Ïþ®4ù$�ËÌ�xÇ£‹ñ3%¢”Õ §ÉSmU_}6´¤­§å|hø‹›zý�þGÝÿÉ�‘Çí5âsöÙ³þåöœñ?ñû1ÿ€W°|ý�~üFý™ôß�Rj^+_‡ÚG‚õ}gűE=°º´Ö¬ü¯³éÉ!ƒËO¶}®ÖXã’98~óת¶ý‘|ðãö•ø){૟x“Á¾!ñ~�¥Ãã{[K–Æ[©#¶‘#ò$’ÒæÞáåó-.#“|vÿëÉÛ_Ä\†3©B�'í!Ïö,¯ß%ûéæõRÚöâ\ŒpæŸÁþ#çSûMø…£æúbëŸÚoÄ Ùƒ×>+ØÿjoÙçÁŸn.îÏ?i·È–þ]Ç™$wgîýúr®:Ê1´ðõ¡JÞÖ|—ä÷9ý}tÖͽ“ obèNtçö=ÿˆà?á¥üEÿ?²ߺ?á¥üEÿ?²ß±^ý™žôf{×èßÙôçÙò\”Ï@ÿ†—ñüþÉÿ~ÅðÒþ"ÿŸÙ?ïØ¯?þÌ÷£û3Þ�ìú?óì\”Ï@ÿ†—ñüþÉÿ~ÅðÒþ"ÿŸÙ?ïØ¯?þÌ÷£û3Þ�ìú?óì9)ž�ÿ /â/ùý“þýŠ?á¥üEÿ?²ß±^ý™ïGög½ÙôçØrS=þ_Ä_óû'ýûÃKø‹þdÿ¿b¼ÿû3Þ�ìÏz?³èÿϰä¦zü4¿ˆ¿çöOûö(ÿ†—ñüþÉÿ~Åyÿög½ÙžôgÑÿŸaÉLôøiÏìŸ÷ìQÿ /â/ùý“þýŠóÿìÏz?³=èþÏ£ÿ>Ã’™èðÒþ"ÿŸÙ?ïØ£þ_Ä_óû'ýûçÿÙžôf{ÑýŸGþ}‡%3Ð?á¥üEÿ?²ß±Gü4¿ˆ¿çöOûö+Ïÿ³=èþÌ÷£û>�üûJg ÃKø‹þdÿ¿b�øiÏìŸ÷ìWŸÿf{Ñý™ïGö}ùö”Ï@ÿ†—ñüþÉÿ~ÅðÒþ"ÿŸÙ?ïØ¯?þÌ÷£û3Þ�ìú?óì9)ž�ÿ /â/ùý“þýŠ?á¦ÆßÜý(þÊ¥ÿ>Ã’™ßÿÃLx�þ_ò£þcÄóúÿ•pcoî~”}�¿¹úQý•Kþ}‡%3¿ÿ†˜ñüþ¿åGü4Ljÿçõÿ*à>ÆßÜý(ûsô£û*—üûJgÿ 1â?ùýÊ�øi�ÿÏëþUÀ}�¿¹úQö6þçéGöU/ùö”ÎÿþcÄóúÿ•ðÓ#ÿŸ×ü«€ûsô£ìmýÏÒ�ìª_óì9)�ÿü4Ljÿçõÿ*?á¦ÆßÜý(þÊ¥ÿ>Ã’™ßÿÃLx�þ_ò£þcÄóúÿ•pcoî~”}�¿¹úQý•Kþ}‡%3¿ÿ†˜ñüþ¿åGü4Ljÿçõÿ*à>ÆßÜý(ûsô£û*—üûJgÿ 1â?ùýÊ�øi�ÿÏëþUÀ}�¿¹úQö6þçéGöU/ùö”ÎÿþcÄóúÿ•ðÓ#ÿŸ×ü«€ûsô£ìmýÏÒ�ìª_óì9)�ÿü4Ljÿçõÿ*?á¦ÆßÜý(þÊ¥ÿ>Ã’™ßÿÃLx�þ_ò£þcÄóúÿ•pcoî~”}�¿¹úQý•Kþ}‡%3¿ÿ†˜ñüþ¿åGü4Ljÿçõÿ*à>ÆßÜý(ûsô£û*—üûJgÿ 1â?ùýÊ�øi�ÿÏëþUÀ}�¿¹úQö6þçéGöU/ùö”ÎÿþcÄóúÿ•Gÿ )â?úIùG\'ØÛûŸ¥coî~”eÒÿŸaÉLîÿá¥ÆßÜý(ûsô£û.—üûJgwÿ )â?úIùGGü4§ˆÿè!'åpŸcoî~”}�¿¹úQý—Kþ}‡%3»ÿ†”ñý$ü££þSÄô“òޏO±·÷?J>ÆßÜý(þË¥ÿ>Ã’™ÝÿÃJx�þ‚~QÑÿ )â?úIùG\'ØÛûŸ¥coî~”eÒÿŸaÉLîÿá¥ÆßÜý(ûsô£û.—üûJgwÿ )â?úIùGGü4§ˆÿè!'åpŸcoî~”}�¿¹úQý—Kþ}‡%3»ÿ†”ñý$ü££þSÄô“òޏO±·÷?J>ÆßÜý(þË¥ÿ>Ã’™ÝÿÃJx�þ‚~QÑÿ )â?úIùG\'ØÛûŸ¥coî~”eÒÿŸaÉLîÿá¥ÆßÜý(ûsô£û.—üûJgwÿ )â?úIùGGü4§ˆÿè#'åpŸcoî~”}�¿¹úQý™Kþ}�’™Þ¿í%â!ü„Ü�L%}cû ÚéÞ?ø5?мHöºååÞ©}¦YÚjÏ�¬v–örI. ’9I>ÜŸòÓ÷~_û»øKì�‚¾±ý™uÙ<7û'xi?Õ}«ÅÞ ÿÒ?×ÃñÎ_U£Kû¿iRÍ­¹&÷Z­R>›…éáþ¶Ü×9ëþ#ø‹áýWÿŠ3À?÷ÿ[çÿ*UÉhŸ4Ÿˆ¼5àÏøE<1¦CâÍ^ÓC]WH»Õ…î˜÷sÇl—ù÷WÉåË&|¹#ýäóÌ~ò¢ø¥û2|JµÒîu¯xÚÊÂÒ9.%ž}â8 Ž1™$y<¿“�úW˜~Íó›OÚßá$nÙ2øóAÇ¿üL-ëáÖ[ƒ–SˆÅàñ.¥JPoJ²z¥ëo“ÐúÊÎ�<\0õhC÷ŸÜ=ëöfÑt}Körðÿ‰u»}?_Ö|Ge>©»T{¸ã¶Ž=BòÒ8£ŽÒ{ùô‘üÉ?ç§ý3ýçYgà�w_Ðã¿Ð¾ Øjö7>gÙï,tÏÜ[ÉûÏ/ýb_c·é\/ì‡ö]oOýœ|/¨FÃZÓ£·¼‡—æÇ'Š5ˆä޽cQý§tüñ®‹à]#Å? 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