%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign and Simulation of MEMS Based Piezoelectric Vibration Energy Scavenger) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20121113140840) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 677 /Height 467 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 10 0 R /Filter /DCTDecode >> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀÓ¥"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ûWÐÖ'Ä?ˆZ/Ÿ^kþ ¿�MÒlv §ugù�Ö4EU�ÝÙQQAffU’oWŸ~ÔÑ\|yøÑoy¬ø#ħÂz¯ÆKÍZX5}âÙ'ÓǃÞ9çŽDmå¸Eˆ¬ Íå:î,•çhÍr¥·o-ÛWë¦�úž×ö57Ï'RÉ_Ïd�µ¶®ý•š>ŸðwÆ«üTñ7†4í[– J¶z޲ÂÝtô»h-îªæo=¥òn¢rÂ,G™¸m®ÓÐ×Ç'à�ðSÁ¿´¥á߃Þ¹ºÕáô�GJ „]4Q\Ú´’4PEl|¸ÖñØnŽþ¸ÆM<\¥QÁÇEmoéóë£8*à)Ó¢ª©]¶ô³Ò×Ýí}5]ên|cý§<'ðQµ·ñ0ñ<õ­ã‚k êº�»Ë<ÞD0ùö¶òÄ&yp«mäº|¿:ç­ð_‹í|{á›]^Æ V [­þ\z–™s¦Ü®×d;íî#ŽdåN7 Ü0Ã*A<íƒáÍCÄÿ<5›ay¨Mo㯠ÞK´ 3Ç:Õœ³JÁA!4wf<*«@×–~ÖþÓuŸŽZåïŽ< âox~ïÁ�ÙøIt½ãT]3UYîÍÎÑ ·ØîeW±òîŸËU°ó3WV�GtšÓºÞû½{vÝ›PÁaêÑ‹M©;ßgµ¶Zw¾û&}§xûIÕ¼y«xfÞëÌ×4;;[ûëo)Ç‘ÓÜ$¼��¹­§RHÙÈ\Óø§ñJÃá…§ê”7“A©k:v‡Ú¢³¬÷·pÚB͹”lJ…ˆ$… @c€~M²øS}ð³âˆ†¾ý‘þx›Ã¾7ð½Îºn4¯éz}ü^+6ß5;K�O%¬‹ ¼×$º’Òù~ѲhÙ’QB$*Ì‹'À¯ØwC:7Â; káõÂØê¤ÿ„¢ÞîÆUŠãY‰tÅ·[ÅaƒwÍz"Y~x¶À¾PÛÌ*´š§¿Ÿ§dûëèm,ž„dÓ«·—“}Zí£ÙÝs`ú0} |â1ñ‡‡>\ø÷M¸¼Ó&øY¢Ø§ö¿ÃÝWÅ÷VµåÈoÜÃiqÖW„5·úC¡9ˆ¨xŠ0}�Œß³>¯â|QÕu Ä.ñ^�ð“ÑøkZ›J™/.õ»qªÈÓÁÜVøIä1Tf’??nq!Ü¿´ê;µOñòomúh?ìJIÙÖü4Ý-‰ï¯cìÏ øûIñ¶©¯Ùé—_j¹ðÆ 4­M<§O³]}ž �/,oÜÜBÛ—+óã9 ]âe†¿ñ3[ðµ¤WrÞøvÒÖêúp‹öhšàÉåûvã.È÷•Û€²Fsó^=û6|-ðïßڻãÄÞg‰õÿ6­§kÉá™+­:];Mªê+•–»Žåž(vrîPä±àÿi¨ßÂßÿl­.ì}«è¯â[7n³ÙK¡Ad¸õ =…È tܤýá›xÙª|òKFïòOüŒc–Ò�oe=TZo¼šOÕ+³ì CF¡¯ˆ¾1Xß~Ñ_ü\`ðOÄtm~ëáÜ*÷Þ¿±óâ²ñÃê3F¥1Ü©f$|�äRÑ®ú¼¿²´>ñˆõMÁWz}燾0è?ðŒ½¦Ÿ".™¢Èt“ö5UÄVLn57”gîÿWò§™Jþì.½}|»+üѢɩ¤”ªZZinê>}åmº?CêÏüLÓüqâ/é6ñ]Ûj>ÔO¾‚áX—‚9ã•6± Ç*•n9¤V£Áô5äíß\ý«¾0ëöÃ:ZÅ¢øxHÉ=å¤W3Ü2žø[ø#$thYz©Ø«¶�W(Ý÷ƒ±äâhÆå�dþô›üO;ñ?íAàß xæë×7šÅÖ«`ðÅ|4ýÿP·Ó^UV�ng·�á�™YX ]ÖVèA¯AÁô5ò—í5?‡¿¼]ªü.o‹zoÄ=NêÚå´˜<5=÷…ß,3Ž)f 䤯gÓçmu×NÝOVžSN§'$­tž¾©=4ÓVÖ®öè}3ñ�âÅ�Á_¾·i¨j nítû[+Fº½¹¹¸ŠÚ#:&çšh×.ê£9f[Ú üú¾‰guqaw¥\]@’ËgtÑ4öŒÊ ŠC¼eÔœŽË�pÌ0OÅ—_±†‰â/ÙÞÆïVøim«xªÿâïÚï_QоÕz4Öñ”Œç!t´k&i Db–G9Y—üzð~¸ÿµ~‡ÿçÛ]øKÆ´Óõ=/Á7²Þ\è»­#¹•uX¤Kk{Hã–xÓË�„�œª©Þ�ó Ñ÷åZ_½Ûé½–Æ«(ÃÏ÷Pž©Êîݬ—]›{Ÿmàú0} |Ýû:ø+GðÿÆO7‰ü¬7ʼnüG¬ÜÁ⻯ÜÜ[ɧË4ígåjB3 p­“AÙ¼Õ!цÌ�ÇÌÿbO‚Þ$ð·ÅÝø…æÒ½6­¬ZÜ_ZYé>Ô5‰žÞ‰&•–Î J"´ð‚Ï�™o|=ø‹¡üW𥶹áÝJ [Jº.‰<$ðèÅH ŽŽ¬¬Œ+)¯'øÓâ�øV¶7‚|M£ø²÷C�Ášæ—%Ö�áÛý`Cs5î“,QÈ,á”Æ] ˜‚àåžkǾ%ü%ñ¯‰¾jZÜzΟáï|Q“Äú®�} Í¬ÈtìákÚtÛiâ–á^înžÙ_xeÑÊ ñˆõMÁ7z}ç‡~0è?ðŒ½¦Ÿ".™¢Èt“ö5UÄVLn57”gîÿWò×ö…T“ö{¤÷î›íå÷�²š-´ªê›[.�+ïÝýÊþGÙwW em$Ò�±Ä¥Üàœ2Max'â=ŸÄ�@Õô;{ÍGþ$ÒSY²ÕÕV;s ‹­Œ³‡–9w¨ò°n£mVøèøÄ??m2ê_‡6š-Ž£®x�Dñ'‘à›ØF£¦=…ò[I¨j²Hm¯à¹xí¤XÖ"±3$eÕ°²cüø%­i? <5§|<ðN¯àŸiÿ5ÝQ¹>ŸBωš=Užy"�&šI!r· ÎÊvÁ¼Î£zCOÅí¶ž{yÃ#¢£iÔÕ¤öÑ_›}|´{kÖçߨ>†ŒC_ø÷á4Z×Âߊ0ü*øoã x~÷á6£¥jzdþºÓ¦Ö5·)öUH$E{»¤Œ],—«‰ ñ�1Î1íÿ>é>1üa²³ÐõíÀ7þÑ/?âMâ=åé:œw’Û½°óä»1Ghdh œ±‰ŽY�;ÓÇNS·.�ï¦ÏËmJ¹T!MÍO^Ö×x­uß[¥Ù¿ñW⾇ðS ®ø†âêÛO6ÖKök ‹éæžâd‚£‚Ý$–GydDPœ°¬�~Ðþø�a­ÿÂ6š¾­¬è‰®t¬$Òµl0cû=ð·d`�&ÈÉSó sŸ· µÜ¿4k«M;WÕ“ãO j—0išt×÷Kmm¬ÙÏ<‹ò¸H£w!œ)â¼göªÑµ¯ÚGDø£âO xOʼn¦Úü)Ö<5möíêÂû_½»x¥Ž(-&E¸a·` F¡šç »æÁ‰ÅÔ§6¢¯e{u{õò·aàrú5iFSÒí«ô_ ´ß[¾¨ûÐуèkäÏx|?ûpÂA¥xNjúLj4åº:Ï�/ô e‚(¤¹ÓõÜ h`�ÊÖçsI!” â¼ïàG‚týjçEŸÃ^ ñ_ ø·«ÝÏâ�¥N¶«£Çâ ß¶¡¿ÛäˆÝf‡ìžfã3oò¹ó*e%>N^ý{[Ëw}ŠŽMMTçèºmtÞ·{+ocí/„¿¬>2x=õ½. 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