%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿModeling and Simulation of Silicon Optical MEMS Switches Controlled By Electrostatic Field) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114165828) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 575.940000 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 11 0 R /Resources 13 0 R /Annots 14 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 13 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 14 0 obj [ ] endobj 11 0 obj << /Length 12 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí][OG~÷¯ØçJ��Ù»TU•òP)©Q*Ò´Šš¨4ùû]¼6˜ù¼þΜ�YfÁAÁx`çrî·9>ýõú�ì¯ïÙéÅõ¿Ùíæõâz•ŸäU7üËòþëÍî@UŸÔ››¢:±Ã�·_WwÙÝêýê}ÿýþõnµ�5_}¿ý¶:ÖÛüÕýè×U[äåIžç¶èßþ³ûÖk͉mjÓ�çîÛû?þ{õûOÙ·ƒKmcÖ_»¿¹[{ÒtU^wõú1çm¢û—ºì²¶i²ÿþ\}¾ß¸ä¹ñí #׿õ?ýÈlö®ÿÿ%ûð±ütðç7«Ó«&³evó¹?È+ÃËMÃìMÙÿð)û¹‡œù%»ù²²ë_ #v=bªÇ‘FÊa¤|©Ö#Íã@í40K #�ûÐ,„Óàö`šóáOêÛ»aGÞòCâö.×#Ý�…¾x$8>tå.¤94ŚɇIŠiû7™™Çíëº=›AÀ‘.@ò¦H![ м¼!Šq^cFÑcJHˆ0FSqn550¶Ajë‡xØß†ÇÊ@  ¼áLo†³3rÆ��¤À7³‡.5p؃` …ÀÙ³;8õ9@(O ò i³ÆûYÄô[}†µ 4 ƒöiÝ}„€ŽwH½u:w˜ô Ö=߯b@4‰Vì˜É›þ]ÿí‰Öš†Ó£y —êW.À(¢¶dY²‹¨�y\f£E€w)CÀ¸í¦Àxïœ÷„^ÖA±Võo*ëè�‰ã’9‚dG³ŸdK” »)´.ïÖí\ŠƒÓ¹¤€ “ž¹ç.›廂À\¸2 Žû0“\º‡)ÝãRž4Wtd0à'›�‰í |„ö­mŸÌ €vèa£�{þ�Ì>sŸÙŠëÎ2YeÙºÚÌhs¤A 2 TJÖ¸“º«p¶Ùét`´å¨  ƒº×¥c8+ò1�CÁ¥ðˆµÞ !ùiQXÂ#p|.ap8X$Pº?öù²œ9àpœ‚ø‰ƒ�@œ`lA‘-0^)ØanòY´Í9Éf¨Š0Û ´G5Æäç!Pˆ!ºÄ7pˆÂ$s7Ɖh”Õa²*òb€‰ÈOþȈçr‘6m Q¤Î¹kŸ)lëgRÁÈ¥€K0>Þ�m€—-�ÛÀrÔéÓÈþ(ªÑGÙ0Ž,L…¸qYP°— Q†Ëpy@¹, (›®‚¬Û7?ªÀé À¥ÃILCüŠÈ7óæñ¶¸EN÷¡±aqD=0�¿V ãäsù q@�ˆ jä†0³û2ž¿›+PKœCè#‚D'wÿ )j6°kSq q«TÅ(à!œÍ1]o•f<îàZ<‡l‹L ¨wƒ;„œŽQà ¶iÒ…çV9 5ö&ÏPrg¨)|iÊÙO™¦¿O/uÔÂ’L‰ªL”¬¯$‰¤ræ…ãÂFhØG�‰iÙMW:õ(žÖ³|?f-l8H$%þ™Ë«‰’«)ž<Äû‚P854©HÍl P| xÙœd¼ižNÁÓ/¥U…[·œyéØ Mέ�®bšnt *üQ_P'/ˆáão_K¢oÜ9àÜu.ÜÁ@ *»"¼à†R¶¸RêPpÚŸÕ5%nER”’›åÀC`q*äh: (‚+7ð°YŒ ¡D�óœÅ”dÖ¤¼«®ƒgnoqI· ±¥(Ó€¨·­Èp| SälŽ .›1¿ƒ”—È;†ÈîÌT;ùº”#¯Ò¡ðØl4 ¢©W–“5AišÑ£-@�Ï’£hÅØtDVÛAòï©D£¤y×'4š2@àš[ˆÊ À.{b]YLê ®ùΈœ~ÈH;ZÊO!Æ“GØCdb”(L²}X"†Ø'ë¨Êl¯‚aX�–• ò³<”˱ÄÅIˆš{°×€ŸÉç£ /�v@*¾77`9ƒ`—MÁ¤ŠHì,yÀcªÇbse¬/ÜgL  YU˜1< ê99_nÀ†�}üÞˆ\Þó,Ê}Nê˃Ä”‘€”J§†×Uh°œ%oûÏãw'ëŠÝý0*¬§ë£qþ”¿Ò5ÎT!îó´K…f¹óôôo×Ãaw{ÏcOg·eÕž‡0”ȃyW³Q+ÑX ŠC®/@�%x†$ê‡~Ô{ +4å ‹éTð¢®G)ßRÜ!Tø'þ%@ º ¹ÈϵWº¼f’·\ð· ÷:ŸÆ÷vé’ i^Z¸è/€.!ˆÉxÁeÞÅPfÌ›‡Ó•’­Йîqk,aî£pOQÑqgœ—ŒùÏ¡é_A­z4ý[Á á}ĸ⟧—�RÀW®Y0+h-CÕ´àTgp5Nƒ¹ï#‘̆¤R‘‹Ð(Áý9SÁÓ]Y�CTáã(<+ïu9NA ¥å8Å´“)p-Š1*ù¢x§(¤@�AJœQE WpÉÂS /(Á&Ðþ¥kx"D›,^ÁÀ©'U\sá‡é §~¸ÃU¸ 7@”vEÏcÓ(<Œwðh^”zM¥vi1j-Y­¸ŠÂÍô‰btA c[ó€•ÿµ1Ne!Rö‚ Z©s>]%µÛ«7¥ÅšÌ@k6ö¡°-Hߊ#·ÐïÝ¿åy¤HF€OP$$YÒyš,ÇÐ>V²9 䑞—TÖ£Þ’[íŽY,ÓµGù2-ît«w$<"®ÞÙ�OYz0÷AËæ‚جŠÖd‚i"W¸ÒÉl(š'ÏâKG‚�ÿ‡±pEÃË‘†Y woªn€ÜLä“íBdC^™u¥¡$÷|¢TžEýŒU_ —ÎÍ .A0‰€Náv†+þP¡)(|ã5#”Cb5DDl„Zˆp¡@ Ы‚}Ä+¨ÓõJÓŽb%Š\MEÒt¯ ËJE¢@%ÌraJá5*zY$›|H6Ò· Ø×3™ QbÚbõy¯1ø þ–ûÂtV׈©CP5|l2M˜Ô¿&Näå_4«‰k¾òGŠýŸ Å=¡Üó·$5ZžÞ'B¾õ§õ õåi ‰ŽG«¥ÐÛâ¡tyãÚú£µï�²7mµ-�;æþ�Hý²“a­ùt÷‰¸&¯,̺`k,ÎÍÁgjHŽZ ²’<Œ¥ ©Ók›bŒ„¹NÛŠF?> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀÏÜ"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ýü¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢¸¯ˆŸ´7�>x—LÑüSãxwTÖ†lmuB;in†à™@ädne\ôÉ©®ÔŠ(¢¸Ÿ~Ñ^ð_Ä­7ÁºÇ‹¼=¦ø¯XÙö &æõ#¼»ÞJ¯—;›$À ÚŠ*®©©[èºmÅÝÔÑ[ZZÆÓM4Œ"E³1<$“é@¨®Cá?ÇO|wÒ®/¼â¯øªÎÍÖ)åÒ¯£ºXY—r†ØNÜ©ÈÏQÈ®¾€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ ('¾kø'ûu^üSý¯¼Oà;½ ×Oð‹µõ¯ƒõÕ™™µû­.HáÕbe#hòå™Bm?2Ã1þúRŠóØóã•ïí%û6x[Æú��¶›{â y&–ÚÙÙ¢ˆ¬ÒG…-ÏDŸZôê(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Šùsöâý‚tÏÚ_ÇÖ~0ÕO—œœç9ÇJø�þøiñÃã—쯠ø?á�¤wZõ�ö¿«Üê‰d-„w0¥” Ÿ™™î¤‰É !É<�_f~Í:ÇŒµ¿€¾¸ø‡¤Ç¡øçû6(õë8îRâ$¼EÙ+$ˆJ²;)u#øXg"—Qô¹ÞW—|Eøg§ø‹ö¡øoâiµ›;MKÃz~±¶šñ6¤— j®èÙÈl\ðÖ�ýF¾^øÛû_ü+ðgí«à�?Xø…á/Rðý†±a¨Y]jqEuk<ÿÙæš&!÷HÈ;ûf˜�¨kŸøŸàÿøXŸ üEáñp-N»¦\éÂb›üŸ:&�vÞ3�ÙÆyÅtäV~¿q¥hw·V¶Rê76ð<±ZDʯt꤬jX…ˆ@æ€>Mý™¿dŸ~ƾ3Óô¯øƒþ VÔtûO]݈îo4¨ìôÕ„Á$ÒLeòËyo J¥¡8;�¨¯°«ó/þ‰ðßö›øYûO~д­-ü?ãïÉ«ÜKc­Eyý‰¬ˆâv·Ø>[ZÍ\€mÀã­~šTÄl(¢Š¡Q@Q@Q@Q@Q@Q@Q@Q@Q@Q@Q@U=_Iƒ^Ò®,nc2Ú^FÐÌ›ŠïF�A¨9  ^;µÕï|«Ááû‹K=vk)£Ó®.�¼\"7u•VÁ r@¯“¼5ÿ�Ð~ø;án£à�NâÃâWÃ�VÓT—\¿Ô/n-µgrWU nÒ˜ãûZKpIDgSÐûàý�þù—äÿÁ�ßÿ£þãáÇý òàÎïÿŽÐ¿d�÷³gìãáß_A©ÝhI —0!HæÝ4’äpàsé^™^aÿ oðßþ…ù?ðgwÿÇiáŽ>п'þ îÿøízuâþ7ý™t‡þ“Ä Ðï“剨ÙE­r­xb`ïlw3©Æ2H;ú©ÃQðGŒ4ÿˆÓõÍ&qu¦ê–és€`²°Ï#¨aÐƒÈ ƒÈ  z(¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ (¢€ §«kVz §Ú/®­¬àÈS$ò¬i“Ðeˆr¾_ÿ‚«ipkü9k{k å¬Þ+´C4^lN‚’w©Â•Éó Ç�—!wPuû`x‹G×¾ O¦E¯ørÞòóQÓ. 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