%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿAir Damping of Oscillating MEMS Structures: Modeling and Comparison with Experiment) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114170038) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 575.940000 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 11 0 R /Resources 13 0 R /Annots 14 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 13 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 14 0 obj [ ] endobj 11 0 obj << /Length 12 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]KoÜF¾Ï¯ày�Èdó1$°X@’¥r`HÀ‚{³ c¬6‡üý¥ÄQ4îoz¾êb5ÙÇ‚­™6ÝUÕõ®êwø¹ø×oŻۇÿ¿ovåUÙÓŸ¢¾;h»«îðq_·WnúøñËî©xÚ}Ø}ÿ}þý´{}jùòóÛÇ_wï¦÷®zý²ëë²¹*ËÒÕã×ÿ­ªªwWýPãxé}¾øß»ü¥øõì«^ÿ§zù9þŸ§]å®öC[vC÷r›÷u\Ñ󯮊~ßÿûçî—ç‰Kî Ogy¸ýaüô{áŠïÇ¿Ÿ‹?�]ÇÍãîÝý¾pMñøË¸�¬L¿Gß5ã‡OÅ_GÈU+?ïª}ñLj{9¨§KÊ·‘Æ¿¤…§tÓHó6²qîm¤‡kàÝÃtIû6r #0›¸äöed8sÏû鞣KúmäFüùV%@ÀT•?9(TÓSÜÚª"»s×4þ5ø`¸W$Sµ€k€&<æÄMø`$4@\5‘ÞÝ#a4l×ì« Ü�æªFõ@6a�Áé!¢7õçv–dWãt�¥ÀÂqûáË8°†kØ×°g�ìðEðXÜJ·0_Ä Z |â1ˆÞ*‚äûb\Èi’¯Æ}%)z¦°˜Æ[uD­Ï)¦µAõ>ëG¯¹öo¹‰[|}rñõø¥Ü-AæÁs(¿è{ ¿»€€šæ°jsV]ÂÃ>8&A Âw?ºç°ÝA ´þS}J?ìZ�JÀ¶Û3x ðâºr^No–ñsÓ™bº¿´Î“VG(@€Ä,^›Ãg& r÷œ!ý Sƒ©„PžêA䀨8÷^`·t¹8³÷|f|{p¾œ vÔÄ»3SEf¼°é£†o~û”ò%WùúØtî4WÎ p~¸(DÄw`*Îõ_«Òák¿ó)³¥¥ö: æ{à5FÊ”ëÚ0?ã[ØŒ�~xÁU ¤ÌjH¬GO�-<" ÜÎéuœr�Š2|(0ž€9£ °§¸Ò0"x—°8 ‹µ(‚€Æ`>�¹†á*2Ç>nÈýuN…\ÈriÀQ p›„´)CArcÀRQ-ñå'<ÉÒ_ ¾Öɤ¾ 2~×úà‰çÈ| "Þ(•Z�‚بÕ7%Ý.À`pËQk�ïA ³àž\iºEm*Þ6ÐXKñ_ –‡¡‚Iw Ò�* ºS-ì+¼…sXØ©€\nn¶-¶a"MX c|†ª š}–J¦Ô嫃Îìœ7¯ T…o ÐMYˆàñbˆÛ4œ• àA§.  gŠü,ÁÍõKî�Q•[°ñ2ßb`I»ÁP _a~qý�ƒhÊ­»fô�·Äûxdi¢Ø,cZSïgì�ÀLçK5çB³ÒØ÷TÛæ¼Rc›ƒ6âp"µð3 CVl|w1�ê:²tëeÙ<<ö‹aÅxÌð�*Ø1t×%¡vâNáS¼yî!¦êÂO=q 76®�Lóš_vÂ�hàÞN…ê@å/nÔx²¨A\ÛP(ãi,s :�[àE¥`•‡é©ˆÈñx?½Àâõgß²H¨ÍÑG¥@'Ür�h;ZJ6nvTB¨� ã \¡H–QGOçˤ.L¶ÜÙE}½H <ýSáȦ-Ü˜×øTxð�s …ÀÙ²Xçù­è‚W8·6¤ €´äȄע RèSÀ¦YÃC i”V‹üƒ4Æ�Êâ&§ò‡4F¼~?l�aÌW2�fŽçvaå÷i¢ñ>�E3ÿß7¡™¯ä>YˆqYvŠ>#0³šË%AG|AºÀ/l8QTy# ÁÔAq§¯Åˆ5ÒL8>óË¢™»4¾E³#Îr×�º ¸d²ä6©>Œ6_" u\‚¸ìÍi9C×&í‚@2("/|�Zd¬p-x™è§ !…·Ùù»·¾‡¸,âu 2›jÊÜ.Tô®AžD‘`b­Dï¹ÄMò hn™ÍûÛêµ ÞD?ç2{¡¬@ƒt …N§™+Ü7ŠmkÑ”M#”¹·R-�R*‡†ž‰µqwA!ÞãÁ»›(t°ÕÊ�xæŸÂ<¿lº®Üš/„ê*�o«ªUã»çbnZÒŠ� „®VS0³’ }» íIliMèxc‹Ç\ri‰"H±‰O›·0œ¸i¡ðwñЗI¸pÍ LÛÎàÀ«¥]’»20ÒÔ>Å·X»¨¾"¸\Þ”®ÂÇñýÀ[ ÖyK�‹Kr�"ïS-£iÁi’¯�×IËæÏ�p±ˆJÛ rg�Ô¸@uàg‹¤P×9ä&Åûò$½ 2QXMŒd¾N5ž‘I¥o�€�%±5J�ŒÏth4è+�K[òËÖáÄ�Ëç˵¾bE�1¸Œ”ò{7ðŠ �mÎ;Å)ì7¸%¾Q‡FZ„O8É ¢ÔÝ“†Áü™/ÎxávòÅ5 •8.¹AwᥠI–¬¯ÙB©ûãìc“p³ÀÉÊ#,šýKzÇ)|u‹¸®-¸ŸB<®åÏä˜�‹¶¥²m‰¼á`¡b‹åúREèy›”øu«~7�{í$ É\دÜcƒ,z qo…BEU8§÷qË(…É¡?Mµx?s’“T'A�Â¸ææ–"æ¿w·&¹½�‡À®Š/JYË[O—¢tÄ2å0ŠCî©sxË|Ó´z€ ø8_j’³1›žl  y ¤ó)’+â9N6g€:|,—õ[$›d¦³G9}¸‘ ¯�Cáᇎ®*ççˤ® "v»-–Ò`r4Ïð¹(™œÂѤ‰ƒ²©Ð‚©ã-É96^õeŠÀ-Ò\ðŒ{ð€ôiÑxëÒÖ—IæƒB[V{½æ‹©¾6¤1A¿%ªm ,^:SI£Ð. 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