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)-106(eva)-35(l)24(u)-23(a)18(t)-24(ion )-124(o)-23(f )-95(t)24(h)-47(e )-82(d)-23(amp)-44(ing )-99(is )] TJ .47 Tw 0 -11.279 TD [(c)18(h)-23(a)18(l)-24(le)17(n)-23(g)-23(ing d)-27(ue to )-40(the c)-17(omp)-36(le)17(x )-28(int)-24(era)-31(c)18(t)-24(ion o)-52(f )24(air )] TJ -.104 Tc 2.782 Tw 0 -11.039 TD [(wit)23(h )-88(mo)-15(ving )-65(s)-37(t)23(r)-19(uc)-31(tur)-21(e)17(s )-76(and )-70(t)-50(y)73(p)-23(i)-25(cal)-39(l)-25(y )-14(r)-19(e)17(q)-48(uir)-21(e)17(s )] TJ -.327 Tc 1.677 Tw 0 -11.279 TD [(n)-22(u)-46(me)-18(r)-42(i)-24(c)-29(a)-53(l )-27(si)-59(mu)-60(la)-53(t)-48(io)-46(n)-22(s)-35(. )-31(A )-73(f)30(u)-71(l)-24(l )-52(th)-46(r)-42(ee)-34(-)-17(d)-71(im)-37(e)-29(n)-22(s)-35(i)-24(o)-22(n)-22(a)-53(l )] TJ -.034 Tc .712 Tw 0 -11.279 TD [(a)25(n)-16(a)25(l)-43(y)56(s)-29(is )-23(can )-15(b)-16(e comp)-17(utat)18(ionall)-42(y )33(v)-16(er)-36(y )33(exp)-34(e)25(n)-16(s)18(ive, )] TJ -.104 Tc 3.866 Tw 0 -11.039 TD [(time )-77(cons)-19(um)-15(i)23(n)-23(g )-75(and 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)-34(f)29(or)-19(ks, two t)-61(y)73(p)-48(es )-28(o)-23(f )] TJ .136 Tc 8.08 Tw 0 -11.279 TD [(o)24(ut)47(-o)-19(f)78(-pl)27(a)42(ne )-167(c)42(a)17(nt)23(il)45(e)17(ve)17(r)29(s )-197(a)42(nd )-184(a )-167(t)47(or)29(si)34(o)24(n)24(al )] TJ -.086 Tc 1.324 Tw 0 -11.039 TD [(mic)30(r)-17(o)-22(mirro)-23(r. )-36(The )-27(app)-50(li)25(cab)-32(i)25(l)-23(i)-23(ty o)-35(f the )-27(s)-35(i)25(mp)-36(lifi)-17(e)19(d )] TJ .136 Tc .749 Tw 0 -11.279 TD [(m)33(o)24(de)42(l )-28(i)47(s )-15(ve)42(rif)56(ie)16(d )-26(b)-24(y )47(a goo)39(d \(2)-22(-)53(30)24(%\) )17(a)17(g)24(re)46(e)17(m)33(e)17(nt )] TJ -.034 Tc .059 Tw 0 -11.279 TD [(b)-16(et)30(w)-15(e)25(en the simulate)20(d and meas)23(u)-16(red Q-)-26(valu)20(es)19(. )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj .094 Tc -.094 Tw 0 -11.039 TD /F2 9.811 Tf [(K)-19(e)62(y)-28(w)46(or)33(ds: )] TJ -.093 Tc 1.683 Tw 49.92 0 TD /F1 9.811 Tf [(MEMS)-28(, )-32(ai)18(r )-46(d)-22(a)19(mp)-37(ing, )-54(FEM, )-60(t)24(u)-22(ning )] TJ -.104 Tc .078 Tw -49.92 -11.279 TD [(f)29(o)-23(r)-19(k, m)-17(icro)-28(mirror )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj .026 Tc -.049 Tw 0 -12.24 TD /F2 10.744 Tf [(1. In)31(troducti)22(o)-33(n )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -.096 Tc 1.173 Tw 0 -11.279 TD [(V)-21(ariou)-24(s )-19(MEMS )-61(d)-23(e)18(vices, r)-55(e)18(son)-34(ator)-25(s )-19(and )-35(s)-36(e)18(nsor)-29(s )] TJ -.104 Tc .725 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(r)-19(e des)-31(i)23(g)-23(ned )-35(t)23(o )-28(op)-24(er)-26(a)17(te i)-14(n air a)-20(nd v)-28(i)23(s)-37(c)17(o)-23(us )-17(fluids)-36(. )] TJ -.086 Tc .791 Tw 0 -11.279 TD [(Ex)-31(c)19(essi)21(v)-46(e air )-20(d)-22(a)19(mp)-36(ing )-16(can b)-51(e de)-28(t)25(r)-17(imen)-16(tal )-25(to )-42(the )] TJ .136 Tc 1.215 Tw 0 -11.279 TD [(pe)17(r)29(f)53(or)29(ma)26(n)24(c)17(e of osc)18(i)23(l)23(la)40(ti)21(n)24(g )-27(M)22(EM)35(S )-45(c)17(o)24(m)33(p)-24(o)49(ne)42(nt)47(s. )] TJ -.064 Tc 2.386 Tw 0 -10.8 TD [(Q)-18(uantitative )-36(e)21(v)-44(a)21(lu)-17(atio)-18(n )-22(o)-44(f )-18(the )-23(air )-43(d)-19(amp)-34(i)27(n)-19(g )-47(i)27(s, )] TJ -.104 Tc 3.342 Tw 0 -11.279 TD [(the)16(r)-19(e)-31(f)29(o)-23(re)-26(, )-61(req)-26(u)-23(i)23(r)-19(ed )-62(alr)-28(ead)-62(y d)-31(ur)-19(ing )-82(t)23(h)-23(e )-62(de)-31(sign )] TJ -.095 Tc 4.064 Tw 0 -11.279 TD [(stag)-17(es )-48(to )-79(ob)-22(tai)17(n )-78(accur)-36(a)18(t)-24(e )-60(p)-23(r)-18(e)18(dict)17(io)-23(ns )-65(o)-23(f )-49(the )] TJ -.034 Tc -.044 Tw 0 -11.279 TD [(devi)20(ce p)-19(erf)23(ormance. )16(T)-28(he in)-31(t)30(eraction o)-32(f f)20(luid )-50(f)36(low )] TJ -.096 Tc 3.104 Tw 0 -11.039 TD [(wit)25(h )-78(moving )-67(s)-36(t)24(r)-18(uctur)-49(e)18(s )-67(is )-67(c)18(o)-23(mpl)-14(e)18(x )-53(suc)-17(h )-53(tha)-30(t )] TJ -.104 Tc 6.256 Tw 0 -11.279 TD [(a)17(n)-23(a)17(l)-50(y)49(t)-25(i)-25(c)17(a)-31(l )-151(app)-55(ro)-19(ximat)23(ion)-25(s )-138(o)-48(f )-145(the )-159(da)-31(mp)-15(ing )] TJ -.086 Tc 6.325 Tw 0 -11.279 TD [(c)19(o)-22(ef)-23(ficient )-143(a)19(r)-17(e )-122(ava)-32(i)-23(l)25(ab)-27(le )-97(o)-22(n)-22(l)-23(y )-114(for )-127(simp)-22(le )] TJ -.104 Tc .821 Tw 0 -11.279 TD [(struc)-41(t)23(u)-23(res )-34(and )-26(tr)-21(iv)-25(ial )-29(b)-48(oun)-24(dar)-26(y )29(con)-31(dit)-27(i)23(o)-23(ns. )-37(Mo)-26(re )] TJ .136 Tc 2.141 Tw 0 -11.039 TD [(c)42(om)33(pl)23(e)17(x s)-44(y)73(ste)27(m)33(s )-19(wi)24(t)23(h )-55(s)36(t)23(ruc)46(t)23(ur)29(es )-27(m)33(o)24(v)-24(i)47(ng )-31(w)26(it)45(h )] TJ 4.379 Tw 0 -11.279 TD [(r)29(e)17(spe)53(c)17(t )-25(t)23(o )-47(e)17(a)17(c)17(h )-23(ot)47(he)42(r )-43(a)17(n)24(d )-72(i)47(n )-47(pro)29(xi)47(mi)56(t)-25(y t)48(o )] TJ -.086 Tc .243 Tw 0 -11.279 TD [(sta)-16(t)25(ion)-44(a)19(r)-42(y )48(o)-22(b)-22(je)19(c)-29(t)25(s )-38(ty)51(p)-46(ical)-34(l)-23(y )48(r)-17(eq)-27(uir)-16(e )16(simu)-22(lat)-29(i)25(o)-22(ns to )] TJ -.058 Tc .433 Tw 0 -10.8 TD [(rel)-14(i)27(ab)-21(l)-21(y )24(eva)-24(l)27(u)-19(ate the air da)-25(mping)-18(. )18(T)-30(hu)-14(s)16(, )18(a s)-15(im)16(p)-19(le )] TJ .136 Tc 2.02 Tw 0 -11.279 TD [(o)24(ut)47(-o)-19(f)78(-pl)27(a)42(ne )22(c)42(a)17(nt)23(il)45(e)17(v)24(e)17(r o)34(sc)29(i)23(ll)45(at)16(i)47(ng i)52(nsi)34(de )47(a )47(p)-24(re)46(-)] TJ -.104 Tc 2.54 Tw 0 -11.279 TD [(e)17(t)-25(ched )-53(c)-31(a)17(v)-23(it)-27(y )-15(\()-19(F)-16(igu)-25(re )-42(1)-48(\) )-59(e)17(xp)-48(e)17(r)-19(ie)16(n)-23(c)17(es )-59(da)-31(mp)-15(ing )] TJ -.086 Tc .894 Tw 0 -11.279 TD [(du)-20(e to t)25(h)-46(e intera)-17(ctio)-27(n wi)-28(t)25(h s)-43(e)19(v)-22(e)19(r)-17(al )-14(t)-23(y)51(p)-46(es o)-24(f )-28(f)31(low )] TJ .136 Tc 2.008 Tw 0 -11.039 TD [(\()29(sque)53(e)17(z)42(e)17(-)-19(f)53(il)21(m)33(, s)34(he)17(a)17(r )-40(f)29(l)47(ow a)23(n)24(d )-20(dr)29(a)17(g )-20(d)24(ue )21(t)23(o )-20(t)23(h)24(e )] TJ -.275 Tc 2.39 Tw 0 -11.279 TD [(d)-16(i)-18(r)-37(ec)-48(t )-42(ai)-18(r )-60(r)-37(es)-54(is)-49(t)-18(an)-65(ce)-24(\). )-59(T)-52(h)-16(e )-47(d)-41(amp)-74(in)-36(g )-65(d)-16(u)-41(e )-23(t)-18(o )-65(t)-18(h)-16(e )] TJ -.104 Tc 1.318 Tw 227.759 493.68 TD [(i)23(n)-23(dividu)-27(al )-26(t)-25(y)49(p)-23(e)-31(s o)-30(f f)15(low )-17(c)-31(a)17(n )-17(b)-23(e )-24(e)17(valua)-39(t)23(ed )-24(using )] TJ -.057 Tc 5.214 Tw 0 -11.279 TD [(s)16(im)17(p)-19(li)-17(f)34(i)-20(ed )-102(an)-21(al)-23(y)29(ti)-17(cal )-106(mo)18(d)-19(els )-87([)-14(1)-43(] )-95(o)-19(r )-71(ci)25(r)-14(cui)-18(t )] TJ -.275 Tc 1.28 Tw 0 -11.279 TD [(an)-41(al)-67(y)31(s)-54(is )-39([2)-79(,3)-64(]. )-50(H)-15(o)-16(w)-39(ev)-41(er)-37(, d)-29(u)-41(e t)-33(o )-31(th)-36(e )-38(ex)-41(i)-18(s)-30(t)-18(en)-65(ce o)-80(f )] TJ .136 Tc 5.261 Tw 0 -11.279 TD [(i)47(nt)47(e)17(r)-19(m)33(e)42(d)-24(i)47(at)16(e )-87(f)29(l)23(ow )-78(re)46(gi)23(me)26(s )-68(\(Fi)34(g)24(ure )-58(1\) )-100(a)17(n)24(d )] TJ -.086 Tc 4.367 Tw 0 -11.039 TD [(geome)-20(t)25(r)-17(i)-23(c)19(a)-29(l )-71(s)-35(e)19(n)-22(sitiv)-33(it)-23(y )-69(o)-22(f )-114(the )-148(f)31(lu)-22(i)25(d)-22(-s)-29(tru)-16(ctur)-21(e )] TJ -.058 Tc 2.096 Tw 0 -11.279 TD [(i)27(n)-19(t)27(er)-41(a)22(c)-26(t)27(ion)-36(, )-31(r)-15(eliab)-18(le )-55(esti)19(m)-34(a)22(t)-21(i)27(o)-19(n )-51(o)-19(f )-22(th)-16(e )-33(d)-19(amp)-32(ing )] TJ -.095 Tc 9.06 Tw 0 -11.279 TD [(c)18(o)-23(ef)-24(f)30(i)-24(c)18(i)-24(ents )-297(req)-24(u)-23(i)24(r)-18(es )-297(c)18(omp)-36(uta)-30(t)24(ion)-23(al )-311(flow )] TJ -.084 Tc 7.474 Tw 0 -11.039 TD [(sim)24(u)-21(la)-28(t)25(ion)-19(s. C)-16(O)-20(MS)-15(O)-20(L )40(Mu)-22(l)25(t)-23(ip)-21(h)-46(y)75(s)-35(i)25(c)-29(s)] TJ -.012 Tc 157.919 4.559 TD /F1 6.307 Tf (TM) Tj -.005 Tc 3.7 Tw 9.359 -4.559 TD /F1 9.811 Tf [( )-376(was )] TJ -.104 Tc 3.101 Tw -167.28 -11.039 TD [(p)-23(r)-19(e)17(v)-23(i)23(o)-23(usly )-46(u)-23(se)-19(d )-55(suc)-44(c)17(ess)-32(fu)-19(ll)-27(y )-55(for )-71(a)-31(i)23(r )-75(d)-23(amp)-46(ing )] TJ .136 Tc 1.022 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(i)23(m)33(ul)23(at)40(i)23(o)24(ns in a)53(ng)24(ul)47(a)17(r )-18(c)42(om)33(b-d)29(ri)27(v)24(e )18(m)33(ic)16(r)29(om)33(i)23(r)29(ro)29(rs )] TJ -.086 Tc 2.057 Tw 0 -11.279 TD [([4)-40(]. To evalua)-20(te th)-16(e )-18(a)19(p)-46(p)-22(li)25(cab)-32(i)25(li)-23(t)-48(y )61(o)-46(f the F)-40(l)25(u)-22(i)25(d)-22(-)] TJ -.085 Tc 4.557 Tw 0 -11.039 TD [(S)-15(tru)-15(c)19(tur)-15(e )-130(I)31(n)-22(tera)-27(c)19(t)-23(ion )-146(i)25(n)-22(te)19(r)-42(f)31(a)-29(ce )-111(o)-22(f )-95(CO)-47(MSOL )] TJ -.077 Tc 0 -11.279 TD [(Multip)-39(h)-21(y)76(s)-34(ics)] TJ -.252 Tc 50.64 4.32 TD /F1 6.307 Tf (TM) Tj -.086 Tc .419 Tw 9.359 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [( f)21(or )-25(es)-16(tima)-18(tio)-22(n o)-30(f )21(t)25(h)-22(e air d)-21(a)19(mp)-36(ing )] TJ .136 Tc 3.839 Tw -60 -11.279 TD [(f)53(or )-25(a )-61(va)42(r)-19(i)47(et)-32(y )19(o)-24(f ot)21(he)17(r )-25(M)22(EMS )-36(de)42(vi)47(ce)35(s, )-72(t)47(he )] TJ -.275 Tc 4.891 Tw 0 -11.279 TD [(ex)-41(p)-41(er)-37(i)-18(men)-50(t)-43(al )-154(an)-41(d )-128(s)-30(i)-43(mu)-25(l)-43(at)-43(ed )-153(p)-41(e)-24(r)-37(fo)-30(rm)-21(a)-24(n)-41(c)-24(e )-111(o)-65(f )] TJ -.064 Tc 1.048 Tw 0 -11.039 TD [(s)15(evera)-20(l t)-60(y)77(p)-44(i)27(c)-26(al )-16(res)21(o)-19(na)-22(t)27(o)-19(r MEMS )-42(s)-33(y)53(s)-33(tems in )-23(th)-17(is )] TJ .136 Tc 1.603 Tw 0 -11.279 TD [(pa)42(pe)42(r )-32(a)42(re c)50(om)33(pa)17(r)29(e)17(d)24(: )-14(t)23(w)26(o )-37(t)-25(y)98(p)-24(e)42(s o)-25(f )15(o)24(ut)23(-)29(o)-24(f)53(-pl)27(a)42(ne )] TJ 3.807 Tw 0 -11.279 TD [(c)42(a)17(n)24(ti)21(l)23(e)17(v)24(e)17(r)29(s, )-100(i)47(n-)29(p)-24(l)23(a)42(n)24(e )-64(a)17(n)24(d )-81(o)24(ut)47(-of)33(-pl)27(a)42(ne )-64(t)23(u)24(ni)23(n)24(g )] TJ 1.445 Tw 0 -11.039 TD [(f)53(or)29(ks)36(, a)32(nd )20(a tor)39(si)58(on)24(al m)19(i)23(rr)33(or \()28(Fi)54(gu)24(re )17(2\). )19(A f)50(u)24(ll )] TJ 10.689 Tw 0 -11.039 TD [(t)47(hr)29(e)17(e)42(-di)27(m)33(e)17(n)24(si)34(on)24(al )-343(d)24(am)26(pi)23(n)24(g )-359(a)42(na)42(l)-25(y)73(sis )-338(i)23(s )] TJ -.034 Tc 7.304 Tw 0 -11.279 TD [(c)25(o)-16(m)16(p)-16(u)-16(t)30(ationall)-37(y )68(v)-16(e)25(r)-61(y )44(expensive )16(and )-21(t)30(i)-18(m)16(e-)] TJ -.104 Tc 1.79 Tw 0 -11.279 TD [(c)17(o)-23(nsuming)-30(. )-47(In)-19(ste)-21(a)17(d)-23(, )-47(a )-49(simp)-54(l)23(er )-45(t)-25(wo-)-17(dim)-16(ens)-19(i)23(o)-23(na)-31(l )] TJ .136 Tc 1.685 Tw 0 -11.039 TD [(a)42(na)42(l)-25(y)73(si)34(s )-17(of )24(t)23(he da)54(m)33(p)-24(i)47(ng per u)36(ni)47(t l)40(e)17(n)24(g)-24(t)47(h o)-28(f )24(t)47(he )] TJ -.086 Tc 7.381 Tw 0 -11.279 TD [(str)19(u)-22(ctu)-27(res )-117(and )-133(as )-123(a )-112(func)-19(tion )-127(o)-46(f )-76(in)-22(it)-23(i)25(a)-29(l )] TJ .136 Tc 1.808 Tw 0 -11.279 TD [(d)24(i)23(s)36(p)-24(l)47(a)17(c)42(em)26(e)17(nt w)32(a)17(s per)16(f)53(or)29(me)26(d )-16(\()29(Fi)54(gu)24(re 2 )-35(a)42(nd 3)32(\). )] TJ -.104 Tc .059 Tw 0 -11.039 TD [(S)-16(uch an ap)-43(p)-23(rox)-19(i)23(mat)-24(i)23(o)-23(n neg)-30(le)-32(c)17(ts e)-20(dge )-30(ef)-26(f)29(e)-31(cts )-20(and)-31(, )] TJ -.275 Tc 1.802 Tw 0 -11.279 TD [(in )-46(c)-24(as)-54(e )-34(o)-41(f a )-33(b)-65(en)-41(d)-16(i)-18(n)-16(g )-51(c)-24(an)-41(t)-43(il)-37(ev)-41(er)-37(, )-57(a)-24(ls)-24(o )-51(t)-18(h)-41(e )-34(r)-37(o)-16(t)-18(ar)-86(y )] TJ -.096 Tc .054 Tw 0 -11.279 TD [(motion o)-36(f the b)-47(e)18(am )-19(c)18(r)-18(oss-)-18(se)-18(ction)-30(. )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj 191.039 -142.08 TD ( ) Tj 2.103 Tc -191.039 -8.64 TD /F2 8.875 Tf [(F)226(i)271(g)250(u)198(r)275(e )248(1)] TJ -.292 Tc .292 Tw 33.84 0 TD /F1 9.811 Tf (. ) Tj .124 Tc 1.869 Tw 6.96 0 TD /F1 8.875 Tf [(A)33(i)21(r )-16(fl)44(o)27(w )-33(s)24(i)49(mu)-18(l)76(a)25(ti)43(o)27(n )-38(ti)70(m)-19(e)25(-)22(s)51(n)-26(a)52(ps)24(ho)27(t )-17(o)54(f )-16(a)25(n )] TJ -.106 Tc 1.018 Tw -40.799 -10.56 TD [(o)28(u)-52(t)23(-o)-28(f-plan)-36(e c)-26(a)26(n)-52(ti)18(le)-31(ver )-28(os)-27(c)-27(i)23(llat)-40(i)23(n)-25(g )-24(i)23(n)-52(side )-31(a )-26(pr)-28(e-etch)-35(ed )] TJ -.067 Tc .254 Tw 0 -10.08 TD [(c)31(a)-22(vit)-21(y)33(. T)-18(h)-20(e a)35(r)-25(ro)33(w)-15(s )-23(i)27(n)-20(dic)-17(a)31(t)-26(e th)-16(e veloc)-30(i)54(t)-26(y f)-19(ield of th)-31(e )31(a)-22(ir )] TJ -.084 Tc 1.624 Tw 0 -10.08 TD [(flo)28(w )-53(aro)31(u)-49(n)-22(d th)-30(e cross-s)-28(ection )-55(o)31(f th)-62(e can)-26(til)21(e)-24(ver)-22(. Th)-55(e )] TJ ET q 187.439 0 0 139.679 318.479 154.08 cm /I1 Do Q Q endstream endobj 4 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F2 14 0 R >> /XObject << /I0 5 0 R /I1 6 0 R >> >> /MediaBox [0 0 595.2 841.919] /Contents [15 0 R] >> endobj 17 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 606 /Height 1006 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 236296 /Filter [/FlateDecode /DCTDecode] >> stream xÚœ½gTSOø.DAº€ô•&" ҤƈQª€ˆô&Ò„DEzP"]j¤K ‘JH�N ¡„-$áðûŸuïùr?Ü{'kfí�=;û}gæ}æyfÍ^9þs¼:g¤o¨b`�N> ãÐÐ)†ÿÒå©ÿÒiÆÿÊ3§O3žf:ÃÄô?™™åìIffb:Ëv–…õ¿trÄÎÆÊþßÉ?ò¿o=u†‘ñ +33ëÿçtÜâ>˸uÊŽ‘áè7#7Ãq7|bç™ÿ1ïÄØÿ�N1ž>ÃÄ|bÛI…ºs'æ32ž}æÄâ“«a'×A§¹Ïð\TºÅÄkêÀ|É÷üõ7ɹg%nWuð=!I*?õ–…•_@PHXJZæ²ìU5õšwîêéÜ342{üÄÜÂÒÊÚñ…“³‹«›»Ÿ@`,8$ü]DdTtLlJꇴôŒ�Ÿ2óò ‹Š¿–”V×ÔÖÕ7|olêìêîéíûÑÿstl|brêÏ4OXü»´¼²º¶NÞÙÝÛ§ÿÿó‹ÄÈð¥ÿG¿¸Oü:õ_0ÿçé ÿ*pŸ>sQ‰‰ç–)³ƒ/ï¥ëoΞ¿�œ[ÕÁ"¡üˆÄ÷üÕ+¿¤ ^ŠüŸkÿãÙÿ;ÇÞþÿòìÿvìÿø…±32œt#7¢Qój´¡„mV˜Œ±WP/âòXmÜe tðE –±¾sŽyÅ’Î ¬‘ÌbÇ ôµî5Àƶ„ª^�¿Pß”ÊX2#’zSÌ–¯1>C å!] "Tö,›Ö1‘;¡–±Š}Í5|ÎO·KçÉMç~öK÷ êXˆÉ‘Cé:Ç ·1Ô#mjTƒ“CKúBm|ßÄïþ¸b„ͤr�çéì­ O‚ØíƲWûw®–6.z¾ãú8̼}æ¼éÍÿ“yM\€¸nkp„¿1†–aÞðí[Õ›âæÖ–�繿Jeúþô7ÓôÁ#ÓØ‰7Á±o>ÓÓzçàH€×1XLÎê¬zjóÓ1‡~Ë-þ¶œíï¹PaªÃ‰Q˜cPGŸðPBáÄ… �Y‰.Û‹H& E“/ZmŸ?%®%6Ûûîop·÷øGæ„î¬ÝüÜSà€Ð«)?—–ÒþJeÇôKæʤ˜ �_ÊŒ ¢�29ËÍŸ �7ñü§++þæ'Äþv{XÒÏ÷ ù"\”ýe/¨}mÖeiÊkˆ>dÖGγ禚‘v]Šæœ�A5Sä¯ ²�³÷ Îi>ÛS[¸ûº) ÀÔ &OÌûSæ‰Ù>Ç  L²@M¿¥šö!¹k/qÝw>‘Ÿ¨ ¹ÛÀ÷^æhŽÌ¬•èƒz,È™M¿¿'Ø­†)ˆPÝÐÀ}^û6°qÃ1H¸Ÿvަ|ã´prÖÏGk¤’!5OÈSoŸ:Á ÁE¹àcß{a@ã»ýùµâµÔ¢}W—R”jdÁeHèxg‹ ¿£äÊq… oýB ÅØç“f¡ÿ!%¥ö…ø|³çyÊEKióÙóìx¦Ä™à¹Ìj°ù—x æ!Jx”0¡~�X&®@ÊŠOâu;E`‘ —É�HK¸ÞsD†1]•·ÖU„s“o’|¢Ûä*~‰µ^ç�éVç û@±â±û ¿H*Ýt¥á¦ñΊÑM?È î HëõÜ=tlQ©éà%ñ3ÐÙGç�Øç€}е¶žÂH—I�Ò�Œ PÝmG,]ŽÌÿШÀ4Î^ÀñY2õÑÔMQ2zö”àƒ|ú†aF$p”®‚Çv©‡€‡�#�Žgð›ûX:(¯‚èÍÚñ¤–X¨¼{Þàý9åŠÆ’fâHÝ•Þka9:s&@Ëuè éͦ?7 ":)\dôÒˆ�•ú.n� ËE¢ÞôM¢"¾'ÅGQ&i¨¶^7]Ù#=Å�]¯…¡‘âfôÚðUŒômJÿ–ÇPMd)®BXE9äQj qŠuúnâ“ Ú*ýû$}°Éî$Ãbƒf¼ ÿy?¤‰Z�‡ÀD½#£[o˜‰ ‹*3�@æªã1\²H«À¸["'è#97ìŸÂŠV‘D£ðˆLŒ¦óùc‰ù E!‚ÿºP.I¿; ¼ ö(f†Ó­Ö‘âÉôip]�¤ ¤v(q<1þ$¨�~·dŠ2C«J=q·Çûƒb«7�A›ûY‡R¾&{}£Ç ö"üãÄxtf×ñ¨9R·ÖçéN×z‘®8SL‰Òµ Z�A.hê“ {ª­3�Dg5>ò^âOs8²¡ÞâýÑ®aÏ7K'²tÐu‹Z~ ­6tO;óXÆ~\7·•—ÃH>Ñ^�_ò6ÀrA¬»I؃ÞÃcPdÚ… Ð f}Z®™“°0§¿ÓiaÒ!•87m(FºY�~£Y±Ü@‚vþÎÕÔÁElJgZ‰ÖhÕÕzž„»¡är5Æ�ÆØÕ&GûÅ£< ׂè<˜pÓñ,Áº7_^îøÑ&$é|Ô©È·Åo_·02¢‡ät½¡&HJ ­òäÔ¼MÔTïÍú§}‹ÌvsB­+8øj1´þûûn—»ÎØ“­Ó}?™ L­Èô1dÝÔæ‰äzÈEd®˜±ƒ›�FʱlÿìÖÇ nY?¡J?RÞüx*æn£†Ñ/!fÔ^I½ÖéÙ$k'ÿÅî�â´¯Küj)’s Íàù�.B¥óçÈÅíI"ô uŒ(Ä̓ã•bf­üÝ9Æ3Ïæ4íø¢ñgÄé»èß§"WTi¹ú‰ü�%dn© ¦(Àó–)ï¨ßý™ý¨>äfJ CÚ€N¢–Ñ“þm;E˜(¶zö—öÉÙk&æ…V§?ÉÌ|2¤÷T{ð:)ªMx n±-roP†½âp_Ê2É üy» y½zóù—Þ ]kðÙ69¸òˆîE Ÿ’L+ ò–o4`#³‚|I;ó—ßZ÷—³˜:¤?ÇÉÝ:õ÷cû…´'kOè\p®Sñ,ÐE€&!Ö…º¡zIŒ°NúB�µvÄìSÜ ^h Ÿ¡àm–Ó甦_QUÌܧFäf~Ê!oÙÿªXü„qãb�õ…T/²n !ëï‘�þ˜jÜ'áÞ¥¡OK Ü…§üŒ[)·VÝ—[ écç`;CxŸ·ºê'sV©áw#gZåSÕ¶¬m¨.-j@pþk±„ö3b‹éO˜“"HylH^KšÇdü^¦]�¨ï÷q}pJ.»Ó@È1…�ÏÀ’–‡¸¾ŠªñN;Òµ†…ôÝ$õÐf3 (™.i¡•W#ŠŸÛÝ‹T‹žbùÐzצ7ýÊ#C3ìö Ðb$�oÊï†&š—ÜòY€$æ\š¬ýQÑ? 7W-Ë þý乤^Kr÷«w‹W‹S^2T¢Ì›Ä#K£áp‹ 1‚­ÌÀW¼jj äwÛIätŽ®n_Ñ+mÉñêŒ[ø¼Ï(¨JÀñê*#Fr$G<4Ì7-ãbu3OP�Pq{f)ÿHÍS¥*ïJ”TÆöçë¸;æ¼T”‘}´bŽT,óHªyºù¯Ó ‚á9ç’ß$rÞ¨¸ÞMß��?” Á™ n‚•×p‰¨ÓuCo¦„Ý!$³09³ÚIÿÛÅaàî  ?›Ý‘ïzO#ë-Vå¸z…ÚQl87®ôlñÿÀ­æw=JŽm �b °ºŽÇŠ—=~(IEÌhHo²E¤dÆnýÚÕI5?«ïéþ>M??ÎÞ"öXàª!DHÑú¤&g1‰±§~*$­êtæw¸¶³evlYÂOÐéðþ>£—íÃñÏËžó†læ¡�–7ý y:]„cQöHlˆìT WhLÙg››0äøGŸ*{�1é x–^�+ÈD{’©=õþx­×õ1<½†#2+¯Ë÷lqáû¨b¥ô£ ãKúÛlU?V\ƒ“0 9ຩ®0óCr_§•gakmâòµ¦´‚Âç¯nJJ3‡ïäÀ*鼇Б™¿SsJ:‰öuu-œ[7)˜µ©Iag&:8^UÛ�Ún/—ÿáxq R®Y ÂT`i–³¥¹e@6©g¦BùàI„.‚]‘©ÅkÅq#{+oggËJbì÷‰Ó+Ãñ¬Ëï¡X §¶‰!+ö*Ž�jOÀ s�ÆßíeäÅ—$®pͽwè{:±�aœhÚ®ºçII‰ªHFXÝžåÒÔU¸›Š:Ö¶g@™}géÃ&Ä(òÌ%]pP\Ûçu�‹´Ò‰ƒpÖ¢´~õ]Iàö1èHèiBÒVAs¤¬˜>hùÞ˹Ÿ¼Ö¦]NîÜ�WÕ CË©¬së•û� OË®Õ)b7Åot¥Oho+€ë Ñ)³‰AV´"<¾Õ/¥Ÿ³LR;u]×á3Ë�AK²AŸ"ö’ÇŸc�8[œ¤á®_+?�+Ÿrr(ñâ.ÿÔ~ád°Â,J¨…à=ÐQæ¸* ‘‹3®&¯hó„t WqøÞ::ïPk¾±kÌpŪ¢ûÊfKÕ fAHŠ…8‹d{,8Wʠ穪äÏ/M*ÿ¸©_vÈéÐŸÜÆ½s�£ö-ë·KMéÂv*ŽƒÕm¥¦mM3¡þÛã(‹c§×,°AùD+Ú÷9·ØÊaÕL$LÔ˜91ˉ ûÉëí7�‡Ò›ÑwÎ-ÿaÙ¼å€ß¡å"½±Ê†$ŸÎíëåd„Ç­ÜùíJwJ��ß×ÉêóZ¯¡êý’ŒTŸDÂ÷0H÷aÃf.¹ÂM½F®Õœ� ð «’ÌG‹SFׯ!‘Óï Ýù¨z§OóIq'.Áœ. 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Se)-17(ver)-30(al re)-24(gion)-28(s of f)-36(lo)23(w )-34(ca)25(n )] TJ -.086 Tc .635 Tw 0 -10.08 TD [(b)30(e )-37(i)25(d)-23(e)29(n)-50(t)-28(i)52(f)-27(ied )17(\()-27(sh)-22(ear flo)16(w)-44(, squ)-61(e)29(ez)30(e)-25(-fil)20(m )-55(flow)-17(, drag due )] TJ -.067 Tc 2.548 Tw 0 -10.08 TD [(to th)-53(e dir)-27(e)31(c)-22(t air )-44(res)-19(istan)-14(ce\) a)-26(s w)-23(e)-22(l)27(l )-37(as )-31(tr)-25(a)31(n)-48(s)30(it)-26(i)27(on)-15(a)-22(l )] TJ .124 Tc -.124 Tw 0 -9.839 TD [(r)22(e)25(gi)49(o)27(ns)24(. )] TJ 0 Tw 0 -10.32 TD ( ) Tj .136 Tc 1.568 Tw 0 -10.8 TD /F1 9.811 Tf [(The v)38(a)17(l)47(i)23(d)24(it)-27(y )57(of t)35(he a)18(ppr)29(ox)24(i)23(m)33(a)17(t)23(i)23(o)24(n )-16(i)23(s, h)38(ow)26(e)42(v)-24(e)42(r, )] TJ -.104 Tc 2.906 Tw 0 -11.279 TD [(just)-16(i)-25(fied )-55(b)-48(y t)20(h)-23(e )-58(c)17(o)-23(nsis)-27(t)-25(e)17(n)-23(c)-31(y o)-26(f )-22(si)-38(mul)-16(a)17(t)-25(e)17(d )-51(and )] TJ -.095 Tc .84 Tw 0 -11.039 TD [(e)18(x)-23(p)-23(eriment)-22(a)18(l )-17(re)-24(sults)-24(. Th)-30(e go)-20(od a)-20(gr)-17(e)18(ement o)-42(f the )] TJ -.096 Tc 5.998 Tw 0 -11.039 TD [(e)18(x)-23(p)-23(eriment)-22(a)18(l )-225(a)18(n)-23(d )-223(cor)-24(resp)-36(on)-22(ding )-198(simu)-26(lation )] TJ -.086 Tc .488 Tw 0 -11.279 TD [(resul)-32(t)25(s va)-16(lida)-27(te t)17(h)-22(e )17(ap)-27(p)-22(lic)19(ab)-27(il)-23(i)25(t)-48(y )48(o)-46(f )28(the )18(s)-35(i)25(mp)-36(lifi)-17(e)19(d )] TJ .841 Tw 0 -11.279 TD [(f)31(lo)-22(w m)-25(ode)-25(l )-15(for )-50(e)19(valu)-25(ation )-16(o)-46(f the )-28(air d)-36(amp)-16(ing )-35(i)25(n )] TJ .136 Tc -.175 Tw 0 -11.039 TD [(o)24(t)23(h)24(e)17(r )30(m)33(ore c)40(om)33(pl)23(e)42(x sy)37(st)34(e)17(m)33(. )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj 194.4 -322.8 TD ( ) Tj 3.782 Tc -194.4 -8.88 TD /F2 8.875 Tf [(F)415(i)461(g)439(u)387(r)464(e )437(2)] TJ -.052 Tc .052 Tw 35.52 0 TD /F1 9.811 Tf (. ) Tj .124 Tc 3.108 Tw 8.64 0 TD /F1 8.875 Tf [(S)29(i)49(m)35(u)-26(l)76(ati)41(o)27(n )-88(o)54(f )-39(ai)47(r )-39(da)52(m)-19(p)27(i)49(ng )-34(of )-39(v)27(a)25(r)22(i)21(o)27(us )] TJ -.1 Tc 1.25 Tw -44.159 -10.56 TD [(MEMS )-19(s)-27(ys)28(t)-30(e)27(m)-44(s )-26(res)-30(o)29(n)-51(a)27(t)-30(i)23(n)-24(g )-23(i)23(n)-24(s)-27(id)25(e )-25(p)-24(r)-29(e-e)24(t)-30(ch)-24(ed )-23(cavit)-32(ies )] TJ -.067 Tc 6.647 Tw 0 -10.08 TD [(u)-20(si)30(n)-20(g )-165(s)-23(i)27(mplif)-34(i)27(e)-22(d )-165(tw)-15(o)-20(-)28(d)-20(i)27(m)-40(e)31(n)-48(s)30(ion)-15(a)-22(l )-144(mode)-25(l )-144(w)-69(i)54(th )] TJ -.084 Tc 4.157 Tw 0 -10.08 TD [(nu)-19(m)-15(er)28(ical )-75(“)-51(s)28(p)-22(ri)24(n)-49(g)31(s)-25(” )-73(th)-51(a)29(t )-104(rep)-22(l)25(a)-24(ce )-71(th)-24(e )-100(d)-22(e)29(f)-27(o)31(rm)-16(a)-24(ble )] TJ -.087 Tc 2.883 Tw 0 -9.839 TD [(flex)28(u)-50(r)26(e)-25(s )-56(an)-21(d )-26(gen)-18(era)28(t)-28(e )-55(resto)-25(r)-27(i)52(n)-50(g )-26(forc)-24(es. )-30(S)-21(h)-23(own )-68(a)28(re )] TJ -.1 Tc .795 Tw 0 -10.08 TD [(s)26(ch)-24(em)-17(at)-30(i)23(c d)-21(efo)-27(r)24(m)-44(a)27(t)-30(io)25(n )-48(of each )-45(s)26(ys)-25(t)23(em )-40(i)50(n )-48(3D w)-33(i)23(th )-51(t)23(h)-24(e )] TJ .124 Tc .388 Tw 0 -10.08 TD [(r)22(e)25(s)24(o)54(n)-26(a)52(n)-26(c)52(e f)31(r)22(e)52(q)-26(ue)52(nc)25(y )37(a)25(nd )37(c)25(o)27(r)22(re)21(s)24(p)27(o)27(ndi)49(ng )37(si)46(mp)35(l)21(i)21(f)22(i)21(ed )35(2D )] TJ -.356 Tc 1.939 Tw 0 -10.32 TD [(m)-46(o)-26(de)-55(l )-36(a)-28(ir )-41(f)-58(l)-32(ow )-52(s)-56(i)21(m)-73(u)-53(la)-33(t)-59(i)-32(on )-57(t)-59(im)-51(e)-55(-s)-33(n)-53(a)-28(ps)-29(h)-80(ot)-59(s. )-67(a)-28(\) )-35(o)-26(u)-53(t)-32(-)-31(of)-58(-)] TJ -.116 Tc .598 Tw 0 -10.08 TD [(plan)-33(e c)-23(a)25(n)-53(ti)16(le)-33(ver, )-32(80 )-46(kH)-20(z. b\) )-53(I)22(n)-26(-plan)-38(e tu)-54(n)-26(i)21(n)-26(g fork, )-28(2)-26(50 )] TJ .251 Tw 0 -10.08 TD [(k)27(H)-47(z)25(. )-38(c)25(\) )-36(Ou)-20(t-of)-41(-pla)15(n)-53(e )20(tun)-59(i)21(n)-26(g )22(f)-31(o)27(r)-31(k)-26(, )15(1 )-31(MH)-37(z)25(. d\) )-21(T)-23(o)27(r)-31(s)-29(i)21(on)-26(a)-28(l )] TJ -.096 Tc -.083 Tw 0 -10.08 TD [(m)-16(i)24(rro)-29(r)25(, )-44(50 )-35(kH)-16(z.)] TJ -.052 Tc .026 Tw 54.479 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj 0 Tw -54.479 -9.839 TD /F1 8.875 Tf ( ) Tj .029 Tc -.059 Tw 227.759 580.32 TD /F2 10.744 Tf [(2. )19(E)-22(xp)34(erim)44(ent)23(a)-33(l m)23(ea)-33(sur)34(em)31(e)-22(n)22(ts )] TJ 0 Tw 144.479 0 TD /F1 10.744 Tf ( ) Tj -144.479 -11.039 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -.059 Tc .434 Tw 0 -11.279 TD [(The sim)22(ul)-16(ated sy)17(st)-29(ems )21(aimed at )-18(mo)18(d)-19(e)22(l)-21(ing the air )] TJ -.084 Tc 2.338 Tw 0 -11.279 TD [(damping )-68(o)-21(f se)-19(l)25(e)-29(cted )-41(ME)-33(MS )-49(d)-21(e)19(v)-21(ic)20(es. )-28(T)-33(he )-36(te)20(s)-35(t )] TJ -.058 Tc 6.217 Tw 0 -11.039 TD [(devices)21(, )-125(s)16(u)-43(c)22(h )-144(a)22(s )-133(c)22(an)-21(tileve)-15(r )-116(and )-118(tors)-15(i)27(o)-19(na)-21(l )] TJ .136 Tc 1.018 Tw 0 -11.039 TD [(r)29(e)17(s)36(on)24(a)17(t)47(or)29(s \()16(Fi)54(g 2)-23(\))29(, i)42(n t)23(h)24(i)23(s s)23(t)23(u)24(dy )25(w)26(e)42(r)-19(e f)47(a)17(bri)27(c)42(at)40(e)17(d )] TJ 4.862 Tw 0 -11.279 TD [(u)24(si)58(ng )-72(c)17(-)29(S)-16(OI )-66(t)47(ec)35(hn)24(ol)47(og)-24(y )-47(\()29(ca)35(vi)23(ty )-49(sil)32(i)23(c)17(o)24(n )-96(o)24(n )] TJ 4 Tw 0 -11.279 TD [(i)47(ns)36(ul)23(a)17(t)23(o)24(r\) )-78(t)23(ec)35(hn)24(o)24(l)23(ogy )-62(i)47(n )-111(5)24(0)-24(-)53(µ)-21(m)33(-)29(t)23(hi)47(c)17(k )-62(de)42(v)-24(i)47(ce )] TJ -.034 Tc 1.52 Tw 0 -11.279 TD [(l)30(a)-48(y)56(ers)-18(. T)-16(h)-16(e devices )-14(wer)20(e a)-38(c)25(tu)-35(a)25(t)-18(e)25(d )-31(b)-65(y )41(m)16(eans o)-54(f )] TJ -.086 Tc 7.525 Tw 0 -11.039 TD [(t)25(h)-22(i)25(n )-188(\(~)-24(1 )-163(µ)-19(m\) )-149(aluminium )-144(n)-22(itr)-17(i)25(d)-46(e )-146(\()-17(AlN)-16(\) )] TJ -.104 Tc 3.214 Tw 0 -11.279 TD [(p)-23(ie)16(zola)-39(y)24(e)17(r)-44(s )-57(p)-23(r)-19(ocessed )-67(on )-68(top )-70(of )-15(th)-25(e )-51(r)-19(e)17(l)-25(e)17(a)-31(sed )] TJ -.034 Tc .391 Tw 0 -11.279 TD [(s)18(tr)17(u)-16(ctures \(c)22(an)-16(til)16(ev)-16(ers )23(o)-16(r ac)29(tuatin)-18(g )-24(f)60(l)-18(exures)20(\))-37(. )19(Th)-21(e )] TJ .136 Tc 4.448 Tw 0 -11.039 TD [(a)42(i)23(r )-60(da)42(mpi)31(n)24(g )-65(i)47(n )-89(t)23(h)24(e )-72(f)53(o)-24(l)47(l)23(owi)49(ng )-40(de)42(v)-24(i)47(ce)35(s )-53(wa)19(s )] TJ -.275 Tc .249 Tw 0 -11.279 TD [(ch)-41(ar)-37(a)-24(c)-24(t)-18(e)-24(r)-37(i)-18(z)-24(ed )-38(e)-24(x)-16(p)-65(er)-37(i)-18(men)-74(ta)-43(l)-18(l)-43(y: )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj 17.519 -11.519 TD /F4 9.811 Tf <0078> Tj 4.32 0 TD /F5 9.811 Tf ( ) Tj .136 Tc 4.432 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(W)28(i)47(de )-74(ca)35(nt)23(i)23(le)40(ve)42(r )-111(C)20(1 )-140(\()29(w)26(i)23(dt)47(h, )-72(he)42(i)23(gh)24(t)23(, )] TJ 3.653 Tw 0 -11.279 TD [(l)47(e)17(n)24(gt)47(h 1)-24(0)24(0)24(×)15(5)24(0×)39(9)24(00 µm)] TJ 100.079 4.32 TD /F1 6.307 Tf (3) Tj -.104 Tc 1.998 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [(\); )-190(R)-28(e)17(sona)-19(nc)-31(e )] TJ -.075 Tc .033 Tw -103.2 -11.279 TD [(f)32(r)-16(e)20(q)-45(uenc)-50(y )53(~8)-26(0 )-20(kHz \(Fi)23(g)-21(ure 2)-38(a)20(\))-16(. )] TJ -17.519 -12 TD /F4 9.811 Tf <0078> Tj 0 Tw 4.32 0 TD /F5 9.811 Tf ( ) Tj -.096 Tc 2.79 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(N)-21(a)18(r)-18(r)-18(ow )-58(cantil)-38(ever )-68(C)-27(2 )-85(\()-18(width, )-88(h)-23(e)18(ig)-24(ht)-24(, )] TJ -.104 Tc 5.453 Tw 0 -11.039 TD [(l)23(eng)-31(t)23(h )-60(50)-48(×)15(5)-23(0×)15(9)-23(00 )-36(µ)-21(m)] TJ 98.64 4.32 TD /F1 6.307 Tf (3) Tj 2.839 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [(\). )-279(R)-28(e)17(sona)-19(nc)-31(e )] TJ .014 Tw -101.76 -11.279 TD [(f)29(r)-19(e)17(q)-48(uenc)-62(y )45(~8)-31(0 )-27(kHz. \(no)-34(t s)-18(ho)-24(wn\) )] TJ -17.519 -12 TD /F4 9.811 Tf <0078> Tj 0 Tw 4.32 0 TD /F5 9.811 Tf ( ) Tj .136 Tc -.02 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(I)53(n-)29(p)-24(l)47(a)17(n)24(e t)33(un)24(i)23(n)24(g f)21(o)24(rk )21(TF)20(1 \(w)23(i)47(dt)23(h)24(, )36(h)-24(e)42(i)23(gh)24(t, )] TJ 3.653 Tw 0 -11.039 TD [(l)47(e)17(n)24(gt)47(h )-24(10)24(0×5)39(0×)39(7)24(00 µm)] TJ 100.319 4.32 TD /F1 6.307 Tf (3) Tj -.104 Tc 1.998 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [(\). )-193(R)-28(e)17(sona)-19(nc)-31(e )] TJ .136 Tc -.226 Tw -103.439 -11.279 TD [(f)53(re)46(q)-24(u)24(e)17(n)24(c)-31(y )69(~)16(25)24(0 kH)22(z )38(\(F)36(i)23(g)24(ur)29(e 2b\))18(. )] TJ -17.519 -12 TD /F4 9.811 Tf <0078> Tj 0 Tw 4.32 0 TD /F5 9.811 Tf ( ) Tj 2.511 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(Ou)26(t)23(-o)29(f)53(-)29(p)-24(l)47(a)17(n)24(e )-49(t)23(u)24(ni)47(ng )-67(f)78(or)29(k )-42(TF)20(2 )-67(\()29(w)26(i)23(dt)47(h, )] TJ 10.535 Tw 0 -11.039 TD [(h)24(e)17(i)47(gh)24(t, l)32(e)42(ng)24(t)23(h )16(26)-24(×)39(5)24(0×)39(23)24(8 )16(µm)] TJ 148.8 4.32 TD /F1 6.307 Tf (3) Tj -.292 Tc .292 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [(\))-38(. )] TJ .136 Tc 1.502 Tw -151.919 -11.039 TD [(R)20(e)42(so)36(na)42(nc)42(e )-54(f)53(re)22(que)42(nc)17(y )25(~1 )-55(M)22(H)26(z \()23(Fi)54(gu)24(re )] TJ -.052 Tc .052 Tw 0 -11.279 TD [(2)-18(c\). )] TJ -17.519 -12 TD /F4 9.811 Tf <0078> Tj 0 Tw 4.32 0 TD /F5 9.811 Tf ( ) Tj .136 Tc 4.48 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(To)38(rs)16(i)47(on)24(a)17(l )-63(mi)56(rr)33(or )-106(M )-89(\()29(w)26(i)23(dt)47(h, )-67(he)42(i)23(gh)24(t, )] TJ 3.653 Tw 0 -11.039 TD [(l)47(e)17(n)24(gt)47(h )-24(40)24(0×5)39(0×)39(8)24(00 µm)] TJ 100.319 4.32 TD /F1 6.307 Tf (3) Tj -.104 Tc 1.998 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [(\). )-193(R)-28(e)17(sona)-19(nc)-31(e )] TJ 7.504 Tw -103.439 -11.279 TD [(f)29(r)-19(e)17(q)-48(uenc)-62(y )-145(~5)-31(0 )-218(kHz )-175(\()-19(Fig)-18(ur)-19(e )-176(2d)-24(, )] TJ -.068 Tc .025 Tw 0 -11.279 TD [(a)21(c)-27(t)26(u)-20(a)21(tors )-19(n)-20(ot )-17(shown to fac)-33(ili)-18(tate clar)-23(it)-44(y)53(\))-16(. )] TJ 0 Tw -17.519 -11.039 TD ( ) Tj -.034 Tc .431 Tw -17.519 -11.279 TD [(The c)24(hara)19(c)-23(t)30(eriz)-31(a)25(t)-18(ion )16(o)-16(f th)21(e )21(d)-16(e)25(v)-16(ices’ per)-22(f)60(o)-16(rmance )] TJ -.275 Tc 6.833 Tw 0 -11.279 TD [(w)-15(as )-163(b)-41(a)-24(se)-30(d )-150(o)-16(n )-175(m)-32(ea)-48(su)-47(ri)-31(n)-41(g )-150(th)-60(ei)-18(r )-170(e)-24(l)-43(ec)-48(tr)-31(i)-43(ca)-48(l )] TJ -.034 Tc 2.597 Tw 0 -11.279 TD [(a)25(d)-16(m)16(itta)16(n)-16(ce )-51(in )-38(a )-51(f)36(r)-37(e)25(q)-41(uency )19(r)-37(a)25(n)-16(ge )-43(aroun)-15(d )-19(their )] TJ .136 Tc 3.27 Tw 0 -11.039 TD [(r)29(e)17(s)36(on)24(a)17(n)24(ce)35(s )-27(bot)23(h in )-55(v)24(a)17(c)42(uu)24(m )-29(a)17(n)24(d )-63(i)23(n )-38(a)17(i)23(r. )-15(The )] TJ -.034 Tc .573 Tw 0 -11.279 TD [(m)16(e)25(ch)-16(anical Q-)-23(valu)20(es we)39(re then )-19(deri)24(v)-16(e)25(d )-30(f)36(rom )-27(t)30(h)-16(e )] TJ -.086 Tc .948 Tw 0 -11.039 TD [(f)31(i)-23(ts )-15(o)-22(f th)-20(e )-33(e)19(q)-46(uival)23(en)-27(t )] TJ 86.64 0 TD /F6 9.811 Tf (R) Tj 6 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (m) Tj 4.559 1.439 TD /F6 9.811 Tf (L) Tj 5.519 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (m) Tj 4.559 1.439 TD /F6 9.811 Tf (C) Tj 6.48 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (m) Tj -.146 Tc 4.799 1.439 TD /F6 9.811 Tf (-C) Tj 9.599 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (0) Tj .947 Tw 2.879 1.439 TD /F1 9.811 Tf [( )-34(cir)-16(cu)-15(i)-30(t )-16([3)-52(,5)-37(] t)-16(o )] TJ .136 Tc 4.288 Tw -131.039 -11.039 TD [(t)47(he )-64(a)17(d)24(mi)31(tt)45(a)17(nc)17(e)42(-)-19(f)29(r)29(e)17(que)42(ncy )-64(c)42(ur)29(ve)42(s )-94(\()29(Fi)30(g)24(u)24(re )-84(3\). )] TJ -.034 Tc .769 Tw 0 -11.279 TD [(Me)29(as)19(u)-16(reme)27(n)-41(t o)-29(f )18(the Q)-20(-val)24(u)-16(e of )-16(t)30(h)-16(e )-17(same )17(d)-16(e)25(v)-41(i)30(c)-23(e )] TJ -.086 Tc 3.236 Tw 0 -11.279 TD [(b)-22(oth in air )-17(\()] TJ 54.96 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj .167 Tc 7.2 -1.439 TD /F6 6.307 Tf [(a)32(ir)] TJ .136 Tc 3.173 Tw 7.44 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(\) i)51(n )24(v)24(a)17(c)17(u)24(um )33(\()] TJ 61.679 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj -.032 Tc 7.44 -1.439 TD /F6 6.307 Tf [(v)20(ac)-17(u)38(um)] TJ .025 Tc 1.629 Tw 19.199 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(\) )-175(all)29(ows )] TJ .136 Tc 1.774 Tw -157.919 -11.279 TD [(i)47(so)36(la)40(ti)21(n)24(g )-19(t)23(h)24(e dam)48(p)-24(i)47(ng )-19(e)17(f)29(f)29(e)17(ct d)20(ue t)44(o )-19(i)23(nt)23(e)17(ra)22(c)17(t)23(i)23(o)24(n )] TJ 1.869 Tc -.08 Tw 0 -11.039 TD [(w)203(i)224(t)199(h )193(a)170(i)224(r )173(f)205(l)199(o)201(w )195(\()] TJ 60.96 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj -.073 Tc 7.2 -1.439 TD /F6 6.307 Tf [(flo)-44(w)] TJ -.104 Tc 1.55 Tw 10.56 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(\) )-38(a)17(lon)-50(e )-49(f)53(r)-19(om )-33(o)-23(t)23(h)-48(e)17(r )-38(d)-23(a)17(mp)-39(ing )] TJ -.034 Tc 4.267 Tw -78.719 -11.279 TD [(eff)47(e)-23(cts )-101(\(an)19(chor )-99(loss)-23(, )-99(t)30(h)-16(e)25(r)-37(m)16(oe)-16(la)30(s)-29(t)30(i)-18(c )-101(dam)23(p)-16(ing, )] TJ .08 Tw 0 -11.279 TD [(s)18(u)-16(rf)23(ace l)15(os)-22(s)18(es, )-18(e)25(t)-18(c\). )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj 0 -11.279 TD ( ) Tj ET q 461.279 148.799 5.28 8.879 re W n BT 461.279 148.8 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj ET Q q 491.279 165.36 11.519 11.039 re W n BT .115 Tc 491.279 167.759 TD /F1 9.811 Tf (\(1\)) Tj ET Q q 502.799 165.36 5.28 11.039 re W n BT 502.8 167.759 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj ET Q BT 411.839 140.159 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -96.239 -11.039 TD ( ) Tj ET q 192.96 0 0 320.639 89.28 247.919 cm /I2 Do Q q 129.119 0 0 26.399 331.68 149.759 cm /I3 Do Q Q endstream endobj 16 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F2 14 0 R /F4 22 0 R /F5 26 0 R /F6 30 0 R >> /XObject << /I0 5 0 R /I2 17 0 R /I3 18 0 R >> >> /MediaBox [0 0 595.2 841.919] /Contents [31 0 R] >> endobj 33 0 obj << /Type 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[(t)21(he )52(ad)52(m)-19(i)49(t)21(ta)47(n)-26(c)52(e )25(no)27(t )22(s)24(ho)27(w)33(n.)21(\))] TJ 0 Tw 94.799 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -94.799 -10.8 TD ( ) Tj -.211 Tc 3.254 Tw 0 -12.24 TD /F2 10.744 Tf [(3)-33(. )-62(Fl)-21(u)-21(id )-101(flo)-42(w )-104(pro)-55(pe)-21(r)-22(t)-21(ie)-31(s )-79(a)-33(nd )-69(bo)-32(u)-21(nd)-21(a)-33(ry )] TJ 0 -12.48 TD [(co)-55(nd)-21(it)-31(io)-42(ns)] TJ 0 Tw 46.799 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -46.799 -10.8 TD ( ) Tj -.104 Tc 2.741 Tw 0 -11.279 TD [(Ch)-28(oosin)-14(g )-68(the )-76(a)17(p)-23(p)-23(r)-19(o)24(p)-48(riat)18(e )-75(fl)27(o)-48(w )-41(p)-48(rop)-19(erties )-70(and )] TJ -.096 Tc 5.174 Tw 0 -11.279 TD [(b)-23(oun)-21(dar)-24(y )-63(c)18(o)-23(ndit)-24(ions )-100(is )-101(cru)-24(cia)-37(l )-89(f)30(or )-106(r)-18(eli)-32(a)18(b)-23(le )] TJ -.034 Tc 7.394 Tw 0 -11.279 TD [(e)25(st)-24(i)30(mat)-27(i)30(o)-16(n )-142(o)-16(f )-138(t)30(h)-16(e )-149(air )-157(da)32(mp)-25(ing. )-128(Severa)-15(l )] TJ -.104 Tc 6.703 Tw 0 -11.039 TD [(dimens)-37(i)23(o)-23(nl)-25(e)17(ss )-130(q)-48(uanti)-34(ties )-152(c)17(an )-136(b)-23(e )-136(used )-173(t)23(o )] TJ -.275 Tc 2.569 Tw 0 -11.279 TD [(ca)-48(t)-18(eg)-41(o)-16(r)-37(i)-18(z)-24(e )-53(th)-36(e )-29(t)-43(y)31(p)-41(e )-29(o)-65(f )-18(th)-60(e )-53(flo)-49(w)-15(. )-27(T)-28(h)-41(e )-53(Knu)-50(d)-16(s)-30(en )] TJ .136 Tc 1.973 Tw 0 -11.279 TD [(n)24(um)33(be)17(r )29(\()] TJ -.302 Tc 37.679 0 TD /F6 9.811 Tf (Kn) Tj -.086 Tc 1.854 Tw 11.279 0 TD /F1 9.811 Tf [(\) is )-25(d)-22(efi)25(n)-22(e)19(d )-32(a)-29(s )-21(the )-37(the r)-31(at)-29(io o)-55(f the )] TJ -.104 Tc 4.86 Tw -48.96 -11.279 TD [(me)26(an )-103(f)29(r)-44(e)17(e )-54(p)-23(ath )-56(o)-23(f )-68(fl)-21(uid )-74(mo)-15(lecu)-15(l)-25(e)17(s )-85(t)23(o )-96(the )] TJ -.034 Tc .739 Tw 0 -11.039 TD [(c)25(h)-16(a)25(ract)-31(e)25(ri)17(s)-29(t)-18(i)30(c )-20(dime)28(n)-16(sion in )-14(the s)-62(y)56(st)-24(e)25(m. )-26(It can )-17(b)-16(e )] TJ -.095 Tc 2.33 Tw 0 -11.279 TD [(used )-27(to )-35(ver)-24(i)-24(f)-18(y the )-52(a)18(p)-23(p)-23(li)23(cab)-35(ilit)-51(y )38(o)-47(f )-30(the )-17(vi)-23(sco)-17(us )] TJ -.094 Tc 2.689 Tw 0 -11.039 TD [(f)30(lu)-48(i)24(d )-46(d)-47(y)50(na)-29(mi)-14(c)18(s)-36(. )-27(Th)-33(e )-29(ty)49(p)-47(ical )-37(gap )-76(width )-44(i)24(n )-71(the )] TJ -.086 Tc 1.213 Tw 0 -11.039 TD [(studi)-31(e)19(d )-24(s)-59(y)51(ste)-16(m )-39(i)25(s )-37(1)-22(0)-22(-20 )-16(µ)-44(m \(Fig)-23(. 2)-27(c\). )-28(With )-43(the )] TJ .136 Tc .668 Tw 0 -11.279 TD [(m)33(e)42(a)17(n f)18(r)29(ee )24(pa)17(t)23(h of )81(g)-24(a)42(s )25(mol)31(e)17(c)17(u)24(le)40(s i)48(n ai)54(r )-30(a)42(t 30)36(0 K )] TJ 1.161 Tw 0 -11.279 TD [(of )68(~7)16(0 nm)24(, )34(t)23(he K)34(n)24(u)24(ds)36(e)17(n n)15(um)33(be)17(r )19(e)17(qu)24(a)17(l)23(s t)49(o )15(3)-24(.)19(5-)] TJ -.104 Tc 0 -11.279 TD (7×10) Tj -.18 Tc 20.399 4.559 TD /F1 6.307 Tf (-3) Tj .668 Tc 0 Tw 5.04 -4.559 TD /F1 9.811 Tf [(. )73(S)37(i)101(n)54(c)96(e )72(1)30(0)] TJ .061 Tc 40.56 4.559 TD /F1 6.307 Tf (-3) Tj -.104 Tc 5.28 -4.559 TD /F1 9.811 Tf [( Tj -.095 Tc 4.23 Tw 4.799 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-111(is )-124(the )-117(f)30(l)-24(uid )-134(dens)-16(it)-50(y)50(, )] TJ 105.12 0 TD /F6 9.811 Tf (v) Tj -.104 Tc 2.599 Tw 4.559 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-253(a)17(n)-23(d )] TJ 29.039 0 TD /F6 9.811 Tf (L) Tj .136 Tc 2.359 Tw 5.519 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-253(– )] TJ -.034 Tc 3.873 Tw -180 -11.279 TD [(c)25(h)-16(a)25(racter)-20(i)30(s)-29(tic )-57(ve)-16(l)30(o)-16(cit)-37(y and )-90(dimens)-18(i)30(o)-16(n )-85(o)-16(f )-56(t)30(h)-16(e )] TJ -.06 Tc 3.146 Tw 0 -11.039 TD [(sy)20(stem, )-140(r)-39(esp)-30(e)22(ctive)-19(l)-21(y)29(, )-169(a)22(n)-19(d )] TJ 113.76 0 TD /F6 9.811 Tf (µ) Tj 4.509 Tc -1.127 Tw 6 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-114(i)469(s )367(t)469(h)446(e )373(d)397(y)519(n)446(a)463(m)479(i)444(c )] TJ .136 Tc 3.149 Tw -119.76 -11.279 TD [(v)24(i)23(s)36(c)17(o)24(si)34(t)-25(y )22(of )-22(t)23(h)24(e )-33(f)29(l)23(ui)23(d)24(. The )-28(m)33(a)42(xi)23(mu)33(m o)-17(f )-22(t)47(he )] TJ 1.946 Tw 0 -11.279 TD [(R)20(e)17(y)49(n)24(ol)47(ds )-15(n)24(um)33(be)17(r)29(s )-15(f)53(o)24(r )-46(t)47(he s)26(t)23(u)24(di)23(e)17(d s)-15(y)49(st)34(em)26(s )-15(a)42(re )] TJ -.086 Tc .237 Tw 0 -11.039 TD [(summa)31(r)-42(ized in T)-23(a)19(b)-46(le )15(1)-22(. Wi)23(th )] TJ .008 Tc 116.4 0 TD /F6 9.811 Tf (Re) Tj -.104 Tc .125 Tw 10.32 0 TD /F1 9.811 Tf [(<)15(<20)-33(00 )-16(it can b)-51(e )] TJ -.086 Tc 1 Tw -126.719 -11.039 TD [(c)19(o)-22(nc)21(lu)-22(ded )-25(t)25(h)-22(a)19(t )-23(t)25(h)-22(e )20(air )-22(flow is l)26(a)-29(mina)-16(r )-17(f)31(or a)-20(l)25(l )-23(t)25(h)-22(e )] TJ -.104 Tc .231 Tw 0 -11.279 TD [(studi)-16(ed s)-50(y)49(s)-37(tems )-18(and n)-37(o tur)-27(b)-23(ulenc)-15(e ef)-15(fec)-33(t)23(s )-18(ne)-31(e)17(ded )] TJ -.097 Tc .094 Tw 0 -11.279 TD [(t)23(o b)-42(e )23(inc)-30(l)23(u)-23(ded )-23(in )-19(the si)-14(mul)-39(a)18(t)-25(ions. )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj .179 Tc -.179 Tw 0.96 -10.08 TD /F1 7.708 Tf [(d)56(ev)56(ice )] TJ -.013 Tc .013 Tw 40.799 0 TD [(f)20(0 )] TJ .074 Tc -.074 Tw -6.24 -9.119 TD ([kHz] ) Tj -.253 Tc .25 Tw 33.359 9.119 TD [(Q )-26(i)-65(n )] TJ .074 Tc -.074 Tw 2.64 -9.119 TD [(a)18(ir )] TJ -.253 Tc .253 Tw 30.96 9.119 TD /F8 7.708 Tf <01FB> Tj /F1 7.708 Tf 5.04 0 TD (x ) Tj .074 Tc -.074 Tw -8.88 -9.119 TD [(\(A)46(C\) )] TJ 0.24 -8.88 TD [([µ)25(m] )] TJ -.013 Tc .013 Tw 36.96 18 TD (v ) Tj .314 Tc -.314 Tw -6 -9.119 TD [(\()62(A)46(C)54(\) )] TJ -0.24 -8.88 TD [([)31(m)71(/)38(s)56(] )] TJ -.061 Tc .061 Tw 36.479 17.76 TD /F2 7.708 Tf [(R)-32(e )] TJ ET 309.839 606 0.48 0.48 re f 309.839 606 0.48 0.48 re f 310.319 606 32.399 0.48 re f 342.719 606 0.48 0.48 re f 343.199 606 34.079 0.48 re f 377.279 606 0.48 0.48 re f 377.759 606 27.12 0.48 re f 404.879 606 0.479 0.48 re f 405.359 606 34.08 0.48 re f 439.439 606 0.479 0.48 re f 439.919 606 27.12 0.48 re f 467.039 606 0.48 0.48 re f 467.519 606 37.68 0.48 re f 505.199 606 0.48 0.48 re f 505.199 606 0.48 0.48 re f 309.839 573.839 0.48 32.16 re f 342.719 573.839 0.48 32.16 re f 377.279 573.839 0.48 32.16 re f 404.879 573.839 0.479 32.16 re f 439.439 573.839 0.479 32.16 re f 467.039 573.839 0.48 32.16 re f 505.199 573.839 0.48 32.16 re f BT .228 Tc -.228 Tw 322.079 566.399 TD /F1 7.708 Tf [(C)42(1 )] TJ 34.56 0 TD [(8)62(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 28.8 0 TD [(1)31(5)-30(0 )] TJ 30 0 TD (0.75 ) Tj -.253 Tc .253 Tw 31.199 0 TD [(0.)-62(38 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(0)31(.)-31(25 )] TJ ET 309.839 573.359 0.48 0.48 re f 310.319 573.359 32.399 0.48 re f 342.719 573.359 0.48 0.48 re f 343.199 573.359 34.079 0.48 re f 377.279 573.359 0.48 0.48 re f 377.759 573.359 27.12 0.48 re f 404.879 573.359 0.479 0.48 re f 405.359 573.359 34.08 0.48 re f 439.439 573.359 0.479 0.48 re f 439.919 573.359 27.12 0.48 re f 467.039 573.359 0.48 0.48 re f 467.519 573.359 37.68 0.48 re f 505.199 573.359 0.48 0.48 re f 309.839 562.799 0.48 10.559 re f 342.719 562.799 0.48 10.559 re f 377.279 562.799 0.48 10.559 re f 404.879 562.799 0.479 10.559 re f 439.439 562.799 0.479 10.559 re f 467.039 562.799 0.48 10.559 re f 505.199 562.799 0.48 10.559 re f BT .228 Tc -.228 Tw 322.079 555.36 TD /F1 7.708 Tf [(C)42(2 )] TJ 34.56 0 TD [(8)62(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 28.8 0 TD [(1)31(8)-30(0 )] TJ 30 0 TD (0.90 ) Tj -.253 Tc .253 Tw 31.199 0 TD [(0.)-62(45 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(0)31(.)-31(30 )] TJ ET 309.839 562.319 0.48 0.48 re f 310.319 562.319 32.399 0.48 re f 342.719 562.319 0.48 0.48 re f 343.199 562.319 34.079 0.48 re f 377.279 562.319 0.48 0.48 re f 377.759 562.319 27.12 0.48 re f 404.879 562.319 0.479 0.48 re f 405.359 562.319 34.08 0.48 re f 439.439 562.319 0.479 0.48 re f 439.919 562.319 27.12 0.48 re f 467.039 562.319 0.48 0.48 re f 467.519 562.319 37.68 0.48 re f 505.199 562.319 0.48 0.48 re f 309.839 551.279 0.48 11.039 re f 342.719 551.279 0.48 11.039 re f 377.279 551.279 0.48 11.039 re f 404.879 551.279 0.479 11.039 re f 439.439 551.279 0.479 11.039 re f 467.039 551.279 0.48 11.039 re f 505.199 551.279 0.48 11.039 re f BT .228 Tc -.228 Tw 320.16 543.84 TD /F1 7.708 Tf [(T)18(F)25(1 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 34.32 0 TD (250 ) Tj .228 Tc -.228 Tw 29.039 0 TD [(1)62(20)31(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 31.92 0 TD (0.28 ) Tj -.253 Tc .253 Tw 31.199 0 TD [(0.)-62(45 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(0)31(.)-31(30 )] TJ ET 309.839 550.799 0.48 0.48 re f 310.319 550.799 32.399 0.48 re f 342.719 550.799 0.48 0.48 re f 343.199 550.799 34.079 0.48 re f 377.279 550.799 0.48 0.48 re f 377.759 550.799 27.12 0.48 re f 404.879 550.799 0.479 0.48 re f 405.359 550.799 34.08 0.48 re f 439.439 550.799 0.479 0.48 re f 439.919 550.799 27.12 0.48 re f 467.039 550.799 0.48 0.48 re f 467.519 550.799 37.68 0.48 re f 505.199 550.799 0.48 0.48 re f 309.839 540.48 0.48 10.319 re f 342.719 540.48 0.48 10.319 re f 377.279 540.48 0.48 10.319 re f 404.879 540.48 0.479 10.319 re f 439.439 540.48 0.479 10.319 re f 467.039 540.48 0.48 10.319 re f 505.199 540.48 0.48 10.319 re f BT .228 Tc -.228 Tw 320.16 532.799 TD /F1 7.708 Tf [(T)18(F)25(2 )] TJ 6.371 Tw 32.399 0 TD [(1)31(0)31(00 )-855(5)62(60)31(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 62.88 0 TD (1.26 ) Tj -.253 Tc .253 Tw 31.199 0 TD [(7.)-62(91 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(5)31(.)-31(27 )] TJ ET 309.839 540 0.48 0.48 re f 310.319 540 32.399 0.48 re f 342.719 540 0.48 0.48 re f 343.199 540 34.079 0.48 re f 377.279 540 0.48 0.48 re f 377.759 540 27.12 0.48 re f 404.879 540 0.479 0.48 re f 405.359 540 34.08 0.48 re f 439.439 540 0.479 0.48 re f 439.919 540 27.12 0.48 re f 467.039 540 0.48 0.48 re f 467.519 540 37.68 0.48 re f 505.199 540 0.48 0.48 re f 309.839 529.44 0.48 10.559 re f 342.719 529.44 0.48 10.559 re f 377.279 529.44 0.48 10.559 re f 404.879 529.44 0.479 10.559 re f 439.439 529.44 0.479 10.559 re f 467.039 529.44 0.48 10.559 re f 505.199 529.44 0.48 10.559 re f BT .11 Tc -.11 Tw 323.279 522 TD /F1 7.708 Tf (M ) Tj .228 Tc -.228 Tw 33.359 0 TD [(5)62(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 28.8 0 TD [(1)31(7)-30(5 )] TJ 30 0 TD (0.05 ) Tj -.253 Tc .253 Tw 31.199 0 TD [(0.)-62(02 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(0)31(.)-31(01 )] TJ ET 309.839 528.96 0.48 0.48 re f 310.319 528.96 32.399 0.48 re f 342.719 528.96 0.48 0.48 re f 343.199 528.96 34.079 0.48 re f 377.279 528.96 0.48 0.48 re f 377.759 528.96 27.12 0.48 re f 404.879 528.96 0.479 0.48 re f 405.359 528.96 34.08 0.48 re f 439.439 528.96 0.479 0.48 re f 439.919 528.96 27.12 0.48 re f 467.039 528.96 0.48 0.48 re f 467.519 528.96 37.68 0.48 re f 505.199 528.96 0.48 0.48 re f 309.839 517.679 0.48 11.28 re f 309.839 517.2 0.48 0.479 re f 309.839 517.2 0.48 0.479 re f 310.319 517.2 32.399 0.479 re f 342.719 517.679 0.48 11.28 re f 342.719 517.2 0.48 0.479 re f 343.199 517.2 34.079 0.479 re f 377.279 517.679 0.48 11.28 re f 377.279 517.2 0.48 0.479 re f 377.759 517.2 27.12 0.479 re f 404.879 517.679 0.479 11.28 re f 404.879 517.2 0.479 0.479 re f 405.359 517.2 34.08 0.479 re f 439.439 517.679 0.479 11.28 re f 439.439 517.2 0.479 0.479 re f 439.919 517.2 27.12 0.479 re f 467.039 517.679 0.48 11.28 re f 467.039 517.2 0.48 0.479 re f 467.519 517.2 37.68 0.479 re f 505.199 517.679 0.48 11.28 re f 505.199 517.2 0.48 0.479 re f 505.199 517.2 0.48 0.479 re f BT .422 Tc 0 Tw 315.6 508.56 TD /F2 8.875 Tf [(T)65(a)61(bl)64(e )86(1)] TJ -.052 Tc .052 Tw 28.559 0 TD /F1 9.811 Tf (. ) Tj .124 Tc .272 Tw 5.28 0 TD /F1 8.875 Tf [(Me)63(a)25(s)24(ur)22(e)25(d )24(de)25(vi)22(c)52(es )19(\()22(C1 )29(– w)-23(i)76(de )22(ca)50(n)-26(t)49(i)21(l)21(e)25(ve)25(r)22(; C)23(2 )] TJ -.056 Tw -33.84 -10.32 TD [(– )41(na)25(r)22(r)22(o)27(w c)45(a)25(nt)22(i)21(l)49(eve)50(r; )31(T)-23(F)56(1 – )29(i)49(n)-26(-)49(pl)22(a)52(n)-26(e )39(t)21(u)27(n)-26(i)76(n)-26(g )41(f)22(o)54(rk)49(; TF)40(2 – )] TJ -.116 Tc 2.845 Tw 0 -10.32 TD [(o)27(u)-53(t)21(-o)-31(f-pla)-16(n)-26(e )-38(tun)-59(i)49(n)-53(g )-37(for)-35(k)27(; )-42(M )-80(– )-91(t)21(ors)-33(io)22(n)-53(al )-17(r)-31(e)-28(s)24(on)-26(ator)-38(, )] TJ -.071 Tc 3.891 Tw 0 -9.839 TD [(mic)15(ro)33(m)-40(irr)-26(o)32(r)-26(. )-50(Se)-16(e )-19(t)-27(ext )-41(f)-26(o)32(r )-76(fu)-21(rth)-21(er )-45(d)32(e)-23(tails )-45(on )-93(t)27(h)-48(e )] TJ -.081 Tc .18 Tw 0 -10.08 TD [(d)31(e)-24(vices)-18(\) )17(w)-16(ith )-35(si)54(m)-15(u)-49(l)25(ated m)-17(a)29(x)-22(i)25(m)-15(u)-22(m )-24(ampl)16(itu)-25(de )24(o)-22(f )17(th)-24(e )20(t)-28(ip )] TJ -.356 Tc 3.819 Tw 0 -10.08 TD [(d)-26(i)-32(s)-29(p)-53(l)-32(ac)-57(em)-74(en)-82(t a)-15(n)-80(d ve)-64(lo)-32(c)-28(i)-32(t)-59(y u)-62(s)-29(in)-59(g t)-40(h)-53(e m)-56(e)-28(as)-31(u)-53(r)-31(e)-55(d )18(Q)-74(-)] TJ -.1 Tc .701 Tw 0 -10.08 TD [(v)29(a)-26(l)50(u)-51(es )-34(i)50(n )-58(a)27(ir. Th)-38(e )20(veloc)-26(ity can )-17(b)29(e u)-31(se)26(d )22(t)-30(o )22(e)-26(s)26(t)-30(i)23(m)-17(a)-26(t)23(e t)16(h)-51(e )] TJ .124 Tc .598 Tw 0 -10.08 TD [(Re)57(y)54(nol)22(d)27(s )31(nu)27(m)-19(b)54(e)25(r )29(a)25(nd )34(ca)50(teg)20(o)27(r)22(i)21(ze )30(t)49(h)-26(e )32(ty)49(pe )32(of )29(t)21(he )32(fl)44(ui)22(d )] TJ .314 Tc 0 -10.08 TD [(f)44(l)43(o)76(w.)] TJ 0 Tw 18.239 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -18.239 -10.56 TD ( ) Tj -.052 Tc .35 Tw 0 -11.279 TD [( )143(The )-88(Mac)24(h )-105(n)-18(um)19(b)-43(e)23(r, )] TJ 90 0 TD /F6 9.811 Tf (M) Tj .136 Tc .901 Tw 8.16 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )-16(i)47(s de)17(f)29(i)23(ne)17(d a)30(s t)23(he ra)28(t)23(i)23(o )] TJ -.104 Tc .431 Tw -98.159 -11.279 TD [(o)-23(f )43(the )-18(sp)-37(e)17(ed )-16(o)-23(f )18(stru)-34(ctur)-28(es mov)-21(ing thr)-33(ou)-24(gh a )-27(fluid )] TJ -.097 Tc .904 Tw 0 -11.279 TD [(t)23(o the )-50(sp)-35(e)18(ed )-15(o)-23(f )44(sou)-35(nd in )-43(the )-16(flu)-19(id. )-39(If )] TJ 148.8 0 TD /F6 9.811 Tf (M) Tj .136 Tc .318 Tw 8.16 0 TD /F1 9.811 Tf [(<0.)34(3, )-26(t)47(he )] TJ -.275 Tc 1.225 Tw -156.96 -11.039 TD [(g)-16(a)-24(s )-25(co)-41(mp)-50(r)-37(es)-30(s)-30(i)-18(o)-41(n )-37(e)-24(ffe)-50(c)-24(t)-18(s )-50(c)-24(an )-37(b)-65(e )-19(n)-16(e)-24(g)-16(l)-43(ec)-48(t)-18(ed)-65(. )-18(Fr)-47(o)-16(m )] TJ .136 Tc 5.615 Tw 0 -11.279 TD [(Ta)55(b)-24(l)23(e )-51(1, )-74(t)23(h)24(e )-75(m)33(a)42(xi)23(mu)33(m )-59(ve)17(l)23(o)24(ci)40(ti)21(e)42(s )-81(of )-88(t)47(he )] TJ -.034 Tc 1.189 Tw 0 -11.279 TD [(s)18(tr)17(u)-16(ctures a)19(re )-36(consid)21(erab)-29(l)-18(y )32(s)18(m)-32(a)25(l)-18(l)30(er th)-23(an )-16(30)-34(% )23(o)-16(f )] TJ .136 Tc 2.153 Tw 0 -11.039 TD [(t)47(he s)47(p)-24(e)42(e)17(d )18(of )47(so)36(un)24(d )18(i)23(n )18(ai)16(r )23(0.)19(3×3)39(43)] TJ /F8 9.811 Tf 144.24 0 TD <00A7> Tj /F1 9.811 Tf 5.28 0 TD [(10)49(0 m )21(s)] TJ .061 Tc 35.28 4.32 TD /F1 6.307 Tf (-1) Tj -.052 Tc .052 Tw 5.28 -4.32 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj -.086 Tc 3.484 Tw -190.08 -11.279 TD [(such )-76(t)25(h)-22(a)19(t )-63(th)-46(e )-44(simp)-22(lifi)-17(e)19(d )-86(in)-22(comp)-39(ressib)-19(le )-68(flow )] TJ .136 Tc 1.471 Tw 0 -11.279 TD [(m)33(o)24(de)42(l co)38(ul)47(d b)-26(e )15(u)24(se)29(d i)20(n )-26(s)36(im)31(ul)23(a)17(ti)45(on)24(s )-14(f)29(o)24(r all th)36(e )] TJ -.043 Tc .017 Tw 0 -11.279 TD [(s)18(tudied s)-50(y)55(s)-30(t)29(ems)-16(. )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj -.106 Tc -.026 Tw 0 -12.24 TD /F2 10.744 Tf [(4)-23(. S)-25(i)22(m)19(p)-34(li)-21(fie)-24(d )-20(a)-23(ir )-20(flow )-46(m)19(o)-45(del )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj .136 Tc 1.409 Tw 0 -11.039 TD [(F)31(i)23(g)24(ur)29(e 4 )-23(de)66(p)-24(i)47(c)17(t)47(s )-21(t)47(h)-24(e pri)60(nc)42(i)23(pl)23(e o)-15(f )45(t)23(h)24(e si)43(m)33(p)-24(l)47(if)27(i)23(e)17(d )] TJ -.034 Tc 2.029 Tw 0 -11.279 TD [(2D )-43(m)16(odel th)21(a)-23(t r)-18(e)25(p)-41(l)30(aces )-41(the m)17(o)-16(re )-24(com)23(p)-41(l)30(ex )-28(3)-16(D )] TJ -.086 Tc 2.031 Tw 0 -11.279 TD [(sim)24(u)-22(la)-29(t)25(ion)-20(. )-44(In)-16(itia)-29(l)25(l)-48(y de)-42(f)31(or)-40(me)30(d )-38(b)-46(e)19(am w)-31(ith )-63(a )-21(tip )] TJ -.06 Tc .06 Tw 0 -11.039 TD [(dis)23(p)-43(l)27(ac)19(e)-26(ment )] TJ 57.84 0 TD /F6 9.811 Tf (A) Tj .136 Tc 3.462 Tw 6 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-67(\(F)36(i)23(g. )-48(4a)42(\) )-39(i)23(s )-56(s)36(ub)24(di)47(vi)23(d)24(e)17(d )-43(i)23(n)24(t)23(o )] TJ -.104 Tc .725 Tw -63.84 -11.279 TD [(narr)-22(ow )-27(cro)-26(ss-se)-17(ct)-32(i)23(o)-23(ns )-17(o)-48(f w)-22(idth )] TJ .376 Tc 125.28 0 TD /F6 9.811 Tf (dx) Tj .025 Tc .581 Tw 9.359 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-30(a)31(nd )-28(ma)28(ss )] TJ .136 Tc 43.439 0 TD /F6 9.811 Tf (dm) Tj -.292 Tc .292 Tw 12.24 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .136 Tc 1.34 Tw -190.319 -11.279 TD [(e)42(a)17(c)42(h )-15(di)23(spl)34(a)42(ce)35(d )-15(b)-48(y )33(a)42(n )-39(i)23(n)24(it)21(i)23(a)17(l )-16(a)17(m)33(pl)23(it)45(ud)24(e )] TJ 160.08 0 TD /F6 9.811 Tf (A) Tj 6 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (i) Tj .678 Tw 1.919 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(, )-63(su)36(c)17(h )] TJ -.034 Tc 2.391 Tw -168 -11.279 TD [(t)30(h)-16(a)25(t )-42(the )-35(com)23(b)-41(ined sh)-26(ap)-16(e )-23(o)-41(f t)18(h)-16(e )-47(c)25(ross-sections )] TJ .985 Tw 0 -10.8 TD [(res)30(em)16(b)-16(le)-18(s t)28(h)-41(e origi)16(n)-16(al beam’)20(s )-25(mode shap)-30(e )-19(\(Fi)31(g)-16(. )] TJ .136 Tc 1.821 Tw 0 -11.279 TD [(4)24(b\). Th)21(e )-22(c)42(ros)40(s-)40(se)53(ct)16(i)47(on)24(s )-28(os)36(ci)16(l)23(la)40(te )-23(v)24(e)17(r)29(ti)21(c)17(a)17(l)23(l)-25(y a)26(n)24(d )] TJ -.104 Tc .951 Tw 0 -11.279 TD [(synchr)-15(on)-24(ousl)-63(y )43(at )-14(t)23(h)-23(e r)15(e)-31(sona)-19(nc)-31(e f)15(r)-19(eq)-31(u)-23(e)17(nc)-31(y )43(o)-23(f t)21(h)-23(e )] TJ .136 Tc .885 Tw 0 -11.279 TD [(o)24(ri)51(gi)47(na)17(l be)27(a)42(m )20(d)24(ue )29(t)23(o t)34(he )29(a)17(c)17(ti)45(on of )76(spr)16(i)23(n)24(g f)40(o)24(rc)22(e)17(s )] TJ 0 -11.039 TD /F6 9.811 Tf (dk) Tj -.094 Tc 1.936 Tw 9.359 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-26(\()-18(Fig )-18(4b)-46(\). )-25(R)-27(e)43(p)-47(l)24(acing )-37(a )-32(thr)-18(e)-30(e)18(-)-18(dimen)-19(sion)-34(a)18(l )-51(air )] TJ ET q 192.96 0 0 177.119 89.28 541.44 cm /I4 Do Q q 53.759 0 0 26.879 141.599 136.799 cm /I5 Do Q Q endstream endobj 32 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F2 14 0 R /F6 30 0 R /F7 37 0 R /F8 40 0 R >> /XObject 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)-38(t)24(h)-47(e a)-20(ir )] TJ -.104 Tc 3.023 Tw 0 -11.279 TD [(f)29(lo)-25(w p)-37(ro)-19(f)29(i)-25(le can al)-37(so b)-28(e assum)-22(e)17(d )-14(to b)-41(e t)25(w)-22(o-)] TJ 2.729 Tw 0 -11.279 TD [(dimens)-37(i)23(o)-23(na)-31(l)23(. )-50(F)-16(or )-40(a )-51(lam)-24(i)23(n)-48(a)17(r )-40(t)-50(y)73(p)-72(e )-27(o)-23(f )-40(fl)27(o)-23(w)-22(, )-50(the )] TJ -.086 Tc 1.004 Tw 0 -11.039 TD [(inte)21(r)-42(a)19(c)-29(ti)25(o)-22(n )-21(o)-22(f d)-39(if)-17(fe)25(r)-42(e)19(n)-22(t os)-32(cil)-29(lati)19(n)-22(g )-45(c)19(r)-17(o)-22(ss-sect)-37(i)25(o)-22(ns )] TJ -.104 Tc 3.766 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(n)-23(d )-37(th)-25(e )-19(a)-31(ir )-58(flows )-70(ind)-25(uced )-51(b)-48(y the)-45(m )-28(c)-31(a)17(n )-61(b)-23(e )] TJ .136 Tc 3.18 Tw 0 -11.279 TD [(c)42(on)24(si)34(d)24(e)42(r)-19(e)17(d )-23(ne)42(gl)47(i)23(gi)23(b)-24(l)47(e)17(, )-28(s)36(uc)42(h )-47(t)23(ha)17(t )-25(t)47(h)-24(e )-30(t)47(ot)23(a)17(l )-25(a)17(i)23(r )] TJ -.104 Tc .777 Tw 0 -11.279 TD [(damp)-22(ing )-49(f)53(o)-23(rce is )-23(a )18(sum or )-23(a)17(n )-23(integr)-30(al )16(o)-48(f )29(vi)-25(sco)-19(us )] TJ .82 Tw 0 -11.039 TD [(damp)-22(ing )-45(f)53(o)-23(rc)-26(e)17(s exp)-39(e)17(r)-19(i)-25(e)17(n)-23(c)17(ed b)-50(y )29(ind)-25(ividu)-52(a)17(l cro)-23(ss-)] TJ 5.71 Tc -.816 Tw 0 -11.279 TD [(s)604(e)586(c)586(t)591(i)591(o)593(n)568(s)579(. )421(M)590(o)568(d)593(e)610(l)591(i)591(n)593(g )485(a )527(c)586(r)572(o)593(s)579(s)579(-)572(s)604(e)561(c)610(t)566(i)591(o)593(n )485(o)568(f )538(a)610(n )] TJ .136 Tc 5.982 Tw 0 -11.279 TD [(e)42(xt)47(e)17(n)24(d)-24(e)42(d )-129(t)47(or)29(sio)34(na)42(l )-106(re)22(s)36(on)24(at)40(or )-100(\(F)36(i)23(g)24(. )-109(2d\) )-100(i)23(s )] TJ 2.129 Tw 0 -11.279 TD [(a)42(ppro)53(p)-24(r)29(i)23(a)17(t)47(e du)33(e )-15(t)23(o )-32(t)47(he )-15(sy)60(mm)18(e)42(t)23(r)-44(y )40(of t)18(h)24(e )-15(proo)29(f )] TJ 2.189 Tw 0 -11.039 TD [(m)33(a)42(ss abo)37(ut t)18(h)24(e ro)19(t)23(a)17(ti)21(o)24(n )-26(a)42(xi)23(s )-15(a)17(l)23(o)24(ng t)20(he l)38(on)24(ge)42(r )] TJ -.034 Tc .042 Tw 0 -11.279 TD [(dim)28(ens)-22(i)30(o)-16(n \(ne)32(g)-41(lecti)16(ng t)26(h)-41(e e)31(d)-16(ges)26(\). )-29(In )25(the )-29(c)25(ase )25(o)-41(f )18(a )] TJ .136 Tc 1.225 Tw 0 -11.279 TD [(be)17(n)24(di)47(ng )22(be)17(a)42(m)33(, )-32(a)42(ss)47(u)-24(m)33(i)23(n)24(g )-26(t)23(h)24(e st)49(r)-19(a)42(i)23(gh)24(t m)29(o)-24(t)47(i)23(on of )] TJ -.094 Tc 1.211 Tw 0 -11.039 TD [(the c)-14(ro)-17(ss-)-18(se)-17(ct)-30(i)24(o)-22(n )-26(is )-40(a)18(n )-26(add)-28(itiona)-30(l ap)-33(p)-47(ro)-17(xima)28(tion )] TJ -.034 Tc 1.002 Tw 0 -11.279 TD [(b)-16(ec)25(ause )-16(the )19(n)-16(e)25(u)-16(tral )-20(a)25(x)-41(i)30(s o)-41(f the b)-29(e)25(am moves )-20(n)-16(ot )] TJ -.095 Tc 3.092 Tw 0 -11.039 TD [(on)-22(ly )-55(trans)-37(lat)-31(ional)-30(l)-24(y )-30(b)-23(u)-23(t )-56(als)-18(o )-54(r)-18(ot)-23(a)-30(t)24(ion)-23(all)-56(y)50(. )-84(F)-16(or )] TJ .136 Tc 1.649 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(ma)26(l)23(l a)32(mpl)31(i)23(t)23(u)24(de)42(s o)-21(f )20(v)24(i)23(b)-24(r)29(a)17(t)23(i)23(on)24(s of a l)54(on)24(g bea)26(m )] TJ -.096 Tc 3.814 Tw 0 -11.039 TD [(the )-62(ro)-42(t)24(a)-30(ti)23(o)-23(na)-29(l )-81(mot)-14(ion )-79(is, )-73(ho)-22(w)-21(e)18(v)-23(e)18(r)-18(, )-84(r)-18(elati)-14(ve)-29(l)-24(y )] TJ -.104 Tc 1.284 Tw 0 -11.279 TD [(small )-35(and )-27(can )-34(b)-23(e n)-27(e)17(g)-23(l)-25(e)17(c)-31(t)23(ed. )-33(T)-35(he v)-27(a)17(l)-25(idi)-27(t)-25(y )28(o)-48(f )-16(the )] TJ -.275 Tc 3.152 Tw 0 -11.279 TD [(ap)-41(p)-41(r)-37(o)-16(x)-41(im)-27(at)-18(io)-36(n )-85(w)-39(as )-74(d)-65(emo)-50(n)-16(s)-30(tr)-56(a)-24(t)-18(e)-24(d )-61(i)-18(n )-109(a )-68(s)-30(i)-18(m)-32(i)-43(l)-18(ar )] TJ -.104 Tc 1.318 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(p)-23(p)-23(r)-19(oach wh)-29(e)17(r)-19(e )-24(the )-26(t)-25(ines )-39(\(b)-44(e)17(ams\) )-24(o)-23(f t)-14(he )-48(t)23(u)-23(ning )] TJ 3.059 Tw 0 -11.279 TD [(f)29(o)-23(r)-19(ks )-48(wer)-25(e )-42(mo)-15(de)-31(l)23(ed )-67(as )-55(sp)-37(heres )-58(or )-55(string)-36(s )-48(o)-23(f )] TJ .136 Tc 3.501 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(p)-24(h)24(e)17(r)29(e)17(s )-52(i)47(n )-63(st)34(ra)22(i)23(gh)24(t )-65(m)33(o)24(ti)21(o)24(n )-63([7-)33(1)24(2]. )-40(H)26(ow)26(e)42(ve)42(r, )] TJ -.104 Tc 4.432 Tw 0 -11.279 TD [(mod)-15(e)17(l)-25(ing )-117(rect)-35(angu)-31(la)16(r )-136(c)17(r)-19(oss)-25(-se)-15(c)-31(t)23(io)-25(ns )-129(i)23(s )-129(mo)-15(re )] TJ .136 Tc .574 Tw 0 -11.039 TD [(a)42(ppro)53(p)-24(r)29(i)23(a)17(t)47(e )22(a)17(s )16(t)23(he)-31(y )78(re)22(pro)29(du)24(c)17(e )22(c)42(l)23(os)36(e)17(r t)31(he )22(or)29(i)23(g)24(i)23(n)24(al )] TJ -.06 Tc -.038 Tw 0 -11.279 TD [(geom)20(e)-26(try o)-32(f )29(th)-16(e )17(s)-32(tructur)-19(es. )] TJ -.095 Tc .418 Tw 0 -11.039 TD [( )153(Th)-33(e )-16(simula)-33(tio)-24(ns )-21(in )-34(t)-24(i)24(me )-55(doma)-18(in )-34(were )-39(ini)-24(ti)-25(ated )] TJ -.086 Tc .591 Tw 0 -11.039 TD [(b)-46(y )59(d)-22(i)-23(splac)-19(ing th)-35(e )-21(c)19(r)-17(oss-s)-49(e)19(c)-29(tion)-20(s o)-25(f th)-32(e s)-32(t)25(r)-17(uctur)-43(e)19(s )] TJ 2.853 Tw 0 -11.279 TD [(b)-46(y )-77(in)-22(it)-23(i)25(a)-29(l )-128(amp)-41(l)25(itud)-20(e )] TJ 90.48 0 TD /F6 9.811 Tf (A) Tj 3.169 Tw 6.24 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-120(f)31(ro)-40(m )-85(th)-22(e )-101(e)19(q)-46(uili)26(b)-46(riu)-16(m )] TJ 1.653 Tw -96.719 -11.279 TD [(p)-22(o)-22(siti)38(o)-22(n )-28(\(in )-46(cas)-21(e )-35(o)-22(f tor)-16(sio)-33(na)-27(l r)-24(esona)-42(t)25(o)-22(r)-17(s, )-20(ti)-23(lting )] TJ -.275 Tc .88 Tw 0 -11.279 TD [(t)-18(h)-16(em )-39(b)-90(y an)-40(g)-16(l)-18(e )] TJ 59.52 0 TD /F6 9.811 Tf (A) Tj .115 Tc .663 Tw 6 0 TD /F1 9.811 Tf [(\). )30(Due )24(t)21(o t)54(he )24(re)42(st)54(ori)45(ng )-17(f)76(orc)15(e)15(s o)18(r )] TJ -.06 Tc .188 Tw -65.519 -11.039 TD [(torq)-28(ues, th)18(e )16(s)-32(im)16(u)-19(lated s)-34(y)29(stem)-19(s began to os)-15(cil)-21(l)27(a)-26(t)27(e)-26(. )] TJ .136 Tc 2.426 Tw 0 -11.279 TD [(The )28(os)36(c)17(il)45(la)16(t)23(i)23(o)24(n )-26(am)26(pl)23(i)23(t)47(ude dec)25(ay)66(e)17(d )-51(d)24(ue )-33(t)47(o )-51(t)23(h)24(e )] TJ -.086 Tc .419 Tw 0 -11.279 TD [(inte)21(r)-42(a)19(c)-29(ti)25(o)-22(n w)-28(it)25(h a)-37(ir a)16(s )-20(t)25(h)-46(e simula)-18(t)-23(i)25(o)-22(ns )-18(p)-22(r)-17(ogre)-19(sse)21(d )] TJ -.275 Tc 1.879 Tw 0 -11.279 TD [(i)-18(n )-19(t)-18(i)-43(me)-57(, )-24(an)-41(d )-43(th)-36(e )-26(Q)-39(-)-37(v)-16(a)-24(lu)-60(es )-32(w)-39(er)-61(e )-26(es)-54(ti)-37(ma)-57(te)-18(d )-68(fr)-25(o)-41(m )] TJ -.093 Tc 3.011 Tw 0 -11.039 TD [(the )-69(logar)-23(ithmi)-14(c )-69(de)-28(c)19(r)-18(em)-20(e)19(n)-22(t )-64(o)-22(f )-33(am)-20(p)-22(li)23(tu)-23(d)-22(e )-45(\(F)-34(ig. )] TJ -.104 Tc 1.843 Tw 0 -11.279 TD [(4)-23(d)-23(\). T)-25(he )-19(r)-19(e)17(stor)-34(ing )-39(sp)-37(rin)-21(g )-37(f)53(o)-23(r)-19(ces)-26(/t)21(o)-23(rq)-44(ues )-32(du)-24(e )-19(t)23(o )] TJ 4.782 Tw 0 -11.279 TD [(the )-113(sp)-37(ring)-21(s’ )-89(de)-31(f)29(or)-19(m)-15(a)17(t)-25(ion )-106(w)-22(e)17(r)-19(e )-111(rep)-26(la)16(c)-31(e)17(d )-104(b)-48(y )] TJ -.034 Tc 9.898 Tw 0 -10.8 TD [(nume)30(rica)-31(l )-329(f)36(o)-16(rces/t)16(o)-16(rq)-29(ues)26(. )-308(T)-28(he )-303(restorin)17(g )] TJ .136 Tc 2.02 Tw 0 -11.279 TD [(f)53(orc)22(e)17(s)36(/t)21(o)24(rqu)29(e)17(s )-32(w)26(e)17(r)29(e )-26(de)17(f)29(i)23(ne)42(d )-43(as)29(, )-24(e.g)36(., )-29(bou)24(nd)24(a)17(ry )] TJ -.275 Tc .48 Tw 0 -11.279 TD [(l)-18(o)-16(ad )-64(\(F)-72(ig)-36(. )-20(3)-65(c\) )] TJ -.143 Tc .143 Tw 56.159 0 TD /F6 9.811 Tf [(-)-23(d)-27(k\(A)-25(+u)-52(\) )] TJ -.104 Tc 39.359 0 TD /F1 9.811 Tf (or) Tj -.146 Tc .574 Tw 8.16 0 TD /F6 9.811 Tf [( -d)-52(k\(A+)-27(v\))] TJ .428 Tc 0 Tw 38.399 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )49(w)56(h)30(e)72(r)34(e )47(d)] TJ 36.719 0 TD /F6 9.811 Tf (k) Tj .265 Tc -.051 Tw 4.32 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-21(i)36(s )] TJ -.095 Tc 2.661 Tw -183.12 -11.279 TD [(the )-32(sp)-35(rin)-18(g )-25(con)-28(stant )-21(p)-47(e)18(r )-45(un)-22(it )-28(a)18(r)-18(e)18(a )-32(\()-18(a)18(d)-47(juste)-18(d )-49(t)24(o )] TJ -.104 Tc .749 Tw 0 -11.039 TD [(res)-15(ul)-25(t )20(in )-28(t)23(h)-23(e )15(r)-19(e)17(q)-48(uired r)-26(es)-19(on)-24(a)17(nc)-31(e f)19(r)-19(eq)-31(u)-23(e)17(n)-23(cy )39(o)-48(f the )] TJ 3.439 Tw 0 -11.279 TD [(syste)-34(m\), )-331(and )] TJ 64.319 0 TD /F6 9.811 Tf (u) Tj 3.318 Tw 5.28 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-327(a)17(n)-23(d )] TJ 31.679 0 TD /F6 9.811 Tf (v) Tj .136 Tc 4.687 Tw 4.32 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-163(a)42(re )-117(t)23(he )-146(s)36(t)23(ruc)22(t)47(ur)29(al )] TJ .951 Tw -105.599 -11.279 TD [(d)24(i)23(spl)34(a)42(c)17(e)17(m)33(e)17(nt of th)37(e c)-19(e)42(nt)47(re o)-33(f )22(ma)51(ss ho)16(ri)51(z)17(o)24(nt)23(a)17(lly )] TJ .118 Tc 9.686 Tw 0 -11.039 TD [(\()27(i)21(n-)25(p)-25(l)45(a)16(n)23(e)16(\) )-313(a)40(nd )-295(ve)38(r)-21(t)21(i)21(c)16(a)16(lly )-276(\(o)25(ut)43(-o)-23(f)76(-pl)21(a)40(n)-25(e)40(\), )] TJ .188 Tc -.094 Tw 0 -11.279 TD [(r)34(e)23(s)17(pe)52(c)23(ti)56(ve)52(l)-20(y)79(. )] TJ 0 Tw 418.8 116.159 TD ( ) Tj .182 Tc -191.039 -8.64 TD /F2 8.875 Tf [(Fi)64(g)34(u)-18(r)59(e )32(4)] TJ -.052 Tc .052 Tw 31.92 0 TD /F1 9.811 Tf (. ) Tj -.067 Tc .498 Tw 5.28 0 TD /F1 8.875 Tf [(S)-19(c)31(h)-48(e)58(m)-40(a)31(t)-26(ic p)37(r)-25(esenta)19(t)-26(io)33(n )-74(o)33(f th)-46(e )32(si)30(m)-40(p)-20(li)27(f)-25(ied air )] TJ -.116 Tc 1.506 Tw -37.2 -10.56 TD [(d)27(am)-20(pi)22(n)-53(g )-25(si)19(m)-18(u)-53(l)21(at)-33(i)21(on )-52(o)27(f )-57(\(a\) )-63(v)-26(i)21(brat)-38(i)49(n)-53(g )-25(c)-28(a)25(n)-53(t)21(ilev)-39(e)25(r )-57(be)-28(a)25(m )] TJ -.067 Tc 1.508 Tw 0 -10.08 TD [(w)-15(i)27(t)27(h )-68(an )-64(i)27(n)-48(i)27(t)-26(i)27(a)-22(l )-19(t)-26(ip )-68(displa)17(c)-22(e)31(men)-31(t )] TJ 120 0 TD /F6 8.875 Tf (A) Tj 1.863 Tc -.421 Tw 5.519 0 TD /F1 8.875 Tf [(. )196(\()218(b)196(\) )198(T)199(h)169(e )201(b)223(e)221(a)248(m )129(i)217(s )] TJ .124 Tc .55 Tw -125.519 -10.08 TD [(d)27(i)21(v)27(i)21(de)52(d )-25(i)49(nt)22(o cr)22(o)27(ss)22(-)22(s)24(e)25(c)25(t)21(i)21(o)27(ns of )22(w)-20(i)49(dt)49(h )] TJ .604 Tc 131.52 0 TD /F6 8.875 Tf (dx) Tj -.096 Tc .617 Tw 8.64 0 TD /F1 8.875 Tf [( )-42(an)-23(d m)-30(ass )] TJ .124 Tc 39.119 0 TD /F6 8.875 Tf (dm) Tj -.298 Tc .298 Tw 11.279 0 TD /F1 8.875 Tf (, ) Tj -.067 Tc 7.141 Tw -190.56 -10.08 TD [(displa)17(c)-22(ed )-160(fr)-24(o)33(m )-183(th)-48(e )-139(e)31(q)-20(u)-20(ilibr)-20(i)54(u)-48(m )-183(p)33(osit)-18(io)33(n )-191(b)-20(y )] TJ .124 Tc .087 Tw 0 -10.08 TD [(c)52(or)49(res)45(po)54(n)-26(d)27(i)49(ng a)56(mpl)29(i)49(t)21(ud)27(e)25(s )] TJ 93.359 0 TD /F6 8.875 Tf (A) Tj 5.519 -1.199 TD /F6 5.839 Tf (i) Tj -.1 Tc .356 Tw 1.679 1.199 TD /F1 8.875 Tf [(. T)-18(h)-24(e )-18(c)27(ross)-29(-)24(s)-27(ect)-30(i)23(on)-22(s )-19(m)-17(o)29(v)-24(e )] TJ 3.444 Tw -100.56 -10.08 TD [(sy)28(n)-24(ch)-24(ro)26(n)-51(o)29(u)-51(s)26(ly )-50(a)-26(t )-52(t)23(h)-51(e )-48(re)-29(s)26(on)-22(an)-24(ce )-48(f)-29(r)24(eq)-24(u)-51(e)54(n)-51(cy )-20(o)-24(f )-51(t)23(h)-51(e )] TJ .124 Tc .118 Tw 0 -10.08 TD [(o)54(ri)44(gi)49(nal )26(b)27(e)25(a)25(m d)68(u)-26(e )59(to )28(t)21(he )59(ac)23(t)21(i)21(o)54(n )-19(o)27(f s)53(pr)22(i)49(n)-26(g )34(f)49(orc)48(es )] TJ .364 Tc 169.68 0 TD /F6 8.875 Tf (dk) Tj -.075 Tc .166 Tw 8.64 0 TD /F1 8.875 Tf (. \(c\) ) Tj -.105 Tc 1.403 Tw -178.319 -10.08 TD [(C)-20(ro)25(ss-s)-34(ection )-43(of th)-41(e b)18(e)-27(a)26(m )-54(i)23(n)-25(side a )-51(p)28(r)-29(e-e)22(t)-30(ch)-25(ed cav)-35(i)23(t)-30(y )] TJ -.067 Tc .452 Tw 0 -10.08 TD [(displa)17(c)-22(ed b)-15(y )28(an )-48(i)27(n)-20(i)27(t)-26(i)27(a)-22(l amplitu)-30(de )] TJ 118.319 0 TD /F6 8.875 Tf (A) Tj 5.519 -1.439 TD /F6 5.839 Tf (i) Tj -.092 Tc .468 Tw 1.679 1.439 TD /F1 8.875 Tf [(. Th)-27(e spri)21(n)-50(g f)-30(o)30(r)-28(c)28(e)-25(s )] TJ -.083 Tc 2.403 Tw -125.519 -10.08 TD [(d)31(u)-49(e )-27(t)25(o )-25(th)-24(e )-27(s)-25(tr)24(u)-49(c)29(tu)-51(r)26(a)-24(l )-30(d)-22(e)29(f)-27(o)31(rm)-16(a)-24(tion)-22(s )-28(are )-26(r)-27(eplac)-19(ed )-23(b)-22(y )] TJ -.116 Tc 2.706 Tw 0 -10.08 TD [(b)27(ou)-26(n)-53(d)27(ary )-59(loa)-33(d)27(s )-55(t)-32(o )-25(m)-18(o)-26(de)-28(l )-31(th)-32(e )-27(r)-31(est)-36(o)27(r)-31(i)21(n)-26(g )-52(f)-31(o)27(r)-31(ces. )-92(\()22(d)-26(\) )] TJ -.1 Tc 3.205 Tw 0 -10.08 TD [(T)-21(i)23(m)-17(e-)24(d)-24(o)29(m)-17(a)-26(i)23(n )-74(s)-27(i)23(m)-17(u)-24(l)23(ation )-106(o)29(f )-51(a )-48(can)-51(t)23(ilev)-32(e)27(r )-51(\()-29(Fig. )-51(2)-24(a\) )] TJ -.081 Tc .477 Tw 0 -9.839 TD [(c)29(r)-27(o)31(s)-25(s)-25(-)26(s)-25(e)29(c)-24(t)-28(i)25(on )-21(d)-22(i)25(spla)-20(cemen)-31(t )23(i)25(n)-49(i)25(t)-28(ially dis)-24(place)-17(d by )33(1 )-25(µm )] TJ .124 Tc .966 Tw 0 -10.32 TD [(f)49(ro)49(m )-24(t)21(he e)45(qui)49(l)21(i)49(br)22(i)49(u)-26(m p)29(o)54(si)19(ti)43(o)27(n. D)20(ue )19(t)21(o )21(t)21(h)-26(e )19(i)76(n)-26(t)21(e)52(ra)21(c)25(ti)43(o)27(n )] TJ ET q 187.439 0 0 441.12 318.479 277.439 cm /I6 Do Q Q endstream endobj 42 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F6 30 0 R /F2 14 0 R >> /XObject << /I0 5 0 R /I6 43 0 R >> >> /MediaBox [0 0 595.2 841.919] /Contents [44 0 R] >> endobj 46 0 obj << /Length 24084 >> stream q 1 0 0 1 0 0 cm 0 g BT 99.962 Tz 448.8 70.319 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj ET q 300.48 0 0 11.039 148.319 70.08 cm /I0 Do Q BT -.1 Tc 1.675 Tw 87.84 710.399 TD /F1 8.875 Tf [(w)-19(i)23(th )-60(ai)23(r)-29(, th)-38(e am)-22(plitu)-34(de )-30(deca)-24(y)29(s)-27(. T)-31(h)-24(e Q)-24(-)24(v)-24(al)23(u)-24(e c)-31(an )-57(b)29(e )] TJ .124 Tc 3.221 Tw 0 -10.08 TD [(e)52(va)25(l)49(u)-26(a)52(te)20(d )-21(fr)18(o)54(m )-68(t)49(h)-26(e )-50(l)49(og)54(ari)69(t)21(h)-26(mi)83(c )-50(de)25(c)25(re)48(me)33(nt )-27(o)27(f )-26(t)21(he )] TJ -.067 Tc .067 Tw 0 -10.08 TD [(a)31(m)-40(plit)32(u)-48(d)33(e. )] TJ 0 Tw 0 -10.56 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -.095 Tc 2.173 Tw 0 -11.279 TD [(Th)-33(e )-33(numerical )-55(spr)-30(ing)-23(s )-39(eff)29(e)-30(c)18(t)-24(ive)-30(l)-24(y )22(r)-43(ep)-29(la)17(c)-30(e)18(d )-50(the )] TJ -.094 Tc .736 Tw 0 -11.279 TD [(a)18(c)-30(ti)23(o)-22(n o)-24(f actu)-33(al res)-21(tor)-18(ing )-25(forc)-18(es )-20(thu)-22(s el)-21(im)-14(i)24(n)-22(ating )] TJ -.104 Tc 1.225 Tw 0 -11.279 TD [(the n)-35(e)17(ed )-33(t)23(o )-26(s)-37(i)23(m)-15(ul)-25(a)17(t)-25(e the )-21(s)-37(t)23(r)-19(u)-23(ctur)-28(a)17(l )-28(de)-31(f)29(o)-23(rma)-17(t)-25(i)23(o)-23(ns )] TJ .11 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(n)-23(d red)-20(ucin)-32(g t)29(h)-48(e )23(s)-37(i)23(mu)-39(lation )-30(comp)-46(l)23(exi)-32(t)-50(y)49(. )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj .149 Tc 6.105 Tw 0 -12.48 TD /F2 10.744 Tf [(5. )-132(C)43(om)42(par)22(i)24(son )-93(of )-116(exp)45(e)33(ri)35(m)20(en)45(tal )-115(an)34(d )] TJ .029 Tc -.314 Tw 0 -12.24 TD [(sim)33(ulated )-19(resul)24(t)23(s)] TJ 0 Tw 77.519 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -77.519 -11.039 TD ( ) Tj -.275 Tc 7.993 Tw 14.64 -11.279 TD [(S)-58(ev)-17(e)-24(r)-37(al )-156(d)-41(ev)-41(i)-43(ce)-48(s )-167(o)-41(f )-126(e)-48(a)-24(ch )-203(t)-43(y)56(p)-90(e )-161(w)-15(e)-24(re )] TJ -.104 Tc 4.208 Tw -14.64 -11.039 TD [(c)17(h)-23(a)17(r)-19(act)-39(e)17(r)-19(ized )-81(b)-23(o)-23(th )-67(in )-91(va)17(cuu)-31(m )-56(and )-96(air)-28(. )-46(T)-35(he )] TJ -.275 Tc 2.911 Tw 0 -11.279 TD [(av)-41(er)-37(ag)-41(ed )-61(Q)-39(-)-37(v)-16(a)-24(l)-18(u)-16(e)-48(s )-49(d)-16(e)-24(ri)-31(v)-41(e)-24(d )-85(f)36(r)-37(o)-16(m )-76(th)-36(e )-68(el)-43(ec)-48(t)-18(ri)-56(ca)-48(l )] TJ -.034 Tc 1.635 Tw 0 -11.279 TD [(m)16(e)25(a)-23(surement)17(s )-32(a)25(re )-39(sum)17(mari)-15(ze)25(d )-44(in T)-18(ab)-16(le 2. )-15(T)-28(he )] TJ -.096 Tc .29 Tw 0 -11.279 TD [(Q)-21(-)-18(val)18(u)-23(e)18(s ob)-34(tai)16(n)-23(e)18(d )-22(in )-23(sim)-27(ul)-24(a)18(t)-24(ions ar)-36(e )19(g)-23(iv)-24(e)18(n )-22(in )-23(the )] TJ -.058 Tc .425 Tw 0 -11.039 TD [(s)16(ame t)-18(a)22(b)-43(le f)28(o)-19(r com)18(p)-43(a)22(r)-15(i)27(son )-29(w)-17(i)27(th )-22(the exp)-42(e)22(r)-15(im)16(e)22(n)-43(tal )] TJ -.104 Tc .608 Tw 0 -11.279 TD [(val)16(u)-23(e)17(s)-37(. T)-32(he s)-36(imul)-18(ated )-32(Q)-22(-v)-19(a)17(lues )-38(acc)-20(ou)-24(nt o)-18(nl)-50(y for )] TJ -.097 Tc 2.541 Tw 0 -11.279 TD [(losse)-31(s )-26(due )-43(to )-63(the )-45(int)-25(e)18(r)-18(act)-37(i)23(o)-23(n )-37(o)-23(f th)-34(e )-20(s)-36(t)23(r)-18(uctur)-49(e)18(s )] TJ -.327 Tc 3.289 Tw 0 -10.8 TD [(w)-20(i)-24(th )-155(t)-24(h)-22(e )-113(a)-53(ir )-151(f)-17(lo)-46(w)-20(, )] TJ 84.48 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj .208 Tc 7.2 -1.439 TD /F6 6.307 Tf [(f)45(low)] TJ -.275 Tc 3.177 Tw 10.8 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(, )-112(w)-15(h)-65(il)-37(e )-114(t)-18(h)-41(e )-114(Q)-39(-)-37(v)-16(al)-18(u)-41(es )] TJ 1.12 Tw -102.48 -11.279 TD [(mea)-57(s)-30(u)-16(r)-37(ed )-72(i)-18(n )-72(ai)-18(r)-61(, )] TJ 68.4 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj .167 Tc 7.2 -1.439 TD /F6 6.307 Tf [(a)32(ir)] TJ 1.389 Tc -.231 Tw 7.2 1.439 TD /F1 9.811 Tf [(, )123(i)175(n)128(c)170(l)150(u)152(d)128(e )146(a)145(l)150(s)139(o )129(l)175(o)128(s)164(s)115(e)170(s )116(d)152(u)152(e )122(t)175(o )] TJ -.104 Tc .78 Tw -82.799 -11.279 TD [(other )-27(los)-38(s m)-27(ech)-38(a)17(n)-23(i)23(s)-37(ms \()-47(e)17(.g.)-34(, an)-35(cho)-31(r )-18(and )-30(sup)-37(p)-23(or)-19(t )] TJ -.097 Tc .506 Tw 0 -11.279 TD [(losse)-31(s\). In or)-28(der to )-28(isola)-19(t)-25(e t)15(h)-23(e )16(Q)-21(-)-18(value due )-20(to )-26(the )] TJ .136 Tc 2.632 Tw 0 -11.039 TD [(a)42(i)23(r )-25(da)17(m)33(p)-24(i)47(ng al)34(o)24(n)-24(e)42(, o)-35(t)47(he)42(r )-50(c)17(o)24(nt)47(ri)27(bu)24(t)23(i)23(o)24(ns )-43(t)47(o )-54(t)23(h)24(e )] TJ -.104 Tc 2.819 Tw 0 -11.279 TD [(ov)-24(e)17(r)-19(a)17(l)-25(l d)-37(a)17(mp)-39(i)23(n)-23(g )-35(need )-49(to b)-61(e )-42(f)53(i)-25(lter)-30(e)17(d )-60(f)29(r)-19(o)-23(m )-26(the )] TJ -.086 Tc 1.345 Tw 0 -11.279 TD [(damp)-14(ing )-33(measur)-27(ed )-40(i)25(n )-35(a)-29(ir. T)-44(hese )-32(add)-25(ition)-44(a)19(l )-37(lo)-22(ss )] TJ -.104 Tc .848 Tw 0 -11.039 TD [(me)26(ch)-31(anis)-46(ms can )-27(b)-23(e )-23(e)17(stima)-14(ted )-25(b)-48(y )57(p)-48(e)17(r)-44(f)29(or)-19(m)-15(ing )-18(the )] TJ -.058 Tc .323 Tw 0 -11.279 TD [(c)22(h)-19(a)22(r)-15(act)-25(e)22(r)-15(ization o)-47(f the )-18(d)-19(e)22(v)-19(ices )-26(i)27(n )-35(v)-19(a)22(cuu)-41(m. )21(U)-42(s)16(ing )] TJ -.096 Tc 1.611 Tw 0 -11.279 TD [(Eq)-33(uat)18(ion )-34(1)-47(, )-15(the )-17(d)-23(a)18(mp)-38(i)24(n)-23(g )-34(du)-22(e )-17(t)24(o )-34(the )-17(in)-48(t)24(er)-25(action )] TJ -.034 Tc 1.496 Tw 0 -11.279 TD [(wit)44(h )-58(air )-73(f)36(low )-44(al)30(o)-16(n)-16(e, )] TJ 85.68 0 TD /F6 9.811 Tf (Q) Tj -.032 Tc 7.2 -1.199 TD /F6 6.307 Tf [(fl)-24(ow)] TJ .136 Tc 1.215 Tw 10.8 1.199 TD /F1 9.811 Tf [(, )-33(ca)35(n )-27(be )-34(d)24(e)42(du)24(ce)35(d )-27(a)17(n)24(d )] TJ 5.968 Tw -103.68 -10.8 TD [(c)42(om)33(pa)17(r)29(e)17(d )-130(di)47(re)22(c)17(t)23(ly )-108(w)26(it)45(h )-155(t)47(he )-113(c)17(o)24(rr)33(e)17(s)36(p)-24(o)24(nd)24(i)23(n)24(g )] TJ -.052 Tc -.038 Tw 0 -11.279 TD [(s)17(im)18(u)-43(l)28(a)-25(ti)32(o)-18(n re)-14(sul)-23(t)28(s \(T)-32(a)23(b)-43(l)28(e 2)-48(\). )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj -.013 Tc -3.6 -10.08 TD /F1 7.708 Tf (devi) Tj -.061 Tc .061 Tw 3.359 -9.119 TD [(c)-30(e )] TJ -.006 Tc .006 Tw 26.16 9.119 TD [(f0)22(, )] TJ .188 Tc -.188 Tw -2.64 -9.119 TD [(k)26(Hz )] TJ -.253 Tc .25 Tw 27.359 9.119 TD [(Q )-26(i)-65(n )] TJ .314 Tc -.314 Tw 2.879 -9.119 TD [(a)80(i)38(r )] TJ -.043 Tc .043 Tw 32.159 9.119 TD (Q ) Tj .228 Tc -6.48 -9.119 TD [(v)62(ac)44(uu)] TJ .005 Tc -.005 Tw 6.24 -8.88 TD (m ) Tj .246 Tc -.246 Tw 30.96 17.76 TD /F2 7.708 Tf (Q ) Tj -.028 Tc .028 Tw -3.839 -9.119 TD [(f)-43(l)25(ow )] TJ .005 Tc -.005 Tw 35.039 9.119 TD (Q ) Tj .024 Tc -7.919 -9.119 TD [(s)49(im)-34(ula)] TJ .276 Tc -.276 Tw 5.759 -8.88 TD [(t)26(e)75(d )] TJ .179 Tc 29.76 18 TD [(A)29(gr)56(ee)] TJ .314 Tc -.314 Tw 1.439 -9.119 TD [(m)33(e)80(n)36(t )] TJ ET 77.759 338.639 0.48 0.48 re f 77.759 338.639 0.48 0.48 re f 78.239 338.639 25.439 0.48 re f 103.679 338.639 0.48 0.48 re f 104.159 338.639 27.359 0.48 re f 131.519 338.639 0.48 0.48 re f 132 338.639 27.12 0.48 re f 159.12 338.639 0.479 0.48 re f 159.599 338.639 33.84 0.48 re f 193.439 338.639 0.479 0.48 re f 193.919 338.639 26.879 0.48 re f 220.799 338.639 0.48 0.48 re f 221.28 338.639 34.319 0.48 re f 255.599 338.639 0.24 0.48 re f 255.84 338.639 34.319 0.48 re f 290.159 338.639 0.24 0.48 re f 290.159 338.639 0.24 0.48 re f 77.759 306.24 0.48 32.399 re f 103.679 306.24 0.48 32.399 re f 131.519 306.24 0.48 32.399 re f 159.12 306.24 0.479 32.399 re f 193.439 306.24 0.479 32.399 re f 220.799 306.24 0.48 32.399 re f 255.599 306.24 0.24 32.399 re f 290.159 306.24 0.24 32.399 re f BT .228 Tc -.228 Tw 86.4 298.8 TD /F1 7.708 Tf [(C)42(1 )] TJ 27.6 0 TD [(8)62(0 )] TJ 25.44 0 TD [(1)62(50 )] TJ 29.28 0 TD [(6)62(50)31(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(1)31(5)-30(3 )] TJ 30.96 0 TD (168 ) Tj 32.399 0 TD (91% ) Tj ET 77.759 305.759 0.48 0.48 re f 78.239 305.759 25.439 0.48 re f 103.679 305.759 0.48 0.48 re f 104.159 305.759 27.359 0.48 re f 131.519 305.759 0.48 0.48 re f 132 305.759 27.12 0.48 re f 159.12 305.759 0.479 0.48 re f 159.599 305.759 33.84 0.48 re f 193.439 305.759 0.479 0.48 re f 193.919 305.759 26.879 0.48 re f 220.799 305.759 0.48 0.48 re f 221.28 305.759 34.319 0.48 re f 255.599 305.759 0.24 0.48 re f 255.84 305.759 34.319 0.48 re f 290.159 305.759 0.24 0.48 re f 77.759 295.439 0.48 10.32 re f 103.679 295.439 0.48 10.32 re f 131.519 295.439 0.48 10.32 re f 159.12 295.439 0.479 10.32 re f 193.439 295.439 0.479 10.32 re f 220.799 295.439 0.48 10.32 re f 255.599 295.439 0.24 10.32 re f 290.159 295.439 0.24 10.32 re f BT .228 Tc -.228 Tw 86.4 287.759 TD /F1 7.708 Tf [(C)42(2 )] TJ 27.6 0 TD [(8)62(0 )] TJ 25.44 0 TD [(1)62(80 )] TJ 29.28 0 TD [(6)62(53)31(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 32.88 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(1)31(8)-30(5 )] TJ 30.96 0 TD (265 ) Tj 32.399 0 TD (70% ) Tj ET 77.759 294.959 0.48 0.48 re f 78.239 294.959 25.439 0.48 re f 103.679 294.959 0.48 0.48 re f 104.159 294.959 27.359 0.48 re f 131.519 294.959 0.48 0.48 re f 132 294.959 27.12 0.48 re f 159.12 294.959 0.479 0.48 re f 159.599 294.959 33.84 0.48 re f 193.439 294.959 0.479 0.48 re f 193.919 294.959 26.879 0.48 re f 220.799 294.959 0.48 0.48 re f 221.28 294.959 34.319 0.48 re f 255.599 294.959 0.24 0.48 re f 255.84 294.959 34.319 0.48 re f 290.159 294.959 0.24 0.48 re f 77.759 283.919 0.48 11.039 re f 103.679 283.919 0.48 11.039 re f 131.519 283.919 0.48 11.039 re f 159.12 283.919 0.479 11.039 re f 193.439 283.919 0.479 11.039 re f 220.799 283.919 0.48 11.039 re f 255.599 283.919 0.24 11.039 re f 290.159 283.919 0.24 11.039 re f BT 9.01 Tw 84.48 276.48 TD /F1 7.708 Tf [(TF)-19(1 )-451(250 )-420(120)-30(0 )-357(4)31(0)-30(000 )] TJ 6.732 Tw 115.2 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(124)-30(0 )-871(11)-30(90 )] TJ .013 Tw 65.28 0 TD (96% ) Tj ET 77.759 283.439 0.48 0.48 re f 78.239 283.439 25.439 0.48 re f 103.679 283.439 0.48 0.48 re f 104.159 283.439 27.359 0.48 re f 131.519 283.439 0.48 0.48 re f 132 283.439 27.12 0.48 re f 159.12 283.439 0.479 0.48 re f 159.599 283.439 33.84 0.48 re f 193.439 283.439 0.479 0.48 re f 193.919 283.439 26.879 0.48 re f 220.799 283.439 0.48 0.48 re f 221.28 283.439 34.319 0.48 re f 255.599 283.439 0.24 0.48 re f 255.84 283.439 34.319 0.48 re f 290.159 283.439 0.24 0.48 re f 77.759 272.879 0.48 10.559 re f 103.679 272.879 0.48 10.559 re f 131.519 272.879 0.48 10.559 re f 159.12 272.879 0.479 10.559 re f 193.439 272.879 0.479 10.559 re f 220.799 272.879 0.48 10.559 re f 255.599 272.879 0.24 10.559 re f 290.159 272.879 0.24 10.559 re f BT 7.99 Tw 84.48 265.439 TD /F1 7.708 Tf [(TF)-19(2 )-334(100)-30(0 )-271(560)-30(0 )-489(1)31(6)-30(000 )] TJ 6.732 Tw 115.2 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(861)-30(5 )-871(88)-30(20 )] TJ .013 Tw 65.28 0 TD (97% ) Tj ET 77.759 272.399 0.48 0.48 re f 78.239 272.399 25.439 0.48 re f 103.679 272.399 0.48 0.48 re f 104.159 272.399 27.359 0.48 re f 131.519 272.399 0.48 0.48 re f 132 272.399 27.12 0.48 re f 159.12 272.399 0.479 0.48 re f 159.599 272.399 33.84 0.48 re f 193.439 272.399 0.479 0.48 re f 193.919 272.399 26.879 0.48 re f 220.799 272.399 0.48 0.48 re f 221.28 272.399 34.319 0.48 re f 255.599 272.399 0.24 0.48 re f 255.84 272.399 34.319 0.48 re f 290.159 272.399 0.24 0.48 re f 77.759 261.84 0.48 10.559 re f 103.679 261.84 0.48 10.559 re f 131.519 261.84 0.48 10.559 re f 159.12 261.84 0.479 10.559 re f 193.439 261.84 0.479 10.559 re f 220.799 261.84 0.48 10.559 re f 255.599 261.84 0.24 10.559 re f 290.159 261.84 0.24 10.559 re f BT .11 Tc -.11 Tw 87.599 254.4 TD /F1 7.708 Tf (M ) Tj .228 Tc -.228 Tw 26.399 0 TD [(5)62(0 )] TJ 25.44 0 TD [(1)62(75 )] TJ 27.359 0 TD [(5)62(00)31(0)31(0 )] TJ -.013 Tc .013 Tw 34.799 -0.24 TD /F2 7.708 Tf [(1)31(7)-30(6 )] TJ 30.96 0 TD (214 ) Tj 32.399 0 TD (82% ) Tj ET 77.759 261.36 0.48 0.48 re f 78.239 261.36 25.439 0.48 re f 103.679 261.36 0.48 0.48 re f 104.159 261.36 27.359 0.48 re f 131.519 261.36 0.48 0.48 re f 132 261.36 27.12 0.48 re f 159.12 261.36 0.479 0.48 re f 159.599 261.36 33.84 0.48 re f 193.439 261.36 0.479 0.48 re f 193.919 261.36 26.879 0.48 re f 220.799 261.36 0.48 0.48 re f 221.28 261.36 34.319 0.48 re f 255.599 261.36 0.24 0.48 re f 255.84 261.36 34.319 0.48 re f 290.159 261.36 0.24 0.48 re f 77.759 250.319 0.48 11.04 re f 77.759 249.84 0.48 0.479 re f 77.759 249.84 0.48 0.479 re f 78.239 249.84 25.439 0.479 re f 103.679 250.319 0.48 11.04 re f 103.679 249.84 0.48 0.479 re f 104.159 249.84 27.359 0.479 re f 131.519 250.319 0.48 11.04 re f 131.519 249.84 0.48 0.479 re f 132 249.84 27.12 0.479 re f 159.12 250.319 0.479 11.04 re f 159.12 249.84 0.479 0.479 re f 159.599 249.84 33.84 0.479 re f 193.439 250.319 0.479 11.04 re f 193.439 249.84 0.479 0.479 re f 193.919 249.84 26.879 0.479 re f 220.799 250.319 0.48 11.04 re f 220.799 249.84 0.48 0.479 re f 221.28 249.84 34.319 0.479 re f 255.599 250.319 0.24 11.04 re f 255.599 249.84 0.24 0.479 re f 255.84 249.84 34.319 0.479 re f 290.159 250.319 0.24 11.04 re f 290.159 249.84 0.24 0.479 re f 290.159 249.84 0.24 0.479 re f BT 1.141 Tc 0 Tw 87.84 241.199 TD /F2 8.875 Tf [(T)146(a)115(b)117(l)136(e )167(2)] TJ -.052 Tc .052 Tw 29.28 0 TD /F1 9.811 Tf (. ) Tj -.1 Tc 1.433 Tw 6.24 0 TD /F1 8.875 Tf [(C)-19(om)-15(p)29(ar)-29(i)23(s)-27(o)29(n )-30(of )21(m)-17(ea)-26(s)26(u)-51(r)24(ed an)-28(d )23(s)-27(i)50(m)-44(u)-24(l)23(at)-30(ed )23(Q)-46(-)] TJ -.082 Tc .857 Tw -35.52 -10.56 TD [(v)31(a)-24(l)25(u)-22(e)-24(s for )-24(th)-51(e s)43(tu)-51(died syst)-28(ems \(C)-18(1 – )-47(w)-17(i)25(de can)-54(tile)24(v)-22(e)29(r)-27(; )] TJ .124 Tc 1.104 Tw 0 -10.08 TD [(C)32(2 – n)-33(a)52(r)22(r)22(o)54(w )-38(c)25(a)52(n)-26(t)49(i)21(l)21(e)25(ve)52(r; T)-24(F)56(1 )-16(– )-16(i)49(n)-26(-)76(pl)49(a)25(ne )-18(t)49(uni)49(n)-26(g f)59(or)49(k; )] TJ 3.817 Tw 0 -10.08 TD [(TF)32(2 )-35(– )-89(o)27(ut)22(-)76(of-)45(pl)22(a)52(n)-26(e tu)-16(ni)49(ng )-35(fo)49(rk)49(; )-68(M )-79(– )-62(t)21(o)54(rsi)41(o)27(nal )] TJ -.075 Tc .894 Tw 0 -10.08 TD [(reso)36(n)-48(a)30(t)-27(or, m)-48(i)53(c)-23(ro)32(m)-41(irror)-22(. )16(Se)-17(e )20(t)-27(ext f)-29(o)32(r )-35(f)27(u)-48(rt)26(h)-48(e)30(r deta)-26(il)25(s )-34(o)32(n )] TJ .124 Tc -.422 Tw 0 -9.839 TD [(t)21(he )25(de)52(vi)22(c)25(es)49(\))22(.)] TJ 0 Tw 44.159 0 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -44.159 -10.8 TD ( ) Tj -.275 Tc 2.632 Tw 14.64 -11.279 TD [(T)-28(h)-41(e )-47(si)-24(mu)-74(la)-43(t)-18(ed )-89(Q)-39(-)-37(v)-16(a)-24(lu)-36(e )-47(w)-39(er)-37(e )-72(ev)-65(al)-18(u)-16(a)-48(t)-43(ed )-89(fo)-30(r )] TJ -.094 Tc .221 Tw -14.64 -11.279 TD [(di)-23(ff)35(e)-30(rent )-30(i)24(n)-47(itial )-14(amp)-43(li)23(tud)-47(e)18(s )-17(o)-22(f )24(v)-22(i)24(b)-47(rat)-25(i)24(o)-22(n, su)-20(c)18(h )-29(tha)-29(t )] TJ -.086 Tc 1.374 Tw 0 -11.039 TD [(the tota)-16(l Q)-30(-v)-16(a)19(lu)-22(e )-15(f)31(o)-22(r a )-19(giv)-20(e)19(n s)-43(t)25(r)-17(uc)-27(tur)-16(e c)28(o)-22(u)-22(ld b)-30(e )] TJ -.104 Tc .831 Tw 0 -11.279 TD [(c)17(a)-31(lc)16(u)-23(la)-32(t)23(ed )-25(b)-48(y )30(w)-22(eigh)-32(i)23(n)-23(g )-42(the )-26(amp)-22(li)-27(t)23(u)-23(de-d)-26(e)17(p)-48(e)17(n)-23(dent )] TJ -.386 Tc 227.759 574.799 TD /F6 9.811 Tf [(Q)-50(\(A)] TJ 16.32 -1.439 TD /F6 6.307 Tf (i) Tj 1.919 1.439 TD /F6 9.811 Tf (\)) Tj .136 Tc 3.509 Tw 2.879 0 TD /F1 9.811 Tf [( )-38(wi)49(t)23(h )-38(t)47(he )-21(re)22(s)36(on)24(a)17(n)24(t )-40(m)33(od)24(e )-21(s)36(ha)42(p)-24(e o)-21(f t)37(he )] TJ .334 Tw -21.12 -11.279 TD [(s)36(t)23(r)29(uc)17(t)23(ur)29(e )22(ov)24(e)17(r i)31(t)47(s le)31(n)24(gt)47(h. )23(H)26(ow)26(e)17(ve)42(r, )28(t)23(he )22(si)34(m)33(ul)23(at)40(e)17(d )] TJ 1.421 Tw 0 -11.039 TD [(Q-)30(va)42(l)23(u)24(e)17(s’ v)33(a)17(r)29(ia)40(ti)21(o)24(ns o)28(ve)42(r )-27(t)23(h)24(e t)-40(y)73(pic)40(al )-15(a)42(mpl)31(i)23(t)23(u)24(de )] TJ -.058 Tc -.032 Tw 0 -11.279 TD [(ranges )26(\()-15(Tab)-28(le )21(1)-43(\) wer)18(e )-30(i)27(n)-19(sign)-20(ificant. )] TJ -.034 Tc 5.802 Tw 14.64 -11.279 TD [(Th)-21(e )-115(agre)19(e)-23(m)16(e)25(n)-41(t )-110(b)-41(e)25(tween )-143(measured )-153(and )] TJ .136 Tc 4.347 Tw -14.64 -11.039 TD [(s)36(i)23(m)33(ul)23(at)40(e)17(d )-51(va)42(l)23(ue)17(s )-64(i)47(s )-64(v)24(e)17(r)-44(y )22(go)24(o)24(d )-75(\(>)44(9)24(0)-24(%\) )-32(f)78(or )] TJ 1.502 Tw 0 -11.039 TD [(s)36(t)23(r)29(uc)17(t)23(ur)29(e)17(s wit)59(h )-22(re)46(cta)33(n)24(gu)24(l)23(a)17(r )-18(c)42(ro)29(ss)47(-)-19(se)53(ct)16(i)23(o)24(ns)36(: )-24(wi)49(de )] TJ -.104 Tc 2.079 Tw 0 -11.279 TD [(c)17(ant)-32(ileve)-17(r )-57(\()-19(cro)-26(ss-)-21(se)-19(c)17(t)-25(ion )-63(10)-24(0)-23(×50 )-71(µ)-21(m\), )-54(in-p)-21(la)16(n)-23(e )] TJ 1.225 Tw 0 -11.279 TD [(t)23(u)-23(ning )-53(for)-15(k )-26(\()-19(c)17(r)-19(oss-)-21(s)-37(e)17(c)-31(t)23(ion )-28(1)-48(00)-24(×)15(50 )-26(µ)-45(m\), )-19(a)17(n)-23(d )-51(t)23(h)-23(e )] TJ 3.039 Tw 0 -11.039 TD [(out-)-21(o)-23(f)29(-)-19(p)-23(la)16(n)-23(e )-69(tu)-25(ning )-112(f)29(o)-23(r)-19(k )-62(\()-19(c)17(r)-19(oss)-25(-s)-32(e)17(c)-31(t)23(io)-25(n )-62(2)-48(6×50 )] TJ -.275 Tc 1.499 Tw 0 -11.279 TD [(µ)-38(m\))-45(. )-14(T)-28(h)-41(e )-16(ag)-41(re)-37(em)-57(en)-17(t )-35(b)-41(e)-24(tw)-58(ee)-24(n )-58(th)-36(e )-16(m)-32(ea)-48(su)-47(r)-37(ed )-33(a)-24(n)-16(d )] TJ -.104 Tc 1.048 Tw 0 -11.279 TD [(sim)18(u)-23(la)-32(t)23(ed )-27(re)-26(sul)-38(t)23(s )-33(is w)-33(or)-19(se \(7)-36(0)-23(%\) )-25(f)29(or )-40(the )-29(narr)-22(ow )] TJ -.034 Tc 2.791 Tw 0 -11.279 TD [(c)25(antilever )-62(wit)20(h )-48(a )-55(s)18(q)-41(uar)19(e )-31(cross-secti)23(o)-16(n )-48(\(5)-29(0×50 )] TJ .136 Tc .388 Tw 0 -11.039 TD [(µm)36(\). )33(Eve)55(n t)32(ho)24(u)24(gh t)32(h)24(e a)20(g)24(re)22(e)17(me)51(nt i)31(s ade)31(qu)24(a)17(t)23(e f)56(or )] TJ -.104 Tc 3.625 Tw 0 -11.279 TD [(p)-23(r)-19(a)17(ct)16(ic)-32(a)17(l )-53(p)-23(u)-23(rp)-19(oses, )-65(the )-60(r)-44(e)17(aso)-19(n )-75(f)29(or )-95(the )-60(l)-25(a)17(r)-19(ger )] TJ -.034 Tc 1.189 Tw 0 -11.279 TD [(m)16(i)30(s)-29(m)16(a)-23(t)30(ch )-16(is not clear. P)-18(resuma)29(b)-16(l)-43(y)32(, e)27(d)-16(ge e)-16(ff)23(e)-23(cts )] TJ -.104 Tc 2.173 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(r)-19(e mor)-22(e pr)-30(on)-24(ou)-24(nced in b)-23(eams h)-46(a)17(v)-23(i)23(n)-23(g sq)-41(uare-)] TJ .136 Tc 2.991 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(ha)42(p)-24(e)42(d )-67(r)29(a)17(t)23(h)24(e)17(r )-62(t)23(ha)42(n )-67(re)22(c)17(t)23(a)17(n)24(g)24(ula)40(r )-62(c)42(ros)40(s-)40(se)29(cti)38(on)24(s. )] TJ -.034 Tc 4.833 Tw 0 -11.039 TD [(The )-89(a)25(g)-16(reeme)27(n)-41(t )-62(b)-41(e)25(tween )-119(t)30(h)-16(e )-92(mea)16(sured )-121(and )] TJ .136 Tc .208 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(i)23(m)33(ul)23(at)40(e)17(d )16(re)46(sul)34(t)47(s )-21(i)47(s r)31(el)40(at)16(i)47(v)-24(e)42(l)-25(y )65(go)24(o)24(d )16(\(82)29(%\) )35(f)53(o)24(r t)43(he )] TJ -.094 Tc 8.791 Tw 0 -11.039 TD [(mi)34(cr)-24(o)-22(mirro)-27(r )-228(t)24(o)-22(rs)-30(ional )-214(r)-43(e)18(son)-34(ator )-233(w)-21(ith )-233(a )] TJ -.104 Tc 3.712 Tw 0 -11.279 TD [(rectan)-18(gu)-24(l)23(ar )-143(c)17(r)-19(oss-)-21(se)-19(ction )-126(\()-19(40)-24(0×)15(5)-23(0 )-91(µ)-45(m\), )-83(even )] TJ .136 Tc .618 Tw 0 -11.279 TD [(t)47(ho)24(ug)24(h t)31(h)24(e )26(2D m)19(o)24(de)42(l )31(i)23(s )20(m)33(ore )30(a)42(p)-24(pl)23(i)47(c)17(a)42(b)-24(l)23(e f)79(or t)36(hi)23(s )] TJ -.159 Tw 0 -11.039 TD [(t)23(y)73(p)-24(e )45(o)-24(f )56(d)-24(e)42(vi)47(ce t)36(h)24(a)17(n )-21(f)78(or a )52(b)-24(e)42(nd)24(i)23(n)24(g be)45(a)17(m w)38(h)24(e)17(r)-19(e )20(t)47(he )] TJ 5.743 Tw 0 -11.279 TD [(r)29(ot)47(a)17(ti)45(on)24(al )-64(m)33(oti)45(on )-80(of )-75(t)23(h)24(e )-111(c)42(ro)29(ss)47(-s)16(e)17(c)17(t)23(i)23(o)24(ns )-93(i)23(s )] TJ -.034 Tc 4.033 Tw 0 -11.279 TD [(negl)20(ected. )-61(T)-28(he )-68(discr)18(ep)-16(anc)-41(y )-19(c)-23(a)25(n )-93(b)-16(e )-75(p)-41(a)25(rt)17(iall)-32(y )] TJ -.094 Tc .461 Tw 0 -11.279 TD [(e)18(x)-22(p)-22(la)18(ined b)-58(y )44(th)-48(e simp)-38(l)24(i)-24(fied s)-18(imu)-38(l)24(a)-30(ti)23(o)-22(n wher)-50(e the )] TJ .136 Tc 6.823 Tw 0 -11.039 TD [(a)42(ct)40(ua)42(t)23(o)24(r )-137(be)17(a)17(m)33(s )-130(we)44(re )-95(not )-118(m)33(o)24(de)17(le)40(d. )-97(The )] TJ 2.426 Tw 0 -11.279 TD [(a)42(gr)29(e)17(e)17(m)33(e)17(n)24(t )-28(ca)35(n )-26(p)-24(o)24(t)23(e)42(nt)23(i)23(a)17(l)23(l)-25(y )22(be )-33(i)23(m)33(pro)29(ve)42(d )-26(if )-24(t)47(he )] TJ .404 Tw 0 -11.039 TD [(e)17(f)29(f)53(ect)33(s )23(o)-24(f )16(t)23(h)24(e m)38(or)29(e c)46(o)-24(m)33(pl)23(e)42(x ge)53(ome)51(t)23(r)-44(y )60(o)24(n t)34(he a)22(i)23(r )] TJ -.104 Tc .162 Tw 0 -11.039 TD [(f)29(low p)-61(a)17(tt)-27(e)17(r)-19(ns ar)-28(e t)27(ak)-31(en )-19(into )-16(acc)-20(oun)-24(t. )] TJ -.086 Tc 6.767 Tw 14.64 -11.279 TD [(Th)-31(e )-150(sim)24(p)-46(l)25(i)-23(fied )-167(2)-22(D )-190(sim)24(ulation )-193(results)-19(, )] TJ -.275 Tc 5.192 Tw -14.64 -11.279 TD [(h)-16(o)-16(w)-39(ev)-41(er)-37(, )-102(g)-16(en)-65(er)-37(a)-48(ll)-62(y )-73(fi)-56(t )-99(a)-24(d)-16(e)-24(q)-41(u)-41(at)-18(e)-24(l)-67(y )-73(w)-39(el)-43(l )-123(th)-36(e )] TJ 4.791 Tw 0 -11.279 TD [(ex)-41(p)-41(er)-37(i)-18(men)-50(t)-43(al )-91(r)-37(e)-24(s)-30(u)-16(l)-43(ts )-97(o)-16(v)-41(er )-134(a )-96(w)-15(i)-18(d)-41(e )-96(ra)-37(n)-16(g)-41(e )-72(o)-65(f )] TJ -.034 Tc 1.722 Tw 0 -11.039 TD [(f)36(req)-29(uenci)20(es \()-36(f)60(ro)-29(m t)-21(e)25(n)-16(s kH)16(z to MHz\) )-17(a)25(n)-16(d )-35(f)60(o)-16(r a )] TJ .136 Tc 2.5 Tw 0 -11.279 TD [(v)24(a)17(r)29(i)23(e)17(t)-25(y )78(of )34(mo)33(vi)23(ng )29(st)34(r)29(uc)42(t)23(u)24(r)-19(e)42(s )16(\(i)27(n)24(-pl)27(a)42(ne)42(, o)24(u)24(t)23(-of)33(-)] TJ 5.022 Tw 0 -11.279 TD [(pl)23(a)42(ne )-62(a)17(n)24(d )-104(t)47(or)29(si)34(o)24(n)24(a)17(l )-82(m)33(ot)23(i)23(o)24(n\))29(, )-85(v)24(e)17(r)29(ify)51(in)23(g )-104(t)47(he )] TJ -.094 Tc 2.129 Tw 0 -11.279 TD [(val)19(id)-23(it)-49(y )18(o)-22(f the )-15(mode)-42(l )-32(f)30(or )-25(est)-18(im)-14(ation )-37(o)-22(f )22(th)-23(e a)-19(ir )] TJ .136 Tc 6.022 Tw 0 -11.039 TD [(d)24(a)17(m)33(pi)23(n)24(g )-125(i)47(n )-125(o)24(t)23(h)24(e)17(r )-96(m)33(or)29(e )-107(c)42(o)-24(m)33(pl)23(e)42(x )-125(M)22(EM)35(S )] TJ -.104 Tc .069 Tw 0 -11.279 TD [(geome)-29(t)23(r)-19(i)-25(e)17(s a)-18(nd )-22(stru)-34(c)17(tur)-45(es. )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD ( ) Tj .147 Tc -.29 Tw 0 -12 TD /F2 10.744 Tf [(7. )31(C)21(o)-22(n)33(cl)34(us)34(i)24(on)33(s )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -.104 Tc 1.877 Tw 14.64 -11.279 TD [(We i)-14(nves)-19(t)-25(iga)-32(t)23(ed )-40(the )-42(ai)16(r )-29(d)-23(amp)-46(ing )-35(in )-35(several )] TJ -.061 Tc 1.844 Tw -14.64 -11.039 TD [(t)27(est )-66(MEMS )-49(p)-19(ie)24(zoa)-25(c)22(tu)-17(at)-24(e)22(d )-52(r)-15(e)22(son)-24(ati)27(n)-19(g )-52(str)-21(uct)29(u)-19(r)-15(es )] TJ .136 Tc 5.775 Tw 0 -11.279 TD [(bo)24(t)23(h )-125(e)17(x)49(p)-24(e)42(ri)27(m)33(e)42(nt)23(a)17(lly )-104(a)42(nd )-125(n)24(um)33(e)42(ric)44(al)40(l)-25(y)49(. )-106(The )] TJ 2.013 Tw 0 -11.279 TD [(s)36(t)23(u)24(di)23(e)17(d )-19(t)23(e)42(st sy)49(ste)51(ms )-24(i)47(nv)24(ol)47(ve)42(d )-19(va)42(ri)51(ou)24(s t)-34(y)98(p)-24(e)17(s o)-32(f )] TJ -.095 Tc .956 Tw 0 -11.279 TD [(motion w)-15(ith)-24(in p)-27(r)-18(e)18(-)-18(e)18(tched )-15(cavi)-36(ties \()-43(i)24(n)-23(-p)-42(l)24(ane, o)-19(ut-)] TJ -.034 Tc 1.589 Tw 0 -11.039 TD [(o)-16(f)36(-p)-29(l)30(ane )-24(and )-17(tors)-30(i)30(o)-16(nal)37(\) )-69(a)25(nd )-41(in )-43(a w)-22(ide r)-32(a)25(n)-16(ge o)-41(f )] TJ -.104 Tc 2.213 Tw 0 -11.279 TD [(f)29(r)-19(e)17(q)-48(uenci)-15(es \()-15(10)] TJ 62.159 4.32 TD /F1 6.307 Tf (4) Tj 1.869 Tc 0 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [( – )177(1)201(0)] TJ 23.519 4.32 TD /F1 6.307 Tf (6) Tj -.104 Tc 1.647 Tw 3.12 -4.32 TD /F1 9.811 Tf [( )-32(H)-22(z)17(\))-19(. T)-24(h)-23(e )-39(sim)18(p)-48(l)23(i)-25(fied )-61(2D )] TJ .136 Tc .781 Tw -91.92 -11.039 TD [(f)53(l)23(ui)23(d-)29(st)58(ruc)22(t)23(u)24(ra)22(l i)46(n)-24(t)47(e)17(ra)22(c)17(t)23(i)23(o)24(n m)34(ode)17(l )24(o)-24(f t)52(he )18(sy)36(st)34(em)26(s )] TJ -.275 Tc .949 Tw 0 -11.039 TD [(w)-15(as )-29(u)-16(s)-30(ed )-40(t)-18(o )-40(es)-30(t)-43(im)-27(a)-24(t)-43(e )-23(th)-36(e Q)-39(-)-37(v)-16(a)-24(l)-18(u)-16(e)-24(s )-29(o)-41(f th)-48(e )-23(st)-24(u)-16(d)-65(i)-18(ed )] TJ -.034 Tc 8.234 Tw 0 -11.279 TD [(sy)26(stem)15(s )-192(t)30(h)-16(a)25(t )-180(we)33(re )-174(com)23(p)-16(ared )-143(w)-15(ith )-168(t)30(h)-16(e )] TJ ET Q endstream endobj 45 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F2 14 0 R /F6 30 0 R >> /XObject << /I0 5 0 R >> >> /MediaBox [0 0 595.2 841.919] /Contents [46 0 R] >> endobj 48 0 obj << /Length 14780 >> stream q 1 0 0 1 0 0 cm 0 g BT 99.962 Tz 448.8 70.319 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj ET q 300.48 0 0 11.039 148.319 70.08 cm /I0 Do Q BT -.104 Tc 10.388 Tw 87.84 709.679 TD /F1 9.811 Tf [(e)17(x)-23(p)-23(eriment)-28(a)17(l)-25(l)-50(y )-291(o)-23(b)-23(ta)16(ined )-374(Q)-22(-v)-19(a)17(lues)-21(. )-321(T)-35(he )] TJ -.034 Tc 3.065 Tw 0 -11.279 TD [(s)18(im)21(u)-41(l)30(a)-23(ti)35(o)-16(n )-69(and )-86(exper)-22(i)30(ment)-20(al )-46(r)-37(es)19(u)-16(lts )-72(general)-17(l)-18(y )] TJ -.104 Tc 2.939 Tw 0 -11.039 TD [(a)17(g)-23(ree )-33(ver)-51(y we)-28(l)-25(l )-25(or )-43(adeq)-38(uatel)-41(y w)-21(e)17(l)-25(l, )-30(w)-22(it)21(h )-72(the )] TJ -.095 Tc .692 Tw 0 -11.279 TD [(discrep)-42(a)18(n)-23(cies a)-38(tt)23(r)-43(ib)-23(uted to )-43(a)18(p)-23(p)-23(r)-18(oximati)27(o)-23(ns )-18(in )-31(the )] TJ -.096 Tc .532 Tw 0 -11.279 TD [(model or si)-25(mpl)-14(i)-24(f)30(i)-24(cations )-23(don)-21(e in the s)-22(im)-15(ulat)-31(ions. )] TJ .136 Tc 3.763 Tw 0 -11.039 TD [(The go)17(od )-37(a)17(g)24(re)46(e)17(me)51(nt )-39(of )-57(t)23(h)24(e )-68(s)36(im)31(ul)23(a)17(ti)45(on )-37(a)17(n)24(d )] TJ -.093 Tc 3.29 Tw 0 -11.039 TD [(e)19(x)-22(p)-22(eriment)-20(a)19(l )-84(r)-18(e)19(su)-34(lts )-73(v)-22(alida)-36(te)18(s )-96(the )-89(mode)-17(l )-60(and )] TJ -.086 Tc 2.561 Tw 0 -11.279 TD [(p)-22(r)-17(o)26(v)-22(e)19(s )-22(i)-23(ts )-46(f)31(e)-29(a)19(s)-35(i)25(b)-46(il)25(i)-23(t)-48(y f)21(o)-22(r )-29(es)-16(tima)-18(tion )-31(o)-46(f th)-27(e )-16(air )] TJ -.069 Tc -.02 Tw 0 -11.279 TD [(damping )-27(i)26(n )-24(oth)-15(er MEMS )-22(s)-33(y)52(s)-33(tems)-22(. )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj .031 Tc -.054 Tw 0 -12.48 TD /F2 10.744 Tf [(8. Ref)31(er)-21(en)45(c)-21(es )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj -.104 Tc .378 Tw 0 -11.039 TD [(1)-23(. X)-18(. Zha)-14(ng, )-20(W.C)-30(. Ta)-14(ng)-24(, V)-18(isco)-21(us a)-35(i)23(r )-35(damp)-22(ing )-41(i)23(n )] TJ -.096 Tc .221 Tw 0 -11.279 TD [(latera)-15(l)-24(l)-24(y )43(dr)-42(iven m)-26(ic)17(r)-18(or)-18(es)-18(on)-22(a)18(tor)-19(s)-36(, )] TJ .008 Tc .086 Tw 129.36 0 TD /F6 9.811 Tf [(IEEE )-17(W)51(o)-37(r)23(ks)27(hop )] TJ -.275 Tc 1.903 Tw -129.36 -11.279 TD [(o)-16(n )-41(M)-26(i)-18(c)-24(ro )-72(E)-28(l)-18(e)-24(ct)-18(ro )-72(M)-26(e)-24(ch)-65(a)-16(n)-65(ica)-36(l )-18(S)-65(ys)-30(t)-18(em)-39(s)] TJ -.052 Tc .052 Tw 155.759 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .09 Tc -.09 Tw 6.48 0 TD /F2 9.811 Tf [(ME)39(MS )] TJ .136 Tc -162.24 -11.039 TD [(‘)29(94)] TJ -.251 Tw 13.199 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )37(1)24(99-)29(2)24(04 \()47(19)24(94)24(\) )] TJ 2.428 Tw -13.199 -11.039 TD [(2. T)-18(. )17(Ve)19(i)47(j)23(o)24(la)16(, T. Ti)33(nt)23(t)23(u)24(ne)42(n, H. Nie)52(m)-15(i)47(ne)42(n, V. )] TJ -.104 Tc .629 Tw 0 -11.279 TD [(Er)-31(molov)-17(, T)-30(. R)-23(y)24(hän)-31(en, G)-49(a)17(s d)-51(a)17(mp)-39(i)23(n)-23(g mo)-29(del )-47(f)53(o)-23(r )-34(a )] TJ -.083 Tc 9.964 Tw 0 -11.279 TD [(RF )-203(MEM )-196(swi)-30(tc)20(h )-233(a)20(n)-21(d )-208(its )-196(d)-46(y)27(na)-26(mics )] TJ -.034 Tc .034 Tw 0 -11.039 TD [(c)25(h)-16(a)25(ract)-31(e)25(ri)17(s)-29(t)-18(i)30(cs, )] TJ .136 Tc 3.831 Tw 66.239 0 TD /F6 9.811 Tf [(IE)17(EE )-199(Mi)38(c)42(row)56(a)-24(v)42(e )-184(Sy)17(m)26(p)24(os)36(i)23(u)24(m )] TJ -.215 Tc -66.239 -11.279 TD [(D)-33(ig)-23(e)-17(st)] TJ .188 Tc -.188 Tw 25.199 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj 4.799 0 TD /F2 9.811 Tf (2) Tj -.104 Tc -.011 Tw 5.28 0 TD /F1 9.811 Tf [(, 121)-35(3-12)-19(16 )-30(\(20)-19(02\) )] TJ -.042 Tc 2.968 Tw -35.28 -11.279 TD [(3)-17(. )-135(V)-15(. )-159(Kaajak)17(ari, )] TJ -.001 Tc 4.511 Tw 78 0 TD /F6 9.811 Tf [(P)24(ra)-16(ct)37(i)-15(cal MEM)23(S)] TJ -.104 Tc 2.359 Tw 70.56 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )-210(18)-24(4)-23(-197)-44(. )] TJ -.081 Tc .036 Tw -148.56 -11.279 TD [(S)-14(mall Ge)-16(a)20(r )-16(P)-14(ub)-43(l)25(ishing)-26(, Las V)-21(egas \(2)-32(0)-21(09)-19(\) )] TJ -.052 Tc .966 Tw 0 -11.039 TD [(4)-18(. )-23(T. K)26(lo)-15(s)17(e)-25(, H. C)-14(onrad, )-24(T. S)-41(a)23(ndner, )-24(H)-16(. S)-35(c)23(h)-18(e)23(n)-18(k, )] TJ .136 Tc 2.174 Tw 0 -11.279 TD [(F)31(l)23(u)24(i)23(dme)51(c)17(ha)17(n)24(ic)40(al )-36(d)24(a)17(m)33(pi)23(n)24(g )-52(a)17(n)24(al)16(y)49(si)34(s )-40(of )-23(re)22(s)36(on)24(a)17(nt )] TJ -.086 Tc 4.511 Tw 0 -11.279 TD [(mic)30(r)-17(o)-22(mirro)-23(rs )-111(w)-20(ith )-104(o)-22(ut-o)-38(f)31(-)-17(p)-22(lane )-139(c)19(o)-22(mb )-118(d)-22(rive, )] TJ -.104 Tc 24.541 Tw 0 -11.039 TD /F6 9.811 Tf [(Pro)-24(c. C)-16(O)-22(MSO)17(L )-41(C)20(on)-48(f.)] TJ -.052 Tc .052 Tw 135.599 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .067 Tc 29.28 0 TD /F2 9.811 Tf [(o)17(n)-23(l)40(i)16(ne)] TJ -.052 Tc 25.44 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj 0 0 1 rg -.086 Tc -190.319 -11.039 TD [(http)-20(://ww)-16(w.com)-16(so)-33(l)25(.c)16(o)-46(m/pa)-16(p)-22(ers/520)-28(8)] TJ ET 87.84 404.879 144.479 0.479 re f 0 g BT .136 Tc -.171 Tw 232.319 406.56 TD /F1 9.811 Tf [( \()57(20)24(08\) )] TJ -.034 Tc 1.739 Tw -144.479 -11.279 TD [(5)-16(. K.)20(S)-34(. van )-41(D)-39(y)56(ke)32(, )-38(The p)-55(ie)30(zo-electric )-18(resonator )] TJ -.104 Tc 1.685 Tw 0 -11.279 TD [(a)17(n)-23(d )-53(i)23(ts )-68(eq)-31(u)-23(i)23(v)-23(a)17(le)16(n)-48(t )-30(ne)-31(twor)-19(k, )] TJ .136 Tc 1.028 Tw 115.68 0 TD /F6 9.811 Tf [(P)38(r)36(o)-24(c)42(ee)35(d)-24(i)47(ngs )-35(of )-73(t)47(he )] TJ -.188 Tw -115.68 -11.039 TD [(I)29(n)-24(s)36(t)23(i)23(t)23(ut)23(e )42(of R)36(a)24(d)-24(i)47(o E)37(ngi)47(ne)17(e)42(rs)] TJ -.052 Tc .052 Tw 109.2 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .136 Tc 4.799 0 TD /F2 9.811 Tf (16) Tj -.104 Tc .069 Tw 10.32 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )21(74)-24(2-76)-19(4 )-22(\(192)-19(8\) )] TJ 1.284 Tw -124.319 -11.279 TD [(6)-23(. )-25(S)-16(. Ro)-54(y)73(, )-25(R. )-30(Raju)-37(, Mo)-28(de)-31(l)23(in)-25(g )-20(ga)-31(s )-33(f)29(low )-45(thr)-21(ou)-24(gh )] TJ .709 Tw 0 -11.279 TD [(mic)24(r)-19(o)-23(chann)-38(els )-27(a)17(n)-23(d )-30(nanp)-55(or)-19(e)17(s, )] TJ .136 Tc .229 Tw 117.84 0 TD /F6 9.811 Tf [(J)17(ou)-24(r)60(nal )16(of )-32(A)38(ppl)23(i)23(e)42(d )] TJ -.034 Tc -117.84 -11.279 TD [(P)20(h)-41(y)25(si)24(cs)] TJ -.052 Tc .052 Tw 29.519 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .136 Tc 4.799 0 TD /F2 9.811 Tf (93) Tj -.331 Tw 10.32 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )54(48)24(70-)29(4)24(8)24(79 \()39(2)24(00)24(3\) )] TJ -.052 Tc .773 Tw -44.64 -11.039 TD [(7)-18(. )-18(K)32(. )-43(K)32(o)-18(kub)-32(u)-18(n, M. Hirat)16(a)-25(, Y. )-30(Tod)-19(a)23(, )-18(M)-21(. On)-30(o, A )] TJ .136 Tc .196 Tw 0 -11.279 TD [(be)17(n)24(di)47(ng a)56(nd s)26(t)47(re)46(tc)16(h)24(i)23(n)24(g m)48(ode )32(c)17(r)-19(y)49(st)34(al )30(osc)29(i)23(l)23(la)40(t)23(o)24(r )-29(a)42(s )] TJ 1.024 Tw 0 -11.279 TD [(a )-29(f)29(r)29(ic)40(ti)21(o)24(n )-22(va)17(c)17(u)24(u)24(m ga)27(uge)42(, )] TJ 105.359 0 TD /F6 9.811 Tf [(Vac)30(u)24(um)] TJ -.052 Tc .052 Tw 32.399 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .136 Tc 6 0 TD /F2 9.811 Tf (34) Tj .558 Tw 10.08 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )-51(73)24(1-)53(73)24(5 )] TJ -.125 Tc .125 Tw -153.84 -11.039 TD [(\(1)-24(98)-28(4\) )] TJ -.052 Tc 5.469 Tw 0 -11.039 TD [(8)-18(. )-78(K)32(. )-78(K)32(o)-18(kub)-32(un, )-67(M. )-75(Hira)18(ta)26(, )-78(M. )-75(O)-16(n)-18(o, )-73(H. )] TJ .136 Tc .581 Tw 0 -11.279 TD [(M)22(u)24(ra)46(ka)42(mi)31(, Y. )25(Tod)37(a)17(, Uni)24(f)53(ie)40(d )-19(f)29(o)24(rm)38(ul)23(a )22(d)-24(e)42(sc)53(r)-19(i)23(bi)23(n)24(g )] TJ -.034 Tc .847 Tw 0 -11.279 TD [(the im)24(p)-16(edance depend)-15(e)25(n)-16(c)25(e o)-26(f a )16(q)-16(u)-16(a)25(rtz oscillator )] TJ .136 Tc -.011 Tw 0 -11.039 TD [(o)24(n ga)35(s pre)51(ss)47(ur)29(e)17(, )] TJ -.052 Tc .36 Tw 65.519 0 TD /F6 9.811 Tf [(J. V)-19(a)-18(c)23(. Sci)19(. T)-23(ec)21(h)-18(no)-37(l)28(. A)] TJ .052 Tw 89.519 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj 4.799 0 TD /F2 9.811 Tf (5) Tj -.104 Tc 5.28 0 TD /F1 9.811 Tf [(, 2)-29(45)-24(0-)] TJ -.042 Tw -165.12 -11.279 TD [(24)-24(53 )-33(\(19)-19(87)-24(\) )] TJ -.052 Tc 3.162 Tw 0 -11.279 TD [(9)-18(. )-44(F.R. )-55(Blom)24(, )-44(S)-36(. )-44(Bouwstra)22(, )-44(M. )-41(E)-30(l)28(w)-16(e)23(n)-18(s)17(p)-43(oe)28(k)-18(, )] TJ -.06 Tc .565 Tw 0 -11.039 TD [(J)16(.H.J F)-33(l)27(u)-19(itman, )-20(D)-17(e)22(p)-43(e)22(n)-19(dence of )30(th)-41(e qu)-34(a)22(li)30(t)-45(y f)21(actor )] TJ -.034 Tc 2.472 Tw 0 -11.279 TD [(o)-16(f mi)-31(cromach)17(ined )-68(s)18(i)-18(l)-18(i)30(con )-49(b)-16(eam )-47(resonators )-50(on )] TJ -.104 Tc 1.028 Tw 0 -11.279 TD [(p)-23(r)-19(e)17(ss)-25(ur)-19(e )-29(a)17(n)-23(d )-46(geome)-29(t)23(r)-44(y)49(, )] TJ 1.389 Tc 0 Tw 96.719 0 TD /F6 9.811 Tf [(J)145(. )147(V)141(a)128(c)145(. )171(S)128(c)145(i)150(. )171(T)135(e)145(c)170(h)128(n)152(o)103(l)175(. )147(B)] TJ -.052 Tc .052 Tw 93.599 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj -.104 Tc -190.319 -11.279 TD /F2 9.811 Tf (10) Tj .136 Tc -.331 Tw 10.08 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )54(19-)29(2)24(6 \(1)39(99)24(2\) )] TJ 2.829 Tc -.384 Tw -10.08 -11.039 TD [(1)299(0)250(. )279(H)301(. )279(H)301(o)274(s)310(a)292(k)299(a)267(, )254(K)301(. )254(I)279(t)297(a)316(o)299(, )230(S)282(. )254(K)325(u)274(r)303(o)274(d)299(a)292(, )254(D)276(a)292(m)308(p)274(i)297(n)299(g )] TJ -.275 Tc .776 Tw 0 -11.279 TD [(ch)-41(ar)-37(a)-24(c)-24(t)-43(er)-37(is)-49(t)-43(ic)-18(s )-22(o)-65(f b)-47(e)-24(am-)-70(s)-30(h)-16(a)-24(p)-41(ed )-58(mi)-27(c)-24(r)-37(o)-16(-)-37(o)-16(s)-30(ci)-43(ll)-37(a)-48(to)-36(rs)-43(, )] TJ .136 Tc -.348 Tw 0 -11.039 TD /F6 9.811 Tf [(Se)42(ns)36(ors )31(an)24(d A)21(c)17(t)23(u)24(at)23(o)-24(r)36(s )19(A)] TJ -.052 Tc .052 Tw 96.239 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj .136 Tc 4.32 0 TD /F2 9.811 Tf (49) Tj -.104 Tc .069 Tw 10.08 0 TD /F1 9.811 Tf [(, 87)-27(-95 )-42(\()29(1)-23(99)-24(5\) )] TJ -.034 Tc 5.751 Tw -110.64 -11.039 TD [(11)-34(. )-70(H)-15(. )-70(Hosak)17(a, )-94(K)33(. )-94(Ita)17(o)-16(, )-70(T)-28(heore)26(t)-18(ical )-61(and )] TJ .136 Tc 4.661 Tw 0 -11.279 TD [(e)42(xpe)17(r)29(i)23(m)33(e)17(n)24(ta)40(l )-94(st)58(ud)-24(y )-43(o)24(n )-92(a)42(i)23(rf)33(l)23(ow )-66(da)42(mpi)31(n)24(g )-92(of )] TJ -.095 Tc .789 Tw 227.759 582.96 TD [(vib)-23(r)-18(a)18(ting )-94(mi)-15(c)18(r)-18(o)-23(cant)-36(i)24(l)-24(evers)-42(, )] TJ .136 Tc 110.4 0 TD /F6 9.811 Tf [(J)42(out)23(n)24(a)-24(l of )-73(Vi)60(br)36(at)23(i)23(o)24(n )] TJ -.428 Tw -110.4 -11.279 TD [(a)24(n)24(d )-24(Ac)55(oust)34(i)47(c)] TJ -.052 Tc .052 Tw 50.399 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj -.104 Tc 4.559 0 TD /F2 9.811 Tf [(1)-48(21)] TJ -.011 Tw 15.359 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )37(64)-48(-)29(6)-23(9 )-30(\(19)-19(99\) )] TJ -.052 Tc 1.5 Tw -70.319 -11.039 TD [(12. )-31(J)17(.-H. )-25(L)18(ee, )-21(S.-T)-32(. )-17(L)18(e)-25(e)23(, )-42(C.-M. Y)-46(a)23(o)-18(, W. F)-15(ang)-15(, )] TJ -.034 Tc 7.947 Tw 0 -11.279 TD [(Com)26(me)16(n)-16(ts )-118(o)-16(n )-134(the )-105(s)-29(i)30(z)-23(e )-117(e)-23(ff)23(ect )-112(o)-16(n )-159(t)30(h)-16(e )] TJ -.058 Tc .22 Tw 0 -11.279 TD [(mi)41(cr)-17(o)-19(c)22(an)-21(ti)-18(le)25(v)-19(er q)-39(ual)30(it)-42(y )26(f)33(a)-26(cto)-18(r in f)20(r)-15(e)-26(e )19(air sp)-20(ac)20(e)-26(, )] TJ -.052 Tc .052 Tw 185.52 0 TD /F6 9.811 Tf [(J)-25(. )] TJ -.034 Tc -.017 Tw -185.52 -11.039 TD [(Mi)27(cr)19(o)-41(m)-15(ec)25(h)-16(. Mic)29(ro)-22(eng)-34(.)] TJ -.052 Tc .052 Tw 89.519 0 TD /F1 9.811 Tf (, ) Tj -.104 Tc 4.799 0 TD /F2 9.811 Tf (17) Tj .136 Tc -.331 Tw 10.08 0 TD /F1 9.811 Tf [(, )54(13)24(9-)29(1)24(46 \()39(2)24(00)24(7\) )] TJ 0 Tw -104.4 -11.039 TD ( ) Tj .028 Tc -.171 Tw 0 -12.48 TD /F2 10.744 Tf [(9. A)18(c)-22(k)22(nowled)33(gem)20(e)-22(n)22(ts )] TJ 0 Tw 0 -11.279 TD /F1 9.811 Tf ( ) Tj .136 Tc 3.386 Tw 14.64 -11.039 TD [(The re)25(s)36(e)17(a)42(r)-19(c)42(h )-51(h)24(a)17(s )-39(be)17(e)42(n )-75(f)78(un)24(de)42(d )-51(b)-24(y Te)28(k)24(e)17(s )] TJ 2.1 Tw -14.64 -11.279 TD [(\()29(Fi)54(nn)24(i)23(s)36(h )-35(Fu)31(nd)24(i)23(n)24(g )-35(A)26(ge)42(ncy )-18(f)29(o)24(r )-31(Te)30(c)42(hn)24(ol)47(og)-24(y a)30(n)24(d )] TJ -.098 Tc 5.097 Tw 0 -11.279 TD [(I)29(n)-23(no)-22(va)19(t)-25(ion)-23(\), )-120(Br)-22(uco )-150(Int)-19(egr)-24(ated )-134(C)-27(ircui)-27(ts )-134(B)-27(V)-21(, )] TJ 8.59 Tc -1.669 Tw 0 -11.039 TD [(I)915(n)862(n)886(o)862(l)909(u)862(c)879(e )709(B)857(V)864(, )711(S)844(I)915(L)899(E)875(X )669(M)884(i)909(c)879(r)866(o)886(s)849(y)935(s)849(t)909(e)855(m)895(s )703(A)888(B)857(, )] TJ 4.03 Tc -.632 Tw 0 -11.279 TD [(V)399(I)450(N)399(N)423(O)423(V)399(A )334(a)439(n)397(d )357(N)399(L )370(A)423(g)397(e)439(n)397(c)390(y )381(\()426(D)374(e)439(p)397(a)414(r)401(t)444(m)430(e)414(n)421(t )355(o)372(f )] TJ -.034 Tc 1.151 Tw 0 -11.279 TD [(I)36(n)-16(ter)17(n)-16(atio)18(n)-16(al R)-18(esearch & )-50(I)36(n)-16(novation\), )-40(a)25(n)-16(d )-19(V)-15(TT )] TJ -.104 Tc 4.102 Tw 0 -11.039 TD [(und)-24(e)17(r )-96(the )-85(col)-32(l)23(ab)-31(o)-23(rati)18(v)-48(e )-58(p)-48(ro)-19(je)16(ct )-60(o)-48(f )-71(Eur)-31(ostar)-17(s )] TJ -.034 Tc .752 Tw 0 -11.039 TD [(Hi)39(g)-16(hResSensi)25(n)-16(g. T)-38(he fa)24(b)-41(ri)17(catio)18(n o)-53(f t)22(h)-16(e )-18(samp)-31(l)30(es )] TJ 4.269 Tc -.474 Tw 0 -11.279 TD [(u)446(s)433(e)463(d )373(i)469(n )373(t)444(h)421(i)444(s )384(s)433(t)444(u)446(d)397(y )422(w)423(a)463(s )360(f)450(u)446(n)446(d)421(e)463(d )373(b)397(y )422(T)410(E)434(K)472(E)434(S)404(, )] TJ -.275 Tc 4.315 Tw 0 -11.279 TD [(M)-19(u)-16(r)-37(at)-18(a )-120(E)-28(l)-43(ec)-48(tr)-31(o)-16(n)-41(ic)-43(s, )-125(T)-52(D)-39(K-)-28(E)-28(P)-34(C )-118(an)-41(d )-113(O)-15(k)-41(me)-32(ti)-37(c )] TJ -.094 Tc 1.371 Tw 0 -11.039 TD [(und)-20(e)18(r )-54(t)24(h)-22(e )-16(c)18(o)-47(l)24(l)-24(ab)-29(or)-17(at)18(ive )-41(p)-47(ro)-17(je)18(ct )-17(o)-22(f P)-46(iezoME)-23(MS)-41(. )] TJ -.104 Tc 2.879 Tw 0 -11.279 TD [(We a)-15(r)-44(e th)-62(a)17(nk)-48(f)29(ul )-55(to )-31(D)-46(i)23(eder)-33(ik )-55(van )-85(Lie)29(r)-19(op )-78(and )] TJ .136 Tc 2.563 Tw 0 -11.279 TD [(M)22(a)42(ri)27(j)23(n )-37(v)24(a)17(n )-37(Os f)77(rom )-24(I)29(n)24(n)24(ol)23(u)24(ce BV, Tho)38(r)29(bj)47(örn )] TJ 3.462 Tw 0 -11.279 TD [(E)38(bef)71(ors )-52(f)53(ro)29(m )-34(S)-16(I)29(L)38(EX )-53(M)22(i)23(c)17(r)29(osy)36(st)34(e)17(ms )-23(AB )-46(a)17(n)24(d )] TJ -.104 Tc 1.5 Tw 0 -11.039 TD [(Ge)19(r)-19(a)17(r)-19(d )-23(V)-22(o)-23(shaar )-46(f)29(r)-19(o)-23(m B)-18(r)-19(uco )-54(Inte)20(g)-23(r)-19(ate)-15(d )-23(Cir)-50(c)17(ui)-25(ts )] TJ .909 Tc -.144 Tw 0 -11.279 TD [(B)99(V )90(f)156(o)79(r )93(h)103(e)96(l)101(p)54(f)132(u)79(l )111(d)79(i)101(s)115(c)96(u)103(s)90(s)90(i)101(o)103(n)79(s)115(. )83(W)82(e )106(a)121(r)83(e )106(a)72(l)126(s)90(o )89(g)103(r)83(a)121(t)77(e)72(f)156(u)54(l )] TJ .136 Tc 2.391 Tw 0 -11.279 TD [(t)47(o )-30(De)19(n)24(ni)47(s )-18(Al)49(ve)42(r)-19(i)47(ng)24(h )-30(a)17(n)24(d )-30(Sof)60(i)23(a )-37(L)38(e)17(ms)45(t)23(röm )-41(f)78(or )] TJ -.295 Tw 0 -11.039 TD [(h)24(e)17(l)47(p wi)38(t)23(h the )43(m)-15(e)42(as)29(ur)29(e)17(me)51(nt)23(s. )] TJ 0 Tw 0 -11.039 TD ( ) Tj 96.239 -11.279 TD ( ) Tj ET Q endstream endobj 47 0 obj << /Type /Page /Parent 1 0 R /Resources<< /ProcSet[/PDF/Text] /Font << /F1 10 0 R /F2 14 0 R /F6 30 0 R >> /XObject << /I0 5 0 R >> >> /MediaBox [0 0 595.2 841.919] /Contents [48 0 R] >> endobj 1 0 obj << /Type /Pages /Count 6 /Kids [ 4 0 R 16 0 R 32 0 R 42 0 R 45 0 R 47 0 R ] >> endobj 2 0 obj << /Type /Catalog /Pages 1 0 R >> endobj xref 0 49 0000000000 65535 f 0000879218 00000 n 0000879312 00000 n 0000000015 00000 n 0000172297 00000 n 0000000168 00000 n 0000003661 00000 n 0000086389 00000 n 0000128335 00000 n 0000128622 00000 n 0000129930 00000 n 0000130729 00000 n 0000155189 00000 n 0000155483 00000 n 0000156115 00000 n 0000156638 00000 n 0000465823 00000 n 0000172498 00000 n 0000408981 00000 n 0000414436 00000 n 0000417802 00000 n 0000418079 00000 n 0000418393 00000 n 0000418723 00000 n 0000426091 00000 n 0000426370 00000 n 0000426666 00000 n 0000426854 00000 n 0000449860 00000 n 0000450162 00000 n 0000451555 00000 n 0000452155 00000 n 0000591380 00000 n 0000466070 00000 n 0000564951 00000 n 0000567600 00000 n 0000567902 00000 n 0000568320 00000 n 0000568682 00000 n 0000568970 00000 n 0000569419 00000 n 0000569777 00000 n 0000839626 00000 n 0000591627 00000 n 0000826028 00000 n 0000863978 00000 n 0000839840 00000 n 0000879015 00000 n 0000864181 00000 n trailer << /Size 49 /Info 3 0 R /Root 2 0 R /ID [<9A8AFD65777F93C82625942EA24E741C><9A8AFD65777F93C82625942EA24E741C>] >> startxref 879361 %%EOF