%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign Optimization of Piezoelectric Micro-machined Modal Gryoscope) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114202218) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 285.059999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 11 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 575.940000 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 12 0 R /Resources 14 0 R /Annots 15 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 14 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 15 0 obj [ ] endobj 12 0 obj << /Length 13 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]KoÜ6¾ï¯Ð¹@l‰zE{È!@`=9vÓ"h‚º9äïW^imy>IßpD)Ú 1’õ2âk8üæIêüכߣ?¿Fçû›¢»îs³‹Ïâ¼nÿDqóóª_�gE÷k™æg®ýõîóî!zؽ۽kþ}ü|Ø[�?_ï¾ìÎÛþº§K?ïª4ÎÎâ8vióõïþ׺¨ò³ª(˼)�å×LJÿÚýöSôe²«ãÿ$‡Ÿþÿ<ìwVÖy\ÔÅ¡šøÚÌèñ£Èšyæeôï»��×ÔN[r³Ûüö-rÑ›æï§èý‡¦ð~r—·»óë2rYtû±™ÈaUÚ�Û††Ñ«¬ùå>ú¹¡\òKtûi—”ÑS‰kK²ç’´-IŸK²CI¯RÞ>’?—PRÊJUûHý\RC߇’z¢ëËC�s�ìaW†Ž^[戕®eG²N·uЉ±à"á±k¨•$´áÄAÃ’TIÇ ñø€Z�i·uœW+]ô“\RYøa +\mX|éÙÎûõ-A=¶…ËdœnH‚†3^€‚ ‹äOj  °ÖBpp¤¬¢fC “2iú}‡•좔cï´äO †S�äîM RÉ'jÙ ˜'yÒ!ò$±k¾ÅåË­3�äI\¿ ú^N ¨Ñ1koöì°:ÑÈVݬG,cE–I,•sñœ¥lóqwdEÐÅÏ›/¹{ :}R£Kòu`x2±�:œ0éÓ+Èå8äÀð ¹­á‰N†T#-¥pm»-&ªÔ²›ä‚r-"ÉO bp9¬ë€n95Ž=%,Ì–Öº•m` [É('0ÎË€ó°Aø@^�No¾-~¦Oð¡&ÃÇη.pPÈ^�+�B窗ìÑWŸ.Av¤@u`ªTýJÖ9ªFN¶2[íqEÞµèr�ïmÀi@ºQ¡Š“â–#(î1PÓ¡ 7Œ•À?à%T‘�b·T¢ Ma›úƒ0ê–@1d Á8@/BâR¨ “᪢Ä$;ç)9`eäm !L$ t)&G­çØÖ†Ùbm ™Ì ú�„KçBÁP1RŽÁ@õ”ƒ£I ËÜUÙ¨dàÜBg%¼ À óŸ£:7O``‘ÑÛAu\¤áˆÇvŠ)� cFõ„S Wz¡‚À.[çCp10¸ ç†$ne*]qÔUì~�¿T—PèÖÈd`qµ f²¿œSl…Í+nÇùÃÊpLá¸Ìu…@–V}�® ”Mí[à1*‘é°X[î¢h`°Špd¸ØÐŒ¶tSÈ]·Y{Õ•r°…�h%0cW1*YLeêkÅ ù$$…w…Ì€åäx�Ê*†å48pOÇ·âjf5@ÃE7Úxºü¨2�ðßãk¹8€Åä–ã»Ã`Á+”c\!†@`€¥C½ù ý‰÷âÏr Q~A9F¡ÈJ* ؘ̣*Ü9H<*¼À|'ú[r ãÛ›[ƒ�aÀE,UªP’Áú‚jé¿ix(ŽKvCu=i�%cK¯°Q8´ùóÂ"À¥pÈ8¹ÃFüw˜}­½ÄEP…ßZi80Ô(ü=ܽß?P¯ ²! ¿¾³¤h-Á™[Q˜¶¢@"s�`]¸Ä…¡‡Ó—æK˜btTKj3|Í�àï¹[&Ô»NÆAI¸Y-†Ú†4[ƒD²Ù_E³Xp< 0çï7Ø®ÿïGRá¾—¶5’7:_†•µ~x¾ëHJ WLÀ‚.µ»bzŠÎÒÖâ×`Ê+R·×j0[X(PÅ€ÑiÆOp3Lnµñ–ç;RxÙ®Ôá åc\$=@a­r9¥ €(,D€õFò拇º#ÏfQá™ài ±7œÀS%îZÌ8�éŒC˜ ¶8Äq¹>V+�¸häО�A¡1УK 6óOÁYH¯å­*Ä*O:áá¡%%îK»#rÏGs²{$Üc¥4PJn–”ã৸ÿÅ�ÈÇñ]VIñ’‰ˆ´¨oŠŒƒP9šîƒ <³Õ¢Tø�7›/£Hu±¬ö*™½\§ 3¹\†¹i2øJiIÝÐC’– [Õp&Ö¯…Ý(Þ�¥Çä븃xPx/°_äÐSÉÈi)''ELZÉ'¤Ó%­ÙÒƒÏ)½�l‹¡K*ë:õ¡/ë ÙâüDÎ餘nÁSœH q¬'€}¤Ð üÏ*°�Ó�¦œ+X·;™=lóm!\w[‰�o%€9)óEP~<ênAé » ÿlWž.bå,“´º-õËËÈã—SÀ`‘LàeB!I”ÝŽé$þÀOI›3¬æ#{™Í u®®sCO:Ïe1ܰJê`�lSîôæ$´ð”?^,’\k¹‡NÁ˜Ÿ×*‹å\�àû§�/b„ñ4Ó� 8¸N7ì?†˜óEN}<Íý#)“'dKðÍ¡çMZ}©\í^Æó†Ï=_'ñw-�Ë«?”¢b[a~É�!Žîžã§awn§;�|â &[()•'n”‰ŽѦ€Å€èèT·äƒh¯~™—Í…é¿‹$÷ò”z[.M€ãÁ/5/C˜WüüŸt¿ÓÉ*î¥çÏ!ÕpÄ‹Þ= –ü#„+™ä§ˆT;æ‹”4¥w6ð°]ûR¸'ÞRã7ÎRŨCÓr=rï$¿�K-ÿk� 1ùEd�"U’n~ÃU�tò¶äFrúÆœs³ïŽ/ž^ÌÑíÑ�·ÁÁпû²îŽÇVà@ÊÀmò�ò‚‹ìˆIñm-üô]KÃqF®³ ¤†€¾ œJÓ±U»óófürVH&·P1È|yšwˆäy|Ï…á•\Óåö%÷Y‚°ÅžÓ§KÉd×`. 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