%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign and Simulation of 3D MEMS Piezoelectric Gyroscope Using COMSOL Multiphysics®) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114202242) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 329.219999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 11 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 575.940000 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 12 0 R /Resources 14 0 R /Annots 15 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 14 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 15 0 obj [ ] endobj 12 0 obj << /Length 13 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœíœ]oÛ6†ïõ+t= ŽHJ² 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