%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign of MEMS-based Microcantilever for Tuberculosis Detection) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114202400) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 10 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 631 /Height 439 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 11 0 R /Filter /DCTDecode >> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀ·w"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ýü¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š¯}¨A§Aæ\Ï�ã’M‚€,Q^G¤|g°ñÿíáý;@Ö?´´³áýbæìÛ’mÞxîtØãõýäi$ŸA/ûu‡ãø(wÀÿ‡Þ<·ðÖ»ñSÁvÌ÷×:|‘>ª’C¤Ü[ù†H/'OÝYÉû§Äw�Ç"G¼¡Þ(¢¹‡>1ºñ†¯âØn’Ü&…­>›–~üg‚\¿¿ïh®¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢¼{Ã?´öŸ©kús,úί¥k鱨èvÞÌòþÐS1ÀzüòÉgÔW!ñ³öÒµø:öÑø¯Ä~ø^u V–ºÍÐÕuûÙaÌQiör~òLȇ÷rËþ²?ÝþðPÑs\%´.îÁ?¼ÍÒ¼rÓö“¶¸øÝâ]M–ûÅ6ö:~ž`ƒF²7imy$·±ÜG%Ä»�ˆàÈ–O“Ú¾vÕþ6ø³ãÍÿÃ�xšÖT>V¿ñfòMLŽC‚Jhvñy· Ïü|Çoû×'—ûØãƒögño�5Û½WÇŸ|Hc¾³·²“Ãþ ó<%¡ÚÛÛùž]´g“í²Gþ‘$¼¹ÿ–ŸêÿÕù`¯ñ·öÓ±ø_«Ç¦ø—Åg€îîÌxÑí¬eñ‰B8“÷�mgæ}ž3åÉåÜ8’/¹žx¯(¸ø�ãß‹2yžø^¶qMfM_ã§öÙ"'“z%œŸg?&Ï._´EÖ_ûiÜü+øà¯�Ú\–¾ð¯‡ü7o,’I'Ø,ã¶óë§üôÿWýû®²€<{]ý“¯~5j°_üañÞ¿ñ2Kky-£Ò~Í‘á裒Xå’?±ÛÿÇÄ~m½¼Ÿé2\yf�þÚz†þxcÁ>�GÒ´ #MÒâŽ;o²Agqyqÿ«®‚Šóÿ¯Œÿd5�ü %ÏŠþÅûËÏê7Ü_XGòÌz=Ä’yvé[?Ñ$ÿGÿGŽ8þÏæI%uŸ²ßŒ¼/ûKx“â·á}VçÃÞ6ÓuØãÔ-¤lèé%•¸û5ý¿Î~dw_ü²“Ëó#‘ÿÖ�Jâ¾"|´ñž¯i­éÚ®¯á/ižgØõíçì·Q«ýÜŸòÎâßÌŽÞI-î|Èäòãó# ¢to‰Wzvµ�â«xô}^âAœöûå±Ô?Üùfü«“÷‰ƒ%w•ò—‡ÿmð�œ¾ý ôý D‚û|Kâ裾¿ó?ÕÛHn.$–Òãýd½>T…#òåó.#·Ät/|.bú"Éâ Æpt»‰Dw:t`ô´p™�cþYȹ²AЀz]ÎøÇú?Žtæ—K½7Aò§�ã’+‹wô’9™ëÊ訢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Šç¾"øÎøm5 ¡’â9/lì¶ Ï71[�ÖJèh®KÆ?|7ðîöÚÓXÖmaÔîãó-´äcq}Ž?qoe“þÙÆk�ø‰ûG\øE½Ô¦Óì|%¤YÛK{.­âíB;*Ùü|Çi™<‰/"\}œ�ß“°Ù.î>Ée+¨ÿV›ëÌ|5ûRøgVðN…yu}ëš¶•i©O£i).«}kçÅŸñïoËåþóýfÌW; 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