%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign of a MEMS Resonator for a Centre Frequency Greater Than 26.35 MHz and Temperature Coefficient Frequency Less Than 0.5 Ppm) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20131114202429) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 203.459999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 11 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 551.940000 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 12 0 R /Resources 14 0 R /Annots 15 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 14 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 15 0 obj [ ] endobj 12 0 obj << /Length 13 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]Ko¤F¾ó+8GZºa)Šäñ#R‘,[Ê!Ê!òf­²«8{Èß3€ÍÖ|EÑŒg¼^kmO»iºëñÕ£«áüÇ»ßã?¿Äç—wÿÄíÏË»(9Kòªù'õ×»~C¾9Û´¿>?sͯŸ¢Çø1º�nëﻟ�Q7j²ÿúòð9:oî×öÚµ~ŠJŸdgI’8_ü»ÿ±*‹â¬¨|¹kOäÇÝ÷¿¢_¾‹?OÞªûKºÿêÿå1J]=^žlªÍþ2ñ±^ÑîÇ&«×Y¸øß?¢»‰k®ŸNÓrwùsýÛ±‹ªÿŒý­n|?¹Ží}t~SÄ.‹ï?Ô Ùs¥ùq_Ó0~—Õ¿¼�¿¯)—þߌÒ"~jqMKöÜâ›ÿÜ’í[zåM—ü¹e-…¼¨„.Õ¾¥š¸æf]¶û—<·\6m¦ú\AøÚD+\%’Wu#)äIÓ’LÌèi…ÓSÓ¥€nêpå…\ÊÈ‹¾?ÏÔ�¨Èr›âŸÒÏó�%t),)4ˆ'1,\á.鬯ðŠ*˜ã¹jý•©×ȹÑUÄ=í^››�ÎÊK�`ÎHÇ�/“�P8ËèA• »w \¸`òÅA�øŽ´ÿB^ÙgºÏc0À!˜½@s—›±¼Û)3x0\ÑÎ4·ÜÍç¸f0�!À‚“pÄ]ÎØ¢+Q ’Ë=Œ•3$óê^#GnŽhPˆž'8}t;Ì�‡\G}¸iå1á‘dò Ù Kž¼"âöNÆMFÉå{°rqÜxXRQ!J (o->±"ñ`—Þâ°@ªVÎ̽ÍË,7tU:Ê8ƒÓŒ{å'ð(¶ `u t1<ëHý Øœ :‚F 8mPä¶²Ïuq-¡ JQVárRQØv*Þˆ©!¶­y5È»ƒë�ÂH1+¬_dVˆ€ O¹�¬e±UÊÒq¦prqýšÏGKMÃ*)ÅoÍÄšCEy†Áë6–ÅàY!™¡PH3€°Á×1¤²OƵ ‚ý«p®v?‡Ê�Ä  N…l¯•̲î¬F·/̆ü ï�óªp„%Hò�éæ° wᙾíéYjQ'¢ø&õA’)ÖrW�×yq|\¥zj8|U;½ŠÂ�º=àótã|vcœ¯à·–ˆË�ÌFßë±e-Ö']A§¡Tk ‘ÏÐÔ•ÁEîø¤0¡Ô>(ʤ!Û ¢KkøxVó7Ü� qâXê«^h3r`+ l7{áüÜ„áÔë[Í.Ó3®‡ÑwEá¬:ÌXn\Wi9Î"›ð&§Ç*§«ÆÒ2 ~`�o‚(’x´î@b8¿àƒ;2HÂùuŠ]‘%‹<-§� `ˆWBZÂ�L6¤u Îp(×z©Ë­V¶ ÜòÛJz)N"ʆÁî­’Ï7Ôöœn>ƒ-‡ùŒòò9ž§‘!¶öðàá×*Û¯)•ö-Ô-Çõ�]êÑ*2öü ÒÍ÷¬Qky¾=�;fØD¡Q’©0ƒ—þÈMñC6|«*HÕûüí�uÊà_ò‡xPœ"9³ N…ÃÕÅ/·beÈRê7}z=úd8KºÎc¸^´ gÒW ^Œbªt_Å~hõªtêˆË/´ ²} �3�˜ôŒŒMòÄ&81ÄgEñÃò0,n~)u0¿ ZJ·cñ †ÅÅð8‡·™Qþ¬Ôü4¦·¤ ²Ürfü˜‘‡Wúx®eÀ/¥ €57T,'xý7~ó#ø »%†“«'³…ÀSčܿƒÜËÍVZ�®=@(jª< ±Ëe8éâ±ö‡‰ ¹ëȃu:��tSÃ3L�„1è[8“hy ð:îÓAžh­¨ÕSˆ ¯5¡¹…� ñ.KÁ?¯O¡Ž�â)ñ#:´ÜÂ<½DåhrÅâçWk¼T”Ls1A îhݯ9/±šx¹A‘ŠG\¼2¬‡¯#Õÿ½.ør^h3ðºƒÞúº—˦í{W—¾oõ6¾�þM|¹åendstream endobj 13 0 obj 2265 endobj 17 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 542 /Height 394 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 18 0 R /Filter /DCTDecode >> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀŠ"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ýü¢Š(¢Š(¢¸¿ŽŸo¾ü2Õ|A¦xW_ñ¾£aå‹mGhV÷P’IcŒ*4òG�¼1guUUcšñ_ø%‡í“ãÛ‹öc¿ñ¯�¼;¥x[^µñVµ É¥iÒ´ðÙ­�ì–ê­#9ó$Âî¸F �¨(éê+óÓ¿ðS/ŽvðT½à—Œ.ø=­Oá£bE—ƒ4�sL¸Ó<ä‘Ü]Ǫ¨.¤ØðeI2OûºŠæGÆ�ÿ#g†¿ðgÿKÿ ŸÁÿô6xkÿpñTÒÑ\×ü.ÿÐÙá¯üÁÿÅQÿ ŸÁÿô6xkÿpñTÒÑ\×ü.ÿÐÙá¯üÁÿÅQÿ ŸÁÿô6xkÿpñTÒÑ\×ü.ÿÐÙá¯üÁÿÅR�Œ~(Xx«Ã…AÁ#R‡ñÝ@%ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍÂçðñUøk“�ÿ89?÷Õ"ühð{(?ð•xpgûÚ” þ­@5ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍÂçðý žÿÁœüUð¹üÿCg†¿ðgÿ@-ÍŒÞ#?ð•xs¹Ô¡õ#ûÞÆ�ø\þÿ¡³Ã_ø3ƒÿŠ –Šæ¿ásø?þ†Ï àÎþ*�ø\þÿ¡³Ã_ø3ƒÿŠ –Šæ¿ásø?þ†Ï àÎþ*�ø\þÿ¡³Ã_ø3ƒÿŠ –Šæ¿ásø?þ†Ï àÎþ*”|dðƒ�øq²qÆ¥ ÿÙ¨¤¢¹¡ñŸÁäÈ×á¿ÇS„ìÔÂçðý žÿÁœüUt´W5ÿ ŸÁÿô6xkÿpñTÂæðý ~ÿÁœüUt´W5ÿ ŸÁÿô6xkÿpñTÂçðý žÿÁœüUt´W4>3x<žÂÞêHˆƒÎ�žv–âVi € ªE}©*…ÀÛ•9ÎyÅq´snýž¼w÷OüSº‡Ïf’šWÆø+àÏ„ÁÚ;7…|6ÌÖp’N™ $ùcýšÖÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øš»àbO‚t~åÊÃ÷bµbbÙÉXg;ÿ cÁÿô*xgÿpñ4˜ðý žÿÁ\üMt´Ršÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øš?áLx?þ…O ÿà®þ&ºZ(šÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øšä¯~xQ~2E¨ÿÂ?áƒÒ>Ëö_ìÈI-ç‡ó1�AŒàžkÔ«2æ=ž%Yþmö•Ê}ìÿ{nà9÷ǘŸüÅ)សô ‡ÿ‰¥ÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øšéåA -s_ð¦<ÿB§†ðWÿGü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×KEs_ð¦<ÿB§†ðWÿGü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×KEpþøKÄ>Ö4èü7áËY5 íÖuÒbs hØ($Œç‚kZƒ>lŸøDü4¹õÒ û-kø¦am ÞHÅű/�ªœ“ž8ëÅ]¶Ç8Æ00@ÆÈÅsÿð¦<ÿB§†ðWÿGü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×KEs_ð¦<ÿB§†ðWÿGü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×KEs_ð¦<ÿB§†ðWÿGü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×KEyÖŸðÂq|LÕ/O†|:b¸Ó¬àXŽ“ØÌr]±aß-æ÷GÜ·Eè?áLx?þ…O ÿà®þ&µáŒ.½3`a¢@>R9Ë瞟•^ kþǃÿèTðÏþ àÿâhÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øšéh kþǃÿèTðÏþ àÿâhÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øšéh kþǃÿèTðÏþ àÿâkžø£ð?š—�u{+o øV «Û) ŠWÓb6d*åBÜg<kÑ«/ÅR„Ó§ÈܼŒsÕ”~e~´—Á¿É 7ü"^]Ê—Ü.?*ü)�ÿЩáŸüÁÿÄ×HŸpg®)hšÿ…1àÿú<3ÿ‚¸?øšâÿh 3Ÿ¾ë^(‡ÀžÕ&Ò£Cœ–±[%ü‹«J"rƒsŒ���JõšòÛ¹@ý”üWÀ «‡v´sïÈ(H„€@&½Ãòãô²OøÂ3·þ×ÀÖ�ð¨XúȤoø¼cþ,×ÁIëâiÀ1ÿ0n½!ë_�ŸðPïÙ“á¿üïöý®<-ð£âŸŽ†¯uà­+Y½ðU÷ˆgÔχOö‚E¡òRži&q‚ vßðIÏØßâ?¿x»[²øuðÄ·~6Z‰¼AñF÷â�y4²ÀûdÓ^XŠ�Ý«îY°…C(fÈÛßð�øÏ·Á��ÄØÏ?ÿ)iŸð†x¼HTüø Jýí¾'˜�zãþ@ÞœþU¿ñwãm÷ì±û3Kâÿéš÷ŽõoØÙ�VÛÁÚž÷S¸w† $¶³2’Ì�ɰÈJÆ–ÛšüÞÿ‚‹|1ð÷íÁ¦èŸ^ëö‡—â7Å�o|(øb²Má›Ï ÞÛK"K«ÞGnùXb‘–yeŸxéòEªéº‘•|oÓ¾ ý£áF©ãh>3hn‡}§xÓC°ñGÂo…:n�­ÜÉh—ZV¬Ú„ÑH¶ÓÎ3šl©Ÿ0cw~•çðN/Ùóá—ì‘ñKâÏÃ_‡? 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