%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿDesign and Simulation of a Piezoelectric Actuated Valveless Micropump) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20151105163042) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 544.259999 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 11 0 R /Resources 13 0 R /Annots 14 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 13 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 14 0 obj [ ] endobj 11 0 obj << /Length 12 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]KoÛF¾ëWð\ 6¹Ë‡lÅ.�C€Àzrì¦EÐusÈß/%J³Éov¸+QŽj$²6|ÌÎÎÎ7Ïíåïw“¿¾%—«»“‡íçên‘^¤EÝþ—¤ÍÏ«î@Q^”Û_+[\˜öׇ/‹§äiñnñ®ù{ýù´Ø=5Ýü|{øº¸lß·½j=úe±´i~‘¦©±Í׺_kSÚ‹²ù^4ã©ûu}ñß‹?~I¾Ž¾j÷/Ùæ§û/O‹Ì\Tu‘–u¹¹ÍùÚÌhýQæÍÈÏô†^Åàß5H¿å 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