%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿMEMS Cleanroom Particle Contamination Flow Visualization Through Fluid-Structure Interaction Simulation) /Producer (wkhtmltopdf) /CreationDate (D:20151204203417) >> endobj 4 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 5 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 9 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 723.779999 0] endobj 10 0 obj [0 /XYZ 62.4599999 537.539999 0] endobj 6 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 11 0 R /Resources 13 0 R /Annots 14 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 13 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F7 7 0 R /F8 8 0 R >> /XObject << >> >> endobj 14 0 obj [ ] endobj 11 0 obj << /Length 12 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]ÛnäÆ}Ÿ¯àsky’t à ȃá‡`7N°ÈQüàßç"i¶ÏpNõa5ÉQÖÂZ5l6«««N]ûÃ_ÿžýó÷ìÃíã²O‡ï·�«ü*_oöÿeyÿõÃñ…usÕ~l«õU¹ÿñÓ×Õsö¼ú¸úØÿûýyõ2j¾ûúýÓo«ûç>µ½úuÕUy}•çyYõ¿þûø×¢(ªâª-ò¦¿ž‡¿n?ü¯Õßþ”ývöQ/)v_Çy^åU»YçͦÙÝüÚ¿Ñö[So²®Í³ÿþcõëvâ–û†§³¿òxûSÿÓY™ýØÿû’ýüKñóÙ÷¸yZ}xh³²Îž~í_d·*ûoO= ³êþ‡ÏÙŸ{ÊÉž¾¬ÊÝŸöWÊÝ•¢ÉÎ|¦‚ÏÔ»+íÛ…õþ#ÝÛ•&üH»ÿHýv¥ƒ+›ý•õÛ•ëý•£ÙÜÀgðÊíþÊ33¾ƒ—ÂéàÃïwW6o‚q‹|OE =ñ%‘X0;|%¤Lø'ÆÅa(Ló _»(à#@<·Ø³ðý,l—´ÅË€Èï°Êu¸ÊÅÚÀÞð20nÜ3íÛð­‹NÙ�Hˆ~bd�N�èy �¾ ©‡« †×>ñ’¸ïÃaNÌéÉeCqË7,¼‹�N3¼“�÷FïÏ"/‡— ¦rîõa;zî5ÛûvYÿï[×ߪä#e°yGó¬Â 5,/¿ç@¡"¤ÐуÛÓ˜ÈÚÄLŸê}6ëþ—ªû–™Ç‘|Ë_ÇD¿¡ô–IÌïÙ³rq¤²ïB¢ß‡÷$!zÑþTïºHª?98 Õ:H6€ƒ Ø�´8úDÉ–å0ƸU(ÛÖ}Ê®Ž\A¾¼àª¨•Ãç€Äæ²ÃÂÀÒÕá-k‡•ªì—*v¿HTG1køG` µ0>lá!¹êMç¾ë|¹€|Ï\ ¤ÝM  �ÝŸ¸ •ÝÀr�[¨&¯Ç,ÔÉ1·KßËLO¥µ]ù®\#¤^¸C úHF+Ü…«‹n8”„áÄPxrl f –Ï^g7÷”9Èùð1%UâH€ï!Ùñ!Â=È0ÁÐ?3�²d$ƒ=‹o K •.ê[|.e].M¸°,AmÁB U�"°í©–5k|íJE[–°�^4ÑøÜ¹8�¬æ>Ú /_\”q Åà¢6+ó¡YµÝ·³*@�óS ¼~®Òõiî8Ö�9Á{W½jâ'Ô ¦aË—OëÃ'ø Ÿeƒ‚Î…1 з2`Ûá‰á»€TGS@‡Kê …`çÃÜÑ GE= `;|nÙ²ÕÅ×¥`ß?~'"„ h_†{9›…š�£cÜ©H]HD°òÊ H"´ÿ]³7FªQ®1¬ å¼À‰øß ­dY4^‡T/6½¤…ó6fàÃ$ÅyöfàòÐàIà-…·¦¢ÆK]—¥ãÛ–ëv.ct,§:ê ®…á)'!g2Á[Oñ‘)’@*N2…AâËq+ªiNäøA B˜ûÎd©<^­«ÁEؘ;p€\àì�·apàŠ –’Á….�+A[I ˆò©!f·„bۀȹÒoBj;£ã”η)·{©[Ô`o †`*¾‹§€A‚R�ª¨êmƉq�OcY/Î{!ãUH[:²X’PƒÁsÀÝqà‰æÞ7ºÙË›p €ÊÔ?a´ ,ª–q4z%èzœ˜R4Xe‰Q¤Ì�¸r‚–âÒCˆî¸ðc‚# ìS¸ô @!3ƒø¸ë¸ð¼³ïË=ï[˜Ð‹¶)ÁÁQÉÍDÏ%×é<\28�ª `¸©¼ ±�%ňó*w €FIL�í†À Gq J­4›À <,bÀ�)²F¤¢ø – ] À•OŒç1r·'_)—ͲP°ÜÖ-ÿëbx§Ó-gHpP¨·ÇRÜ/aˆE]„áÝ25& )rÛoœÓ¸¯f’p·�vÀiˆ Ô`ÈC˜è^RtÒâ ÒŽJƒb3dÔZ·êxuQnÌp½><¢!¸Þ'%` ž&ìhà\ ‹iIB¤n 1�¥8,y"wã2<0=6t¨Ì‹)�APÓ|9ŽRÓÑ%€%øýЛà9Eð˜˜æ çÔCd)Ÿ+ƒ‰·„2fƒyš${– !š’Æ i\iÈÑòP[~îÊÈžO$Ñ�¼LÙP†©¤9;l}C`=h|°RÈ2wãa›Á[lƃB¡l%™‡ïv‡°J„�ŠÌY¨:¨“š—¢Ò4Œ,�@ žj!+‡K²eÇQ’8�fJ½d„À§ÎãÓäˆL#‡=Ì'j ¡T.V8`0LÝ�éÆ û®öî:Cö(çÆpôÄ£Nðú¼”™£e° =eð´R‡�àyW �JOCŽ:÷‚Àa|<×2>z90¶Ýb³ TCŸ¨…7€¡ªÇ©JÇAdNðÄ£`Êìhž›âQL;Síì÷RÙðå†Ì¬srr9µ³JN§Á ë�'$yx@ƒ6¥¡,ÞHh+e(õ´ºÍÆKär°Ì×àˆ$JC KÍW)T`| #IÈ^è­À2~ƒy8xôè’3Z 1º÷”¯ïPü¨¸º©YÅe¥‡xÅ/Úåà—ø4’‰dßÅÂÆ«¬×ó§ieªàY‡ºN—t¨Åt`ŽwJ|ŸIâ÷ý¥§1p\úrÆWœ)eÛ¼‡êRìJ%˜èáwˆ74/YR]'©rÄ�WRëv˜ÄB!Û<5ý.Å€J™žÐé‘çŒð€& Ê•2ÖÆ l)¤'8äa ]1¿”ï[pÔLÒž†·£0¤<ðšÔ¦„pùöç -4Ì¥pû‚ÃÞ)h¦0‘‡;YFvÓ6žô‹wÒ¢–J‘ÀKþ šOH&wȉ˜K¯F\sÏS|[J�„@eS¦hïÄ�†}9 ¸^ò�Ç@{OÀKâ¹›ÙÄäes�“Û¬ík/8…’à‚CÆ­�Š�[Ÿ7T¢Î›jÃMŹÆÛ¼ò:î͘òèÿ_Ÿ‘•ç;é0I)‘Ò‘9¾+£!ˆB,‰ï°œ\ºM™&3ZµEýíˆgä”RßçÑžÙpÏ€IµÉ.§/�G–�obˆªðÞáVL|Vºf™ø ^!Å<Ö£”£ø}ai±Žy^ �ä<íïðGÜ—ãõTU ­½bô-Æ p9ñ/—4° ö$-Å-ÂOÑá­± 0fž”ƒKÆWGseÚÆøRÝ0´�ò¬Äi8f¼ÖZ—I9Ì�¼ØãY‘�â#ýIΆ\ ß.EZ!DA »4MöÕ4ñ~u—Ó‹[+TcÊýyq�G9¢ÃJVßÛ¶Åà‹8 ±7ñ�§ê\ÁëÔ Å�…añ©">­×R”7KÝ”¨tP¢l<˜3‰t˜Iô{ MÔú8>Äb‰õÄsL’B 匲)‚ŽWRON7ÈB¾(Tòó åè Ã]ˆHš©ö?Y�‹:jHZÒùÀB‘–ƒo×–&±è\Òh…,A‡¼ZΉ÷¼à 4Y×`¾ qýÅôíu²“ºü¥çžàƒ& s�¦x€Ï-¿iÂó¹d=q” c8Ê›þ–U8pu¼úŽHbÁ=ü„$å�I—D+�SU]`0-¼Ž.BZh ´Ø$îT4¤âr.ãvR°ïx\¾öPHôK�1Ô—À4õBž˜IŠ4ª0×jºq˶"äWÐCCKeb^NøÏ`¶ó]¯g„>ª¼O¸cÛ—]ÙÏBy\üQwÓu<íêá.BB¼ù<ÓsÀÌ<¼‘FïЬ' Ú™35ä„{8šy7^ô?—uÀÓ)BdNšÐŒ a êârýž„ˆ•£¸§Q—’Ê«_\×4ŽÜ�Ó¤UˆX¹/\¥jK5<1^¢Tep™D—>‰ãÝ%ÀÁ½¤B¯ƒ9^±%éd®” ñ|g% Ëýè“XÏIú´Oä_PE-..[�ø•*D@Ï| ~¬‡ Zvj¬ÿÊž{eV4;ýtøöéëí¶¿òxûSÿÓY™ýØÿû’ýüKñs?ÚÇÕÿ™<À|endstream endobj 12 0 obj 3564 endobj 16 0 obj [1 /XYZ 62.4599999 404.099999 0] endobj 15 0 obj << /Type /Page /Parent 2 0 R /Contents 17 0 R /Resources 19 0 R /Annots 20 0 R /MediaBox [0 0 612 792] >> endobj 19 0 obj << /ColorSpace << /PCSp 5 0 R /CSp /DeviceRGB /CSpg /DeviceGray >> /ExtGState << /GSa 4 0 R >> /Pattern << >> /Font << /F8 8 0 R /F7 7 0 R >> /XObject << >> >> endobj 20 0 obj [ ] endobj 17 0 obj << /Length 18 0 R /Filter /FlateDecode >> stream xœí]KoÛF¾ëWð\ —O( øÈ!@`=9NÓ"h‚º9äï—Ö+ê|¢¾ÙÑ,E+Š‘ØfDrwvžßÌξüõî÷ìϯÙË뻲‡Õ÷ë»Y~‘×ÝòO–÷_/¶/ÔÍE³ú±-ë‹bùãÃçÙcö8{;{Ûÿû8 ÍâÆÕ·þ?ׯÈ__¾Ì^._>[^¹»~Óÿô-+²×ýßOÙ»÷ýÅ«ç=}àól^æÕEžçEÙÿú÷ö¯]SµÕ¼¨«þz.}úð_³ß~ʾ< ¬¸h»:oºÕ·}B(ÃEòæ !?nn ‹¯í[£F�gó6Ïšª§t?—ÿ˜}|"È(³xÜsãÕýìåíüiqï?öÓ[pÈòÛ}¿JÙ‹ù¼Îî?d?÷k~Éî?õ×òÕ…¼[\¨¿_hä'æ‹ íæB(ä…+ñŒðjq¡Ûsaù–¾¿¦\\©6 >ù^ü¾žúJ¼>�Ó â5ù•|†œ ÐÌ4T¹Va.È ï…Ù…\ÞÂÇ~CÇ^Tò©”ªø^`šÛÅ…fÏ-ð ʼü¡’D™‰ç!\) *ˆŒ&'ŸÁéáÁB¨v€@”ÈŠ¡·R¸\^Ó�Á[ž ÕQ€¦\QsÆ¥"V,/¼ºÿŸ)Ž7c]^0³%s„âfà¯NWH-×â’ĨpRð>fËy^ ì©ê„Z…ÃHAŒ¥F†Ùâô©Ò‚�­„cß2Å]Îy¬`LW,;ä¾\’‹|Ø ºU‘"ÜßB , �OµC?ô&â=ƒ¯ XÊÝH1QºŒ;q”¨ dkœÌVk*^¨©§ çÚª�uù–òV<´Ê©êfPøA|dÀPTr²s‡• ¶Â•_ VnO¹‚áÞ'�”0°”èâÇ+º¢Žáþ(Ti `¨eMU „Œâ gÉË/®Šõ�€E'Mr.ª,¤}-näMhÙñ1@DÐ!×à€™’«™_RÍ.�Ep`Ñ*†mµ:{`6 (‚°â­!jDî…¢™ï7Þ¥Vàæ˜uÏÚY¸AªÎð½óS…ÃHgÓ2‡é� `p��K€ÃíFÔlhˆAŽŒŽ(Ã’GHcý€D\ùËPÉ�ñYª$ˆ³¦‚ÙÁd@g€ë’H£l °åÍÌ7ãv�iÖX‘¾V¬d|ª€Û©#éöDÙŽISiP€ Ið"šÄÇçH³0 ð” ? 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