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resolution = 1024 * 768 DP_STAGE_TILTED Stage Tilt = in X DP_Z1 Zone 1 = Live DP_Z0 Zone 0 = Live DP_FREEZE_STATUS Freeze = Idle DP_FREEZE_ON Freeze on = Command DP_CHANNEL Display = 0 DP_RIGHT_FROZEN Right Frozen = No DP_TILTED Stage Tilted = Yes DP_VENT_INVALID_REASON Vent inhibit = Beam Present DP_SCINT Scint. = On DP_SCAN_ROT Scan Rot = On DP_TILT_CORRECTION Tilt Corrn. = Off DP_IMPLIED_INVERT Invert B = Off DP_IMPLIED_DETECTOR Signal B = InLens DP_MAIN_DETECTOR Control = Signal A DP_COLUMN_ISOLATED Column Isolated = No DP_SCM_RANGE SCM range = 3->10 pA DP_EXT_SCAN_CONTROL Ext.Scan Control = Off DP_ALL_ZONES All Zones = Off DP_MAG_RANGE Mag Range = 3 DP_LOW_MAG Low Mag = Off DP_FROZEN Image = Live DP_LUT_MODE Display LUT mode = Normal DP_FREEZE_BLANKS Freeze Blanks = Yes DP_IMAGE_DETECT Image Detect = Black DP_CROSSHAIRS Crosshairs = Off DP_FIXED_APERTURE VP Aperture = Yes DP_TRACK_Z Track Z = On DP_SEM Sem = Supra 40 VP DP_USER_MAG_CAL User Calibration = Off DP_INPUT_LUT_MODE Input LUT Mode = Transparent DP_DWELL_TIME Dwell Time = 100 ns DP_USER User = Busy DP_SCM_STATUS SCM Status = Off DP_USE_REF_MAG Reference Mag = Polaroid 545 DP_BSD_AUTO BSD Auto Range = Off DP_ELECTRON_COUNTING Electron Counting = Off DP_HIGH_CURRENT High Current = Off DP_DUAL_MONITOR Dual Monitor = Off DP_MAINS_SYNC Mains Sync = Single Edge DP_FAST_MODE Fast Mode = Off DP_PELTIER Peltier = Off DP_IMAGE_SAVED Image saved = No DP_STEM_AUTO STEM Auto = Off DP_STEM_GAIN STEM Gain = Low DP_STEM_FAST STEM Fast = No DP_STEM_Q3 STEM Q3 = Off DP_STEM_Q2 STEM Q2 = Off DP_STEM_Q1 STEM Q1 = Off DP_LARGE_BEAMSHIFT Large Beam Shift = Off DP_USER_LEVEL User Level = Expert DP_QUATTRO_BANDWIDTH BSD Bandwidth = DC DP_USER_ALIGN User Align = On DP_COLOUR_MODE Colour Mode = Off DP_RECIPE Recipe = Idle DP_SI_NOISE_REDUCTION SmartImage Noise Reduction = Off DP_BSD_FAST_SCAN BSD Fast Scan = Off DP_SCD_BANDWIDTH SCD Bandwidth = DC DP_SCD_AUTO SCD Auto Range = Off DP_SCD_GAIN SCD Gain = Low DP_OPTIPROBE OptiProbe = Off DP_4QBSD_Q5 Q5 = Off DP_JAZZ_GAIN Jazz Gain = Low DP_JAZZ_BANDWIDTH Jazz Bandwidth = Low DP_CC_ON_GIS_CHANNEL GIS Channel with CC = None DP_RUNUPSTATE Beam State = Beam On DP_OPERATING_MODE Operating Mode = Normal DP_SCANRATE Scan Speed = 8 DP_STEM_SEG_MODE STEM Seg. Mode = Off DP_VACSTATUS Vac Status = Ready DP_COLUMN_PUMPING Column pumping = Ready DP_NOISE_REDUCTION Noise Reduction = Frame Avg DP_LEFT_FROZEN All Frozen = No DP_CC_STATUS CC Status = Off DP_OUT_TYPE Output To = Default Printer DP_VAC_MODE Vacuum Mode = High Vacuum AP_C3 C3 Lens I = 739.41 mA AP_SCANROTATION Scan Rotation = 351.0 ° AP_WD WD = 6.0 mm AP_MAG Mag = 59.45 K X AP_BRIGHTNESS Brightness = 43.9 % AP_MANUALKV EHT Target = 3.00 kV AP_IPROBE I Probe = 200.0 nA AP_FRAME_TIME Cycle Time = 10.2 Secs AP_TILT_ANGLE Tilt Angle = 0.0 ° AP_TILT_AXIS Tilt Axis = 90.0 ° AP_STIG_X Stigmation X = -10.5 % AP_APERTURESIZE Aperture Size = 30.00 µm AP_BEAMSHIFT_Y Beam Shift Y = 45.9 % AP_BEAMSHIFT_X Beam Shift X = -15.4 % AP_RED_RASTER_H Red.Raster Height = 176 AP_RED_RASTER_W Red.Raster Width = 208 AP_RED_RASTER_POSN_Y Red.Raster Posn Y = 82 AP_RED_RASTER_POSN_X Red.Raster Posn X = 494 AP_ZOOM_FACTOR Zoom factor = 2.000 AP_STIG_Y Stigmation Y = 10.2 % AP_PPB_3 Pb 4 = 0.0 ° AP_PPB_2 Pb 3 = 0.0 ° AP_PPB_1 Pb 2 = 0.0 ° AP_PPB_0 Pb 1 = 0.0 ° AP_PPA_3 Pa 4 = 0.00 nm AP_PPA_2 Pa 3 = 0.00 nm AP_PPA_1 Pa 2 = 0.00 nm AP_PPA_0 Pa 1 = 0.00 nm AP_RADIAL_3 Da 4 = 0.00 nm AP_RADIAL_2 Da 3 = 0.00 nm AP_RADIAL_1 Da 2 = 0.00 nm AP_RADIAL_0 Da 1 = 0.00 nm AP_ANGULAR_1 Aa 2 = 0.0 ° AP_ANGULAR_0 Aa 1 = 0.0 ° AP_STAGE_FIELDS_Y Stage fields Y = 1 AP_STAGE_FIELDS_X Stage fields X = 1 AP_STAGE_GOTO_Z Stage goto Z = 46.312 mm AP_STAGE_GOTO_Y Stage goto Y = 85.054 mm AP_STAGE_GOTO_X Stage goto X = 69.699 mm AP_PROFILE_W Profile width = 0.00 nm AP_PIXEL_SIZE Pixel Size = 1.878 nm AP_COLUMN_VAC Gun Vacuum = 1.78e-010 Torr AP_SYSTEM_VAC System Vacuum = 2.33e-006 Torr AP_STAGE_LOW_Z Stage low Z = 0.000 mm AP_STAGE_LOW_Y Stage low Y = 0.000 mm AP_STAGE_LOW_X Stage low X = 0.000 mm AP_STAGE_HIGH_Z Stage high Z = 50.000 mm AP_STAGE_HIGH_Y Stage high Y = 130.000 mm AP_STAGE_HIGH_X Stage high X = 130.000 mm AP_STAGE_AT_FIELD_Y Stage at field Y = 1 AP_STAGE_AT_FIELD_X Stage at field X = 1 AP_STAGE_GOTO_FIELD_Y Stage goto field Y = 1 AP_STAGE_GOTO_FIELD_X Stage goto field X = 1 AP_STAGE_FIELD_SIZE_Y Stage field size Y = 0.000 mm AP_STAGE_FIELD_SIZE_X Stage field size X = 0.000 mm AP_CONTRAST Contrast = 50.4 % AP_OFFSET Offset A = 0.0 % AP_GAIN Gain A = 100.0 % AP_GAMMA Gamma = 1.000 AP_LINE_INT_COUNT Line int. count = 1 AP_FRAME_INT_COUNT Frames to Int. = 0 AP_FRAME_AVERAGE_COUNT Frames to average = 1 AP_K2 Mix Signal = 0.0000 AP_K1 Signal = 1.000 AP_SCM Specimen I = 0 fA AP_MAG1 Mag Z1 = 1.000 AP_MAG0 Mag Z0 = 1.000 AP_COLLECTOR_BIAS Collector Bias = 300 V AP_IMPLIED_OFFSET Offset B = 0.0 % AP_IMPLIED_GAIN Gain B = 100.0 % AP_FILAMENT_AGE Filament Age = 1251.31 Hours AP_BEAM_OFFSET_Y Beam Offset Y = 5.447 µm AP_BEAM_OFFSET_X Beam Offset X = -1.78 µm AP_HEIGHT Height = 1.442 µm AP_WIDTH Width = 1.923 µm AP_ALIAS_WD Focus = 6.0 mm AP_MINMAG Min Mag = 22 X AP_NR_COEFF N = 1 AP_LINE_AVERAGE_COUNT Line Avg.Count = 2 AP_PHOTO_NUMBER Photo No. = 317 AP_FIELD_OVERLAP Field Overlap = 0.0 % AP_MIN_WD Focus scan min = 1 mm AP_MAX_WD Focus scan max = 40 mm AP_AREA_FRACTION Area Fraction = 0.0 % AP_WHITE_DETECT White Threshold = 100.0 % AP_BLACK_DETECT Black Threshold = 0.0 % AP_STAGE_GOTO_T Stage goto T = 30.0 ° AP_STAGE_GOTO_R Stage goto R = 333.1 ° AP_BEAM_TIME Beam Time = 13834.40 Hours AP_HCSTAGE_TEMP Peltier Temp = 20.0 °C AP_EXTCURRENT Extractor I = 170.00 µA AP_MANUALEXT Extractor V Target = 4.56 kV AP_APERTURE_ALIGN_Y Aperture Align Y = 1.0 % AP_APERTURE_ALIGN_X Aperture Align X = 0.7 % AP_CHAMBER_PRESSURE Chamber = 3.11e-004 Pa AP_HP_TARGET VP Target = 1 Pa AP_STAGE_GOTO_M Stage goto M = 0.000 mm AP_CURSOR_HEIGHT Cursor Height = 0.00 nm AP_CURSOR_WIDTH Cursor Width = 0.00 nm AP_PPA_5 Pa 6 = 0.00 nm AP_PPA_4 Pa 5 = 0.00 nm AP_PROFILE_W2 Profile Width 2 = 0.00 nm AP_PROFILE_W1 Profile Width 1 = 0.00 nm AP_H_5 H 6 = 0.00 nm AP_H_4 H 5 = 0.00 nm AP_H_3 H 4 = 0.00 nm AP_H_2 H 3 = 0.00 nm AP_H_1 H 2 = 0.00 nm AP_H_0 H 1 = 0.00 nm AP_PPB_6 Pb 7 = 0.0 ° AP_PPB_5 Pb 6 = 0.0 ° AP_PPB_4 Pb 5 = 0.0 ° AP_PPA_9 Pa 10 = 0.00 nm AP_PPA_8 Pa 9 = 0.00 nm AP_PPA_7 Pa 8 = 0.00 nm AP_PPA_6 Pa 7 = 0.00 nm AP_FCF_SETTING FCF Setting = 0.0 % AP_V_9 V 10 = 0.00 nm AP_V_8 V 9 = 0.00 nm AP_V_7 V 8 = 0.00 nm AP_V_6 V 7 = 0.00 nm AP_V_5 V 6 = 0.00 nm AP_V_4 V 5 = 0.00 nm AP_V_3 V 4 = 0.00 nm AP_V_2 V 3 = 0.00 nm AP_V_1 V 2 = 0.00 nm AP_V_0 V 1 = 0.00 nm AP_H_9 H 10 = 0.00 nm AP_H_8 H 9 = 0.00 nm AP_H_7 H 8 = 0.00 nm AP_H_6 H 7 = 0.00 nm AP_STAGE_DELTA_M Stage Delta M = 0.000 mm AP_STAGE_DELTA_R Stage Delta R = 0.0 ° AP_STAGE_DELTA_T Stage Delta T = 0.0 ° AP_STAGE_DELTA_Z Stage Delta Z = 0.000 mm AP_STAGE_DELTA_Y Stage Delta Y = 0.000 mm AP_STAGE_DELTA_X Stage Delta X = 0.000 mm AP_SPACER_THICKNESS Spacer Thickness = 0.000 mm AP_SAMPLE_HEIGHT Compu. Height = 0.000 mm AP_IMAGE_PIXEL_SIZE Image Pixel Size = 1.878 nm AP_RADIAL_AREA_1 Db 2 = 0. nm² AP_RADIAL_AREA_0 Db 1 = 0. nm² AP_USER_MAX_EHT User Max EHT = 30.00 kV AP_PROF2_X2 Profile 2 X2 = 0 AP_PROF2_X1 Profile 2 X1 = 0 AP_PROF1_X2 Profile 1 X2 = 0 AP_PROF1_X1 Profile 1 X1 = 0 AP_CCD_ILLUMINATION CCD Illum. = 85.0 % AP_RADIAL_AREA_3 Db 4 = 0. nm² AP_RADIAL_AREA_2 Db 3 = 0. nm² AP_PRINT_NUMBER Print No. = 0 AP_FILE_NUMBER File No = 12305 AP_SPECIMEN_HEIGHT Specimen Height = 1 mm AP_ESD_EXCITATION ESD Excitation = 0.0 % AP_STAGE_LOW_R Stage low R = -380.0 ° AP_STAGE_HIGH_R Stage high R = 380.0 ° AP_FRAME_COUNTER Frame Counter = 60422 AP_PELTIER_TARGET Peltier Target = 20.0 °C AP_SEM_LEVEL_AT_TILT SEM Level @ = 0.0 ° AP_DC_MAX_ATTEMPTS Drift Max Tries = 10 AP_DC_MIN_CONF Drift Min Conf = 50.0 % AP_DC_MAX_PIX_ERROR Drift Max.Pix.Error = 1 AP_VAC_READY_AT Vac Ready @ = 1.50e-005 Torr AP_DEFECT_ID Defect ID = 0 AP_HOLDER_HEIGHT Holder Height = 13.700 mm AP_HOLDER_LENGTH Holder Length = 20.000 mm AP_HOLDER_WIDTH Holder Width = 20.000 mm AP_HOLDER_DIAMETER Holder Diameter = 50.000 mm AP_SI_FACTOR SmartImage Sharpening = 0.0 % AP_SI_THRESHOLD SmartImage Threshold = 0.0 % AP_SI_ENHANCEMENT SmartImage Contrast = 0.0 % AP_LASER_FINDER_ILLUM Laser Illumination = 0.0 % AP_SI_TOPOGRAPHY SmartImage Topography = 0.0 % AP_SPECIMEN_DIAMETER Specimen Diameter = 50 mm AP_CC_PRESSURE CC Pressure = 0.0 % AP_JAZZ_BACK_GRID Back Grid = 0 V AP_JAZZ_FRONT_GRID Front Grid = 0 V AP_STAGE_AT_Z Stage at Z = 46.312 mm AP_STAGE_AT_Y Stage at Y = 85.0544 mm AP_STAGE_AT_X Stage at X = 69.6992 mm AP_SAMPLE_AT_Y Sample at Y = 0.0000 AP_SAMPLE_AT_X Sample at X = 0.0000 AP_STAGE_AT_T Stage at T = 30.0 ° AP_STAGE_AT_R Stage at R = 333.1 ° AP_ACTUALCURRENT Fil I = 2.400 A AP_ACTUALKV EHT = 3.00 kV AP_STAGE_AT_M Stage at M = 0.000 mm AP_DATE Date :13 Sep 2016 AP_TIME Time :13:21:24 SV_SAMPLE_ID Sample ID = SV_IMAGE_PATH Images = C:\Program Files\Carl Zeiss SMT Ltd\SmartSEM\Images\images3\jwc\G118_FailureAnalysis\ SV_VERSION Version = V05.04.00.00 : 08-May-09 SV_SERIAL_NUMBER Serial No. = SUPRA 40VP-25-05 SV_USER_TEXT User Text = SV_OPERATOR Operator = SV_USER_NAME User Name = JWC SV_FILE_NAME File Name = Gap_60K_Tilt.tif ÿÛC    $.' ",#(7),01444'9=82<.342ÿÀ ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÚ?àÚà´xãå#8ïïúþ”å”±RªKc®{ÇZ�–Œ€€“Ãm�Ïôëõ«h¬¯±NœŒŽ�³þzâ­ ˆ¦ã½¤ ’Qéœt>Ýÿ*�S¿vNîNÏð’Gž„¶Óœ¯œuÏOåþÌ yárO_~~‡ÿ×NX‚M†rªN'¶?éíL•y903‚xÇ\t>Õ †B«æ(U`FIdöÅEòüÃ�Ì>özdcòëÇù æ…,S*3‚3×±éùTfrA]„r˜<ç¯åÓüŠ˜…ùàãàdtÆqÈãŠp`ÃæÀ ð¸ë×ß®i¢ažæ'¹è}ý?É©ã%Bçw%GA�éV 3¼£žœþ¼óS¢+8IX ðK` ç<�N*Äq,qWUaŒ•ãp{ÿ�¥ZÙµö¯~™ þŸ�ÿª¦r¬ß/ð�÷€ÿ?J–mç$¸9äät÷ëÓá Ž=®ˆÅWn9<ç§éúæ•”(@B•Üm'8úûç�C0'æ¶Ñ�œíÆOz¢ì|²#N­Ü‚À}qõüꬳÆ7ìWyS¸G~˜ÇéUŸ I$èp:Ïš¯Ö6sµ¶’GÏõägüõõªãÁ$&qӟ㚉œ܈԰Î61Žàc¾?Î*O3(¸Vm¼HÏéÓüñG&>T|¤òr;ž3Î1ùÓW.ÌFIqÂÃüçôÅ=NÿÞFÀ¯Þ98ÇùÿZ°‡æU%X/u9çü*º§Ì7<ŽH÷ãÞ­Å 37–OÉÏ=ð=øÇ|{ÓÅÞAÉ_å y z}?�9§*…ýÊsŸCëMy$ÎL‡g# ìr9´¥Ÿ…à pK1àzûõ¤pß30-|Øä™î=¨¨Ë[p@XÃd~'Ô‘Š‰‚´Ëœ`çàÜâŸÂ0Rì3ë“Ééþ})ÑîPY”¨<0'<ñ޽ù«H ÞcrrG!�AëþsVDUS‚€œŸ_N½ÏaYÄŠ»yÆ:Œgÿ­O ˜9QÎ@BsÏN}1èsCÝåyx}œíïú~}zw¥!WnÒ .[È'?QúÔLd+’òF3ÐgóíQv_æ`8ãäzÿ…C)urÅ÷e�'žßŸÿZ›7˜™9OM¸`G®Éæ¢iV*7 ¹Ï¿®qúzÓ 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