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Schematic of the FBGL accelerometer structure ¡89 "0"C0ª*   . @  ¦ ðÔÐðð¼ ð  £ ðVï€pÝ…‡¿¿ÿ?€Ã¿Rectangle 79ðQ ð6Ÿª @¦ ðÔÐðð ¢ ð  à ð\ï€ÐÜ�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 7ð-@€(€/ ð�Ÿ¨Analytical formulation:¡$ <<ª  ¦ ðÔÐðð¼ ð  £ ðVï€0Ü…‡¿¿ÿ?€Ã¿Rectangle 82ðQ ð6Ÿª @¦ ðÔÐððÂKðx ð|¾@6Rà1íþ² ðC ð*á€Ã¿Group 86"ñð€1@@&€Lð|² ð “ ðL€ûA?¿À°ðÿ?€Ã¿Picture 83ð@·S@6Rà1íÐà~ð|² ð “ ðL€ûA ?¿À `ÿ?€Ã¿Picture 85ðœic½ÝêÔâþ²ð|² ð “ ðL€ûA ?¿Àÿ?€Ã¿Picture 86ð\QnmªµÐrÿÏð|² ð “ ðL€ûA ?¿À°Pÿ?€Ã¿Picture 87ðà’}€¬†>߬\¥ðƒð€ ðÍØM`à Q˜5| ðC ð*á€Ã¿Group 65"ñðÍØM`à Q˜5|ð  ð$ “ ðP€ è2‡¿¿Ë8cÿ€Ã¿Rectangle 63#"ñÀÿ@©Ã´PK!ð÷Š»ýâ[Content_Types].xml”‘ÍJÄ0Çï‚ïæ*mªiº«G]`H¦mØ6 ™XwßÞt?.â gæÿñ#©WÛi3E¶Þ)¸.+ä´7Öõ >ÖOÅNè ŽÞ‘‚1¬šË‹z½ Ä"»+R ÷R²hB.} —/��¦<Æ^ÔìIÞTÕ­ÔÞ%r©HK4uK~ŽIñïö·0©™²xŽÖM Š¢eçã`àë|X}€’‚ÑáÄ‘ ÜI`ß½¿íN4a©G2ú$ªR¢KIŸZ‹) 4œ(ÖMÏ9`©ctB{Á�ô¦m·:ÿf@·`ª£3��nê|OÕü‡¼Í,Ü—ÆrÐÜ÷Þ¾¢jÇ×x¢¹R0T ¸,Ï0ÓÜÔç@¿ö®ÿé•}WþBüL«õǬ5vÿÿPK!ÜÙÃOw drs/shapexml.xmlìVÛn1}¯Ô°üZ¥ „¬²‰’Ji+E és5x½Á�×^Ù†B¾¾Çö’KoªJ¤¾”˜]�gΜ¹q|ºn4[Iç•5%ßÛçLa+enKþéæbo™d*ÒÖÈ’o¤ç§'¯_·…o._´%_„нž Ù�k[ipV[×PÀ£»íµNzi8jtoÐï�{ )ÃO`ʬfíÔEI\­¦Ž©ªäãg†ø¼–nµdã!ïuZñB’ .@è=µâ“5*Öµk:�ô' +G_ùwø¨°uÍÖ g4˜Œ‡GœmJ>ö'“£áaD…\& 1L†�( ²? 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Meshed configuration of the structure¡(0 "("ª0  ¦ ðÔÐððh¢ ð à ð^í�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 26ð]À<Q¶ ðÚŸ¨PFigure 3. First resonance mode of the accelerometer with 30 mm length cantilever¡(Q "I"ª*   F @  ¦ ðÔÐðð*¢ ð à ð^ï€ðÚ�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 26ð-À*€:Y/ 𜟨.Figure 4. Experimental setup and block diagram¡(/ "'"ª/  ¦ ðÔÐðð~¢ ð à ð^Þ�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 26ð-?ÀN€1 ððŸ¨LFigure 5. Comparison between COMSOL, analytical and experimental results. ¡BM ""B"ª*   B @  ¦ ðÔÐðð< ð c ð$�ƒ¿ÿ ?ð ÿÿÿøøøÝÝݲ²²___‘‘‘ˆ�Š•º___PPT10‹uë.Â˰�W>+Dñ='ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ +"ðyñ{f ùðñðððÙð( ð ðð  ð “ ðÊ…ï�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿€�ÿÿÿ‚¿ÀÁÄÌÖÿ ?€Ã4¿Slide Image Placeholder 1ð°Fš ðà  “fðn ð ³ ðÊï€é2�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿€�ÿÿÿ‚¿ÀÁÄË5%ÌÖÿ ?€Ã(¿Notes Placeholder 2ð° °0Ððà  “f ð\Ÿ¡ ª ¦ðÔ Ð@ð`€ð¢ ð “ ðlï€På2‡¿¿ÿ?€Ã6¿Slide Number Placeholder 3ð_� ßð  ðlŸ *¡  ت  ¦ ðÔÐðð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.²äÌà ¦8rP¿‘¡'Ý(dõ’©hdþÿà…ŸòùOh«‘+'³Ù0dâ X`l x„ ¨ ´ ÀÌÔä1Microsoft Office PowerPoint@@`'»9²äÌ@�õRuOÔ¢Gˆáÿÿÿÿì ;  ¼p¡p  @¡pA 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