%PDF-1.4 1 0 obj << /Title (þÿImplementation of Time-based 3-axis Capacitive Accelerometer Using COMSOL Multiphysics®) /Creator (þÿwkhtmltopdf 0.12.3) /Producer (þÿQt 4.8.7) /CreationDate (D:20181211170525+05'30') >> endobj 3 0 obj << /Type /ExtGState /SA true /SM 0.02 /ca 1.0 /CA 1.0 /AIS false /SMask /None>> endobj 4 0 obj [/Pattern /DeviceRGB] endobj 8 0 obj << /Type /XObject /Subtype /Image /Width 388 /Height 292 /BitsPerComponent 8 /ColorSpace /DeviceRGB /Length 9 0 R /Filter /DCTDecode >> stream ÿØÿàJFIF``ÿÛC      ÿÛC  ÿÀ$„"ÿÄ ÿĵ}!1AQa"q2�‘¡#B±ÁRÑð$3br‚ %&'()*456789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyzƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚáâãäåæçèéêñòóôõö÷øùúÿÄ ÿĵw!1AQaq"2�B‘¡±Á #3RðbrÑ $4á%ñ&'()*56789:CDEFGHIJSTUVWXYZcdefghijstuvwxyz‚ƒ„…†‡ˆ‰Š’“”•–—˜™š¢£¤¥¦§¨©ª²³´µ¶·¸¹ºÂÃÄÅÆÇÈÉÊÒÓÔÕÖרÙÚâãäåæçèéêòóôõö÷øùúÿÚ ?ýü¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¢Š(¯�õoø*eÇ�ÿi߉ú?Š|!âm#áçÃíWNð¥¥Ì¼½Ô5ýfôZ˜V‰Êßí*1;+$›•NÚû"¼WÄ¿±&‡âkšäºÆ¯úï�ôoËöGs¦[ÛA+•Ï–ëj…³óe›q@õ÷üá~‰ñIð¾¬À>ô’ÀªJç8<^ àÏø*/Š5-#â’Ú'ÿøÇÃZÞ‰á­*o ë×/¢Üêš­ÛÚ¥�Ô“À²ÂöÅ<éYQÃDË·çÊ}ðìAà_„:�æ§á!â�[¸±šÊé¼M©jdóbÃy<ÐR£<�BAà¯ÿà›xâ?jž5ø›ãOxãZƒL·°ñ*ÚéúmÆ�ý›xo¬žÚ{u„È—$»4«&ñò• �û'üyñÅëh^5Ñt�Æÿ5¿ìMb-&ñîôë¢ö°]Áqnò">Ç‚æ<«¨e`ã$N‡íñâ÷öfý�üCã]?D> »Òº¥³<‘Öâ8ZâvŽ9$[xC4¬‘»âr‘Nýšg(¿g�]ûOˆµŸø—ź«ëZö½ª$1ÜjWF( \G $QG0ÅFŠTI$õ?¼'«xßÀ·Úf…â}GÁº­ÆÃo«ØÛ[\ÏhUÕŽ#¸ŽH˜0He<1Áx÷ìíûeøGÂW+×~ë·ž=ñ¾Ðo~êSêÚdÓGa=ë$Ï")†EŽÖ|ƒžB `7Uÿ‚”x h:>•¤xûÅω®l¬4_Íy1M/Rþͽ’LacD¸À ì)g VðLø Ò®µEø—âèþ%]xªßÆÆØi°ËìiÊ«f¶â×Ê6sMŒ³ ,_ìÓûhÿ³V¿áýN×Äþ$ñ ö�¥kZY¸Õ–ûûSW¬óJcEA0Ú6€»Iã4ã¿ÿà­z×ìÿyñCâG€üeáÿ jÕý¾š–ºgÒtûW*n/eiYdÈ-¯Ì’ª£ye�»�ÛwÁÚŸÆ=?ÁZŸŠ¼Wyu¥Í楢èÓ]éZ$Wqù¶ÏwtŽ/2,HIÊÌXã¿àŽ>ø·ð·ÁÞ¸ñf¿okácKI%Ó´í@Oo©ÏçÎËÕ¼±Ãp��ÄJ²"îù«ÐþþÂ?ð¦üq¦j^ø‡â½Hm;LÓüE¢{+›?ÿgÙÇg ÎÒÂÒA#AqÈ`u±§Œ� ¿ à¨ß þ,ëú®Ÿ¢ÝøŠåì´«ÍsN•tYݨ<�÷:”ÑÚi·FÒóPe‰I‰:”ËBÀø4°ÿÁO~ß|UƒÂöOâ�F¯´­9üAi¡\M Ûͪ[Ûϧ,—�|µûBÜÀ¨¿"†Û‘šzïüsK°ð¿ƒl| ã¿|7½ðŸ…�‚åÔ4u´š}[Kb¬é0¸†EùŠdYÐ+«Ë!çv*þ‹ÿåðw…¼ªxoHÔ5};E¿ñ†5è-Ñ‘þÅý‚ºbÚÛ©`IG].å²Ç{àŽ0OöÃýº¯eÚKàï†'Ðlo<ãÉ/Gˆõ©®Ì2xv$žÂÒÚp¸Úѵޡn’eج[±®ögÿ‚¥^|xÔn/5mI🇧ø…?‡tYd[‹Éõ­ûãX¶½;òË "\0dòþQ—uǼ|yý�|ûKxÊÒÿÆV§ZÒ#ðαáKÍuÏR³Ô¤²y¼Ì|á—ìQ…*ÃØõŽnÛþ ýá}'⾿¥êz®Ž,|Moâ[+;5‰ ±x<8úPF œF¶ïæ ä‡Eþ–€0ü/ÿVøaâ¿��ñ+_ÛxnêúÛMÑd¸Ñ%ñ<÷ ï X¦OšY˜ƒ´¢‚\(棰ÿ‚±ü)ñ¡á ?D�Åþ!Öü`×I“¦è’M}¦›[•µ¹Q’64S0VU,Øù€+†<}ßü‹Áž!Ò3¸îU¹Ç™ÛÿÁU|; ê?ÛÅ~ø�áÝᇉ¬ü7ý«ý‡-Ô´·m§Åıƒ!™¦Ô#ýÐR|½¯Ÿ›hïÿmØÚßöÌð ·†¯üQ} éeŠöÞ=#MÔÒö9!`/mæ0̃>\Ñd,Çž1ÌÃÿåÓl/µ«[Ox©<-­kžñ3èÓ¥¼þV¥¤M¦¼s‹–�Ïo94»t‘]˜|Ò0Ãâø*�Âÿø«KÑuè|] jKfÚ¢_èÏð³^>ËTÔNH·iIR͵]Y¶©¢Oø*ï§ð�#øk'Ä¿5™–ê]ÌGd±¤1ªî™¤¸¼Ú£•‚B#»¥ÿÁVþ_x¢MïEø›¢_Xj¶šN²5?^ZÇáǼtKo]—l1\´ˆ#|ž§pLgxkþ {¦Øü9ñ?„µOj7úV¥à�øJºX/´ý;I�ŽænQ¥žâI$bW>Zï~%~ÃÚÄÛï‰SÝk:Å»|M»Ð®ïDBé¾*Ò­5K LÌ©o©[ýžîŠg…ÖHòv�ñ·Ï®:PWEPEPEPEPEPEPEPEPEPE#¸� 1 ª2I8VU��t=N--íµ�*å5ÈÚm4Åw�Ew³CƒûÀ‚JçšÖ¢¼ÃÀ?¶�~!|>ñ�Šb¿Ôt}ÀW3[k“kz]Δö&(#¸g1Ü"9C ±º°\0aŒ×âÿÛ“NñÀÏø£ÀB7Ö|+€¢ªh:Ä^!Ðì¯àex/ KˆÙNC+¨`AÀãÐUº(¢Š(¢¨xÄÖ>)·¸–Âán#µ¹–ÎR%‰ÊH¼ŽÌôâ€/ÑEQEQEQEQEQEQEQEQ^Uûn~Õºgì=û,xÃâ¶µ¤êZæ—àÛhî®,tö�nnçŽ!�ªääŽ�kóÃþ"íø/œ¨øÇÿ~´¿þL¬*âhÒ²«$¯ÝØôòü“0Ç©KBuwå‹•¯µì{ïÇ_|g¼ý±oï¼=mñ;þ ñ˜Þ-Ó­µ š¦§|qq¤|èô¤o³}²5t2ì—Ê\ Ľ†«â? 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