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Vpi :pull-in voltage, k: spring constant of movable plate, ¬ 0:permittivity of free space, A: beam area, d0: distance between movable and fixed plates . ¡0å( C,ÐC,ª å¦øÔ Ð@ð`€ð"¢ ð à ð^�`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 15ðÀÀ*€L8 𔟨 Results: ¡> ( C,C,C<ª ¦øÔ Ð@ð`€ð¢ ð à ð^ï€XŽ`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 22ð@SÀ*ÀNº[ ð‰Ÿ¨Conclusions: Pull-in voltage of cantilever of designed dimensions could be obtained from COMSOL simulation. Frequencies for different mobile applications can be attained by integrating cantilever switch of low insertion loss and high isolation with the antenna structure.¡.  C,C,ª ¦øÔ Ð@ð`€ð½¢ ð à ð^ï€X…`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 23ðí^À*ÀNåhð\ˆTŠLº___PPT9‹.¬& ðËŸ¨íReferences: Greg H.Huff and Jennifer T.Bernhard, Integration of Packaged RF MEMS Switches with Radiation Pattern Reconfigurable Square Spiral Microstrip Antennas, IEEE Transactions on Antennas and Propagation, Vol.54, No.2, page 464-469 ¡t  á   c<c<ác(c(ª&   à  ¦ùÌ Äe Í å3J˜ð/¢ ð à ð^…`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 24ðÀNÀ$RP 𡟨-Figure 2. Simulated cantilever beam in COMSOL¡(.( $&$ª .¦øÔ Ð@ð`€ð€¢ ð à ð^ï€ø�`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 25ð@&À*BIz+ ðòŸ¨vFigure 3. S11 for switches in off state S11:-30.5 db at 1.8 GHz (GSM frequency) : -40.9 db at 5.4 GHz (Wifi frequency)¡0w( C,oC,ª w¦øÔ Ð@ð`€ðE¢ ð à ð^`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿ÿ?€Ã¿TextBox 33ðû*À$Ø. 𷟨CFigure 1. Frequency reconfigurable antenna with cantilever switches¡(D( 0<0ª D¦øÔ Ð@ð`€ðt² ð “ ðL€ûA?¿ÿ??€Ã¿Picture 12ðÀ3À@€:ðt² ð “ ðL€ûA?¿ÿ??€Ã¿Picture 13ð€CÀ¨!ÀNðM¢ ð ƒ ðH‡`¿¿ÿ?€Ã¿Text Box 14ð@S€$S\ ðÕŸ¨sCantilever beam dimensions: Length: 300 µm, width:20 µm, thickness: 200 nm, air gap: 2 µm, pull-in voltage: 6.1 V ¡4t(",K¢,‚<ª tð†² ð  “ ðJáA Røÿÿ 2?¿ÿ€Ã¿Object 15ðZ À!€gð Á 2ð`¢ ð ã ðjŽ`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿Öÿ??€Ã¿TextBox 24ð€g@$lj ðÆŸ¨JFigure 3. Displacement of cantilever tip as a function of applied voltage.¡0K( C$CC$ª K¦øÔ Ð@ð`€ð±¢ ð ã ðjï€Ø‰`�#e‚’²ƒ#e„’²¿¿Öÿ??€Ã¿TextBox 25ðHÀ*BIäN 🨛Figure 4. S11 for switches in on state S11:-12 db at 2.4 GHz (Wifi frequency) : -21 db at 3.26 GHz (WiMaX frequency) : -15.5 db at 5.6 GHz (Wifi frequency)¡0œ( C,”C,ª œ¦øÔ Ð@ð`€ðl² ð ƒ ðD€ûA?¿ÿ?€Ã¿Picture 1ðú ¨!“*ðl² ð ƒ ðD€ûA?¿ÿ?€Ã¿Picture 3ð -H$ðl² ð ƒ ðD€ûA?¿ÿ?€Ã¿Picture 4ðÌ/,H0Dðl² ð ƒ ðD€ûA?¿ÿ?€Ã¿Picture 1ðÀaF#Ln ð6 ð S ð�ƒ¿ÿ?ð ÿÿÿøøøÝÝݲ²²___‘‘‘"<‘dxœì}`W¶¶³Ùýß¾Ý}e÷½Ý·åm{› ½c0HH ’�Ƙnz !Bo¡w„Þ;„ÞB6¦ãnã‚›\%¹ËEnêeþotðì #É*¶u¿ø#Òh4çÎè~sn9sn\ì/¥G¯ü^æc…>>/û˜¹õù¢mÿ¾Tóæ?}|~ôô½™ã¸šÍ?òßÛ�€AŽ¡QÂî{‰~CóÓ÷5ü)~Ãþüøo࿃ÿAUÀç—à¯Àÿÿü5øðÀß‚¿þü_ð�àŸÀ?ƒÿ þø7ððïà«` °%Ø l ¶Û‚íÀö`°#Ø ì v»‚¾`7°;èö{‚¯�½ÀÞ–ºíãó:øØ|| ìö߀ÁwÀAà»à{à`ð}ððCpøø18ýÁ`8 G�£Á1àXp8œ�ÁIàdp 8œN?g€3ÁOÁÏÀYàçààlp8üœÎ€ ÁEàbp ¸\.·”ý3ü7¿EwŽÅÃvüj¯©Küýàg¸oð¸G¿ýÌÎÿ˜œÿãÄ—,{<½‘¼„+9ÃrÖŽág>?zI\ŸmýÞûÔØ ç?×òüÓí¶ÿ+ØçO…¿ïÙjŸßðÓ×?zzþâÊO¯ØÑòŸíø-Ž`ïùó÷ñ„¿Óïd~ú»ÕèŸÁ»ð¹q‡ñjÎË?£ºo­}¾ž}øæsgOõ©ûeu�«Ÿ7ĸié@�áÍX~®W�«Á5àZp¸Ün7�›Á-àVp¸üÜî¿w�»Á=à^p¸ß‡~§ƒà!ð0x< �ƒ'À“à)ð4x< ž¿σÀ‹à%ð2x¼ ^¯ƒ7À›àwà-ð{ðà`0x¼Þõ¡zz|>�!`(†ƒ`$Fƒ1àc0ŒãÁð ˜&�É` ˜ 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