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Our PMUT is a squared membrane with 4 sections separated by a cross-slit that aims to improve the acoustic performance of the device. The slit is sealed by a passive Si3N4 layer that allows reliable liquid operation as confirmed experimentally. Our FEM model shows that the cross-slit increases the displacement as well as the acoustic pressure outputs. The operational frequency of the device in liquid is designed to be in the range of 8-10 MHz. Applications of such devices are established in many fields such as medicine, security, energy harvesting, sensing, communication, chemistry. ¡xÜOx*dd /#þ/#þ /#þ/#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ /#þ /#þ/#þ /#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ /#þ /#þ/#þ /#þ/#þ/#þ/#þßÿ/#þ/#þßÿ/#þ /#þ /#þ/#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ /#þ /#þ /#þ/#þ /#þ/#þ /#þ /#þ/#þ /#þ /#þ /#þ#þ #þ #þ#þ #þ #þ #þ #þ #þ#þ #þ#þ #þ #þ#þ #þ#þ #þ #þ#þ #þ #þ #þ#þ #þ#þª˜                                                                                                                                            ¦&H @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`€  À!à"$ %@&`'€( )À*à+- .@/`0€1 2À3à46 7@8`9€: ;À<à=? @@A`B€C DÀEàFH I@J`K€L MÀNàOð ð c ðô…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ€�ÿÿÿƒ¿ÀÁÂÿÿÿËà=Ö×ÿ?€€€€@`€ßéç„焾Ó€€ðEI1<<ð ð c ðô…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ€�ÿÿÿƒ¿ÀÁÂÿÿÿËà=Ö×ÿ?€€€€@`€ÁÆç„ç„‚�€€ð�2´R<<ð6 ð ƒ ð€d8z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€ä1 @ Èc€€ðÙ˜ò ðŸ .RESONATOR DESCRIPTION :¡ÐOu*ddˆ)2þ-þ-þ2þ2þ-þ-þ-þ2þª~         ¦^ ˆ¨Èè(H h ˆ ¨ È è(Hhˆ¨Èèˆ)ð ð c ðô…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ€�ÿÿÿƒ¿ÀÁÂÿÿÿËà=Ö×ÿ?€€€€@`€ß韆Ÿ†¾Ó€€ða=EI1 [ð® ð ƒ ð€Ä8z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€-3zôZf€€ðìg}ÿÀP i ð~Ÿ TThis work has been partially supported by project TEC2015-66337-R (MINECO/FEDER) and P-SPHERE project (UAB), funded by COFUND-2014 (H2020 Marie Sklodowska-Curie Actions).¡«Ox*ddÿÿÿþÿÿÿþ ÿÿÿþÿÿÿþÿÿÿþÿÿÿþ ÿÿÿþÿÿÿþ ÿÿÿþ ÿÿÿþ ÿÿÿþ ÿÿÿþÿÿÿþª¶                   ¦*I @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`€  À!à"$ %@&`'€( )À*à+- .@/`0€1 2À3à46 7@8`9€: ;À<à=? @@A`B€C DÀEàFH I@J`K€L MÀNàOQð ð c ðô…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ€�ÿÿÿƒ¿ÀÁÂÿÿÿËà=Ö×ÿ?€€€€@`€O�Ÿ†Ÿ†O�€€ða=�2¨R [ðª ð ƒ ð€$9z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€=! @ =!€€ð‚=Ï4I›? ðzŸ 2Time-domain simulations :¡|Op*dd2þ2þ2þ2þ-þªF     ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðn ð ƒ ð€„9z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€—É^ ¼—É€€ð> ¤[0Œ$ ð>Ÿ âSingle top electrode, electrostatically actuated AlN-PMUT compatible with CMOS-MEMS. Sealed by a passive Si3N4-layer allowing reliable liquid operation. The acoustic signal is generated by a square membrane with 40µm side and 2µm cross slit.¡ÆUÿ}*§ð dþd Dÿ}*§ð dþd Yÿ}*§ð dþd  "þ "þ "þ"þ "þ "þ "þ"þ"þ"þ "þ "þ"þ"þßÿ"þ"þßÿ"þ "þ "þ"þ "þ/"þ /"þ /"þ /"þ /"þ /"þ /"þ /"þ /"þ/"þ"þªÀ                                                   ¦ª ( @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`€  À!à"$ %@&`'€( )À*à+- ðì ð ƒ ð€ä9z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€£7 @ Fo€€ða=ÝÜz? 𼟠BGeometry optimisation by COMSOL :¡�"Op*dd2þ2þ2þ2þ2þ2þªT      ¦j @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðÂ ð ƒ ð€D:z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€%.±b J\€€ð8#; ð’Ÿ LFig. 1 Optical images of the PMUTs: (top) standard square membrane with optimised electrode; (bottom) square membrane with cross-slit ýÿÿÿ                         ! " # $ % & ' ( ) * + , - . / 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 : ; < = > ? @ A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V þÿÿÿX Y Z [ \ ] ^ _ ` a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z { | } ~  ƒ but without optimised electrode.¡ §Ox*dd/þ/þþþ þþþ þþþþþ þª¶                ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðD ð ƒ ð€¤:z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€O`±b O`€€ðç7î/à; 🠘Fig. 2 (top) Schematic view of the PMUT-layers (bottom) SEM image of a fabricated resonator: (left) top view; (right) schematic view of the device with details about the cross-slit and the top electrode.¡20Ox*dd�Ox*ddþþþþ þ þ þþþþþþþþªÄ                 ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðð ð ƒ ð€;z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€Õ„Á‚Õ„€€ðI —3¶Qš% ðÀŸ ¦Different squared PMUTs with and without slit were compared by their acoustic performance; see Fig.3. The importance of the electrode optimisation and the drip of the passive-layer into the cross-slit were shown¡,fÿ}*§ð dþd nÿ}*§ð dþd  /"þ/"þ/"þ /"þ /"þ/"þ /"þ /"þ /"þ /"þ/"þ/"þ/"þ /"þ/"þ /"þ /"þ /"þ /"þ/"þ /"þ /"þ /"þ/"þªP                                       ¦r  @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @ ðø ð ƒ ð€d;z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€aŒ @ aŒ€€ðÙp2‹Fò ðÈŸ (Passive layer drip :¡´Ou*dd×H/2þ/2þ/2þ/2þ/2þ/2þ2þªb       ¦^ ×÷7Ww — · × ÷ 7Ww—·×÷7W×Hð ð # ðÜ…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€‰Ì±b ‰Ì€€ðsW~0œXð¦ ð ƒ ð€Ä;z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€«†±b «†€€ðk8^3èQt; ðvŸ ¸Fig. 3 The frequencies, the displacements and the surface pressure of four differently designed PMUTs are compared using FEM software (COMSOL). For two of the designs, the results of the acoustic measurements are shown. ¡<ÝOx*ddþþþþ þþþ þþ þþþþ þþþªà                    ¦v @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`ðš ð ƒ ð€$Ÿ CONCLUSIONS:¡h Op*dd2þ-þ-þ2þª8    ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðj ð ƒ ð€D=z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€Û.W®¶]€€ð›__­Qìd ð:Ÿ î FEM simulations justified measurements of a PMUT with novel design. The comparison between different cross-slit and standard square designs demonstrates two important conclusions. The amount of dripped material from the passive layer into the slit reduces the performance of the device. Also, the optimization of the top electrode is a safe strategy for good enhancement of the performance. Finally, the slit length and the top electrode were optimized. The latest update of the COMSOL model  UAB_square_CrosSlit.mph can be downloaded here: https://drive.google.com/drive/folders/1wOJc-hIdd48UDOAbd-d2FFwcygngziXs?usp=sharing.¡xO}*dd  "þ"þ "þ "þ"þ "þ "þ"þ "þ "þ"þ "þ "þ"þ "þ"þ"þ "þ"þ "þ "þ"þ "þ"þ "þ "þ"þ "þ "þ "þ "þ "þ"þ "þ "þ "þ "þ"þ "þ"þ "þ "þ "þ "þ "þ "þ"þ "þ"þ "þ "þ "þ"þ"þ"þ "þ "þ "þ"þ "þ"þ "þ "þ "þ "þ"þ"þ "þ"þ "þ"þªâ                                                                                                                    ¦" F @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`€  À!à"$ %@&`'€( )À*à+- .@/`0€1 2À3à46 7@8`9€: ;À<à=? @@A`B€C DÀEàFH I@J`K€L MÀN  ð|² ð ã ðT€€…‡A€¿ÀÁÂÿÿÿË�$Ö×ÿ?ð SJ¼Ps ð ð c ðô…‡@ABCEÁ F�VÁ WÁ€�ƒÿÿÿ¿ÀÁÂÿÿÿËà=Ö×ÿ?€€€€@`€’9~ü$s€€ðF*Tðv² ð Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðé%ØAy7ðv² ð Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðF%mþ0Ù,ðv² ð Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðu&3MR¾7ðv² ð! Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð8<C’Cðv² ð" Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð%C‘6¹OŸXðv² ð# Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðžJwM‰OÓUð– ð$ ƒ ð€¤=z��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€«†±b «†€€ðÍV^3èQÆZ ðfŸ ,Fig. 5 Time-simulation of the pressure field produced by the filled cross-slit PMUT: (a) actuation voltage, (b) displacement of the membrane, (c) pressure at 200 ¼m axial distance, (d) absolute pressure at 0.39¼s (the 50Pa-wavefront corresponds to the minimum pressure in (c)).¡ŽVOx*ddÁOx*dd/þþþþþþþþ þþþþþþþþþþ þª                      ¦v @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`ð²Vð„ ð’ÛCzoW ð%  ð#"ñ6Ÿ Ã* wOðÛC’{pWð� ð&  ã ðT€>z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�³³³ƒLLL¿Öÿ ð’ÛCÈ RF 🠠Varied Parameter¡6OdB'þ 'þª   ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðŽ ð'  ã ðT€d>z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�³³³ƒLLL¿Öÿ ðÈ ÛCþRF ðŸ >Displacement at the center [nm]¡$ OdB 'þª  ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð† ð(  ã ðT€Ä>z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�³³³ƒLLL¿Öÿ ðþÛC5RF ðúŸ 6Fequency of resonance [MHz]¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðp ð)  ã ðT€$?z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�³³³ƒLLL¿Öÿ ð5ÛCzRF ð䟠 Product [nm*MHz]¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðž ð*  ã ðT€„?z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð’RFÈ oH ðŸ El_off=10¼m¡@ OdB 'þþª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðT ð+  ã ðT€ä?z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðÈ RFþoH ðÈŸ  0.0888¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðP ð,  ã ðT€D@z��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðþRF5oH ðÄŸ 10.5¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð> ð-  ã ðT€¤@z��_‚Ì݃�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð5RFzoH 𲟡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðž ð.  ã ðT€Az��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð’oHÈ ŒJ ðŸ El_off=11¼m¡@ OdB 'þþª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðV ð/  ã ðT€dAz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðÈ oHþŒJ ðÊŸ 0.08955¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðP ð0  ã ðT€ÄAz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðþoH5ŒJ ðÄŸ 10.5¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðb ð1  ã ðT€$Bz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð5oHzŒJ ðÖŸ 0.9447525¡´ OdB'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þª~         ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðž ð2  ã ðT€„Bz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð’ŒJÈ ªL ðŸ El_off=12¼m¡Ð OdB'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þ'þþªš           ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðæ ð3  ã ðT€äBz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðÈ ŒJþªL ðZŸ 0.08935¡XOdBªb       ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð˜ ð4  ã ðT€DCz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ðþŒJ5ªL ð Ÿ 10.5¡:OdBª8    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð> ð5  ã ðT€¤Cz��_‚Ì݃�_„ж…‡¿€�v⃉í¿Öÿ ð5ŒJzªL 𲟡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðœ ð6  ã ðT€Dz��_‚–|ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð’ªLÈ ÈN ðŸ El_Side=37¼m¡< OdB *þª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð\ ð7  ã ðT€dDz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðÈ ªLþÈN ðП  0.0864¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðX ð8  ã ðT€ÄDz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðþªL5ÈN ðÌŸ 10.6¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð^ ð9  ã ðT€$Ez��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð5ªLzÈN ðÒŸ 0.91584¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðœ ð:  ã ðT€„Ez��_‚–|ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð’ÈNÈ æP ðŸ El_Side=38¼m¡< OdB *þª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð^ ð;  ã ðT€äEz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðÈ ÈNþæP ðÒŸ 0.08955¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðZ ð<  ã ðT€DFz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðþÈN5æP ðΟ  10.55¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðb ð=  ã ðT€¤Fz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð5ÈNzæP ðÖŸ 0.9447525¡$ OdB 'þª  ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðœ ð>  ã ðT€Gz��_‚–|ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð’æPÈ S ðŸ El_Side=39¼m¡< OdB *þª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð\ ð?  ã ðT€dGz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðÈ æPþS ðП  0.0897¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðZ ð@  ã ðT€ÄGz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ðþæP5S ðΟ  10.45¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð` ðA  ã ðT€$Hz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�æ× ƒ(ò¿Öÿ ð5æPzS ðÔŸ 0.937365¡$ OdB 'þª  ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð2 ðB  ã ðT€„Hz��_‚–|ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ð’SÈ SU 𦟠0CrosSide= =19.5¼m & 21¼m¡� OdBOdB /þ/þ/þ/þþªT       ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð\ ðC  ã ðT€äHz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ðÈ SþSU ðП  0.0895¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðP ðD  ã ðT€DIz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ðþS5SU ðÄŸ 10.5¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð> ðE  ã ðT€¤Iz��_‚Ì݃�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ð5SzSU 𲟡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð¤ ðF  ã ðT€Jz��_‚–|ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ð’SUÈ oW ðŸ CrosSide=20¼m¡BOdB /þþª*    ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààð^ ðG  ã ðT€dJz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ðÈ SUþoW ðÒŸ 0.08955¡$OdB'þª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðP ðH  ã ðT€ÄJz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ðþSU5oW ðÄŸ 10.5¡OdBª ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Ààðb ðI  ã ðT€$Kz��_‚ð*ƒ�_„ж…‡¿€�ÆÄƒ÷9;¿Öÿ ð5SUzoW ðÖŸ 0.9447525¡$ OdB 'þª  ¦f @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ÀàðTB ðJ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ÛCÈ ÛCðTB ðK  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ÛCþÛCðTB ðL  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþÛC5ÛCðTB ðM  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ÛCzÛCðTB ðN  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’RFÈ RFðTB ðO  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ RFþRFðTB ðP  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþRF5RFðTB ðQ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5RFzRFðTB ðR  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’oHÈ oHðTB ðS  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ oHþoHðTB ðT  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþoH5oHðTB ðU  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5oHzoHðTB ðV  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ŒJÈ ŒJðTB ðW  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ŒJþŒJðTB ðX  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþŒJ5ŒJðTB ðY  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ŒJzŒJðTB ðZ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ªLÈ ªLðTB ð[  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ªLþªLðTB ð\  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþªL5ªLðTB ð]  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ªLzªLðTB ð^  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ÈNÈ ÈNðTB ð_  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ÈNþÈNðTB ð`  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþÈN5ÈNðTB ða  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ÈNzÈNðTB ðb  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’æPÈ æPðTB ðc  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ æPþæPðTB ðd  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþæP5æPðTB ðe  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5æPzæPðTB ðf  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’SÈ SðTB ðg  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ SþSðTB ðh  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþS5SðTB ði  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5SzSðTB ðj  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’SUÈ SUðTB ðk  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ SUþSUðTB ðl  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþSU5SUðTB ðm  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5SUzSUðTB ðn  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’oWÈ oWðTB ðo  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ oWþoWðTB ðp  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþoW5oWðTB ðq  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5oWzoWðTB ðr  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ÛC’RFðTB ðs  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’RF’oHðTB ðt  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’oH’ŒJðTB ðu  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ŒJ’ªLðTB ðv  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ªL’ÈNðTB ðw  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’ÈN’æPðTB ðx  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’æP’SðTB ðy  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’S’SUðTB ðz  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð’SU’oWðTB ð{  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ÛCÈ RFðTB ð|  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ RFÈ oHðTB ð}  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ oHÈ ŒJðTB ð~  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ŒJÈ ªLðTB ð  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ªLÈ ÈNðTB ð€  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ ÈNÈ æPðTB ð�  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ æPÈ SðTB ð‚  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ SÈ SUðTB ðƒ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðÈ SUÈ oWðTB ð„  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþÛCþRFðTB ð…  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþRFþoHðTB ð†  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþoHþŒJðTB ð‡  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþŒJþªLðTB ðˆ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþªLþÈNðTB ð‰  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþÈNþæPðTB ðŠ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþæPþSðTB ð‹  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþSþSUðTB ðŒ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðþSUþoWðTB ð�  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ÛC5RFðTB ðŽ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5RF5oHðTB ð�  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5oH5ŒJðTB ð�  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ŒJ5ªLðTB ð‘  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ªL5ÈNðTB ð’  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5ÈN5æPðTB ð“  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5æP5SðTB ð”  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5S5SUðTB ð•  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ð5SU5oWðTB ð–  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzÛCzRFðTB ð—  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzRFzoHðTB ð˜  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzoHzŒJðTB ð™  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzŒJzªLðTB ðš  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzªLzÈNðTB ð›  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzÈNzæPðTB ðœ  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzæPzSðTB ð�  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzSzSUðTB ðž  c ð$DÀÿÿÿËÐÿ ?¿ðzSUzoWðp 🠃 ð€„Kz��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€«†±b «†€€ð°WŠ!¹Z ð@Ÿ ÎTable. 1 Top electrode and slit optimisation by variation of El_off (offset from the cavity boundary), El_Side (electrode diameter) and the CrosSide (slit length). A download link to the COMSOL model is given in the Conclusions. ¡˜VOx*ddPOx*ddBOx*dd þMþPþBþª8  M P B ¦v @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`ðv² ð  Ó ðN€€…‡A €¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð[-"d/G7ðö ð¡ ƒ ð€äKz��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€«†±b «†€€ðêUÄ N?ãY ðÆŸ Fig. 4 Electric potential (V) when boundary load of 100 Pa has been applied to the membrane. By dark gray is denoted the 0V-boarder. ¡Æ-Ox*dd(Ox*dd'Ox*ddOx*dd/þ&þ(þ'þþªF & ( '  ¦v @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`ðv² ð¢ Ó ðN€€…‡A €¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð°F" é1Vðž 𣠃 ð€DLz��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿@ABCEÁ F�VÁ WÁ¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?€€€€@`€ä] ºÈ€€ð×CF ¢MœF ðnŸ €Potential distribution in the AlN-layer at z=1.5¼m (see Fig.2).¡Äÿ}*§ð dþd "ÿ}* dþd /"þ /"þ/"þ/"þ/ þ/"þªT       ¦ª ( @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ Àà @`€  À!à"$ %@&`'€( )À*à+- ðN 𤠓 ð6€�ÿÿÿƒ“sê ”KI“¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++ðTñÙ Ú ðø@ðð�ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ððX¢ ð C ð…‡Ö?ð°Ç ðà  ð�¢ ð £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð° °0Ððà   ð Ÿð`¢ ð  ð`€¤Lz�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡¿¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð_� ß ðП *¡.Ox*dd/ þت ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðH ð ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²rP² ®<'ðõ¼ Lþÿà…ŸòùOh«‘+'³Ù0e PX| � œ ¨ ´ ÀÌéýPresentación de PowerPoint 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