%PDF-1.4 %âãÏÓ 192 0 obj <> endobj 194 0 obj <>/Font<>>>/Fields[205 0 R]>> endobj 189 0 obj <>stream application/pdf Marco Cavenago COMSOL Multiphysics Conference 2011 Radiofrequency Inductively Coupled Plasmas Towards Low Pressure 2011-10-06T13:23:48+02:00 MiKTeX, LaTeX with hyperref 2011-11-23T09:55:19-05:00 2011-11-23T09:55:19-05:00 ion beams, secondary beam, heat load pdfTeX-1.40.9 False This is MiKTeX-pdfTeX 2.7.3147 (1.40.9) uuid:3ede97b5-caaa-454b-abac-d671db9515d1 uuid:cfaf6e7c-f2c8-4095-b7a6-02302691e82b endstream endobj 195 0 obj <> endobj 193 0 obj <> endobj 262 0 obj <> endobj 186 0 obj <> endobj 187 0 obj <> endobj 188 0 obj <> endobj 76 0 obj <>/ProcSet[/PDF/Text]>>/Rotate 0/Type/Page>> endobj 82 0 obj <>stream H‰ÌWÛrÛÈýìS†Yq<÷ÁlÊ©ÒÅåµ×Z+³É–èÚ‚)HDL2J–_ö×Ó=€ <”´‰+•—ÆtÏéÓ}zfɳÿ�%Ž:#“ÙE™¦R›Ä*AwÉì<9#MµšL%—äïM^‡«Ãª¼ áR0fÂÕAÕL¦œ´NªrŸ¥ä¤®&SaÉ"ÏÏ‹ò²™¼Ÿ½NX2åœ:­“Ù¬?'‡Gï&"%o�á#©HVÂçáº*WE™Ï'Ô9åš*—ÂJ…ëâ;³ï'SÍ™5“åäWËÖeóq¢ É0–”‘ýîí鲸ñÏ!6íflóÓ²3šMR¤.ó›=ïypÜŽŽ³‚4JÇá"+?¢ó àÓ©Îïîz£“UÖ\eaYÄŸ�ð7œJ“Bà€ðt2û×ý‘=|8í-C@&Ä„ÔL"pPŒóùäÜÒ··˜b‚¼Ì«9ã²öÁßMR ¾¦Š;ò£7àä]µ^ dËî¹< Ï_¬òE[WWÙåt'XeÞ 0°O‹+ô°^emQ•øL“‹ª/�‹EàÖ'Ñãˆ>ó`Àó^f†e«õ50ä#r n¯<]•]•áäyY!«�µøîe�—Õ‡U¾Yxl÷t‡GÓwèøx<ÙAç:èŽéabJò2»¬0çP 3L¶4ä§õ*¿уj¹èØ&§ÞÔÖæ»l!æ@® wĆ2¥Îš@�3ò.¿�e­fätQtW¯Ê¦­×€ÂâA‡E¾b×=V:XYñŽ”VFHy†›Jµ"Z‹3i¡ƒØñ<%™JzÇÉY‡ëKÄóÔý¿)š6¯9¥È¯tz<<ïž4!׿toöéN _bOJÉù�gØÇ8šŽÚËר˜!û×׫îrSÒ� L÷xÅÕ45®ÇÓíÂSrNRçdð8'Ü93Ô³�”ómNr>�ö'µoxøÿ¦È?øçõôVÿÌãµ12~“Áx�[óûkóÿú�/£HÅ>©‹rQ\¯rPa,©.ðßôÕëŸMð”Õ—½]ˆ .޳é¦4!óEE-€`Ai(ûü>ÁÈ»W¿àu¾jëþeèŸþ+ß?ñêU9Ýš_L˜_°©^Ñ )ß s û #)fJ1W£p6N‚’À…€À‚� pz@Ê,Xð‡:ßqÖùjUù1äg¬yè™'ÅÊ÷¸ì*�{Ðð~rÊï|›ärTb³´W7GÞ^·E/9Å—NñÑ{þ¿Áú¶§Å—‘"¿BK Œ?È3üú*ÜåóÆ�ªn|�Üh>¾ìFT¨š0¢FÒ5H¿ÏÍ ûª“ý´—}¬M™@E÷±8‡ÄIA…êIÀ EçÅçB s¢ B˜2ñÍ¢”=P~`ÂýYMUy¾Fû¢Å/îb­œ¦‚‡`Ͼ3¥G\IYÝæ~G¼1ŸÒ(XÛ7ïª>‡‡E™¡I¿¼ue¨Ãôðù/°´áh(@\—ÊÞ´è*7‘u7šæ¶É½á3€£#ðD¨Õa÷Jè[¯¡Ÿû¶«CŽ jœ�“0],": \$›ç½ÍxëBýÊÓÖ"\‰îý÷±8å®HqY\¤ª·˜ûÚøz¡)–¹‰ìXAúÝ·Ø1´P ØÓx8{’Ç<– 9rC(\tÅA+4|ì(†b Œ9Š£š(mŸ­W¸�òÆÀÆÍc¼aTsóG<} ôbŽ ›šÇàS`ä6®ÎˆŸ(°Þvç+¼^Ž´?V—@¨É}?Kµüã¼õ¤¬xÌ“¦–�vͨ‰ùRÔ¹a–KPia4ÆfˆÝpdäŽ]æq÷;7jvlt΋½½{hGùÀy›Hê„ðs4z1K>%Ø×üÂä@Yj}žëdq•0*AÌnop…[4^%§Éß’ƒÙ}›"¤]DÔ”ÃH*©’ÆÛD¦µ ˆ)ot±c!� 6gä;T¨¡H˜òÇ+ÆrÄeÌm–Ä#•ìO£:¢u[¬¾]æukÔp4Ôòi„Ü œ*„ï¯ÀÃJé2« Ý <úà}òY´ëóî5ÌO1!G­áòiméÉÑíh¶€ˆ–ÚÒ‘$†<£fпh�sªUÚ×]Èt�=ÔF$dÒÁ�†4˪n—*ÅqF×õ‡¦ÄÚ0#�aQ†ÿǤOa<_0ˆ‹íYE|Ý/ó‘¡Loå÷4°e)Ÿ6¿ìNDfŘ$ß%à¸sKýf…qo°� >öâ~Lª"~DÔOs$¬±UÕ<êˆË­HHt"K]¯á1>™Í8uFàà4$¿ÅBÔšô'á1�Z/†ˆÆù€óQ˜ÔX«•wªÿ8ö�쩇dO?¶£†«~kÏñô—‡pk’ ηŠ:ª Usj…M´e4…iÁ|[´K¨LÎ6•=ŒXã`RŒk€!”ÓzÞE�¦Ã)c΄�ÁNð(ÎfÜ/ùØÕõÆ�úA.�)#„cD:vK—µKÇ»ŠmßÑ”õÓÄÓÛ÷.¸ã”ÝR ›ÆÀ8‚²Çæ›8,ð^é§L *Â(ÊèÌBbøA?sz�$P+$Ù÷mQ`>^ya6äcYáým^^Tuxþc±Zý)0|j±XܶÈäŸÖY[T¥ÃiªÕoñÎm“Ý8€À¸)®ýH�×E˜ Ρû—ër1õžØÆÇQBüz‘Fùyt*��Öü·í±mïÁ>N œà$ P�f–žm>MG²¹q_0L!Eiê—ûgÄéTST>\û¹øéN‘ž±Æ,`·ëXÁûdØÊl ËéX óÏ×±ŽþÒ^ Û¡ç$Æè&Ö ŽußV=h–ßÅ–ÐÝ1¡;@ •Øö5Üx¢s¥à@L—ØË̃“´d”‹¾ýÆBv –r<í)£»..ëPw¨*x_gm…š*FÞÀ°æŸ­»�ÎóùE?ÑJG•Øî‚Ÿ¢: ”},« î1Éóþ}¶š�cú<�­„s7”wl©ûd�UF¬Ís8ŒGEßí"›¸>qeþèQë‡ñ‚¡¥õr›æ {½ŽìÔŒoÇ;áM„¬¸ý?KžŽ.5NÒ¿™¯’&·�+üWxÄX& ½w—­C|JRV•ãTŠæ`DÄ\F$Gýû|¯+ùP#+•Ë ˆ¥ûõ[¾å W¥È솄D%)¦ E8äz•2Þd?r•’&W¡Æƒ‚¿ðXF€œ>Ö�„I7 ñÉÖºÇ(4ÈÀ Qh¢B§;ßemô]ñâtØÅ[.;–ëçã±Ü¯ëWŽå6é©ù|^Ä ›¸Óûï°4gÄ ‚XCˆÏ3×bF ˜Ë3ëµ�E�Õ�ƒ™�_ &Ð~½× âLï%ú{±H‹27]û7–ŒHÔÊŒ%8 0�† °Â\MÛ,Ž »)�æk¢“Pju• µÚž ±8@�¬;ƦobsHØ¿Uú‘ô YD?…•~Ñ05�zèÌ r@†–õ¨˜q¹&LºNíF¢Ìe‡SYG,±‚¼}Õ9¶ Êv‡c<£o=UÛÏévCjqžèF# I‚j“ýrçuVëyÙuùÊp½ÚÒZ úìÓ]‹�õïA×÷„y�¹×M'þ{ROô¾ºÇ«P� uWz¯µhÄ +'мè %&ö*̾ïhu9œnÿ¶ËM�˜-Q+QDÏÙÇ‚zS�Êû+OKáU®tjÈFÞäV9a‰Y·}åðÈ„ñe®†´w²QSÅæR¥Q–IÊ)4ÛóZw UnU~>óRÙùÌ£“yûXs/öð“’+Bôžß® ³ÙFÔJ]fû¥:oXI*`˜ d‰ Zá¾y,¤ÎÞÆ@� ŠÛæÌDËZàÝûÅÇ`�¿ÊˆrÙÀ (éë*¢P‘—E|a“€\œn?/þ±øóûËš ¤»>œ¾µŽ�‹Aõ9±`:Åæ¶öV×Ä4æw˜D)ä©�/ysvUîL+hß ¹Rfª­rÏÄBp­a¬•¤ r­IÃp¬ª K®“íu^DèKv»D?Û|³°s´žMx1šðöÜ’ëî¬âò&‘�Vy¡)¯CQ)zªr~X’«@–íKm$£\(Ü‘‰T.V_t�,ÚÚG>à57ð©€^ó¹+l=“¦£@�£‚. 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