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Tzanov 1 , J. Llobet 2,3 , F. Torres 1 , F. Perez-Murano 3 , N. Barniol 1 1 Faculty of Electronics Engineering, Universitat Autonoma de Barcelona (UAB), Spain 2 International Iberian Nanotechnology Laboratory (INL), Braga, Portugal 3 Institut de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM CSIC), Spain Contact: vassiltzanov@gmail.com Linkedin: www.linkedin.com/in/vtzanov/¡È%O dbO dbNO dbâO dbO db O db'O db%'ÿÿÿþ'ÿÿÿþ'ÿÿÿþ ' ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ! ' ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ! ' ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ!' ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ! 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Phys. Lett. 2015, 107, 073104 ** Multi-Frequency Resonance Behaviour of a Si Fractal NEMS Resonator, Nanomaterials 2020, 10(4), 811 ¡ì ’/ ÿÿÿþZ/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ#/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþB/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ/ ÿÿÿþ / ÿÿÿþª¨ Z   #    B     ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ð>¢ ð  ð`€Dz��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿¿ÀÁÂÿÿÿÖ×ÿ ?ð7Q÷ê 𮟠*¡  ª ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðv² ð Ó ðN€€…‡A €¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðÅÀÿ^ ð@¢ ð  ð`€dDz��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿¿ÀÁÂÿÿÿÖ×ÿ ?ð7J #ê ð°Ÿ **¡  ª ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ð< ð c ð$“qÑ™”qÑ™¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ =ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++îªï €ùÙ Ú ÌðÄ�ð$ðVð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð$ð¤ ð$  ðf€ÄDz�‚ƒ„…‡¿¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ? ðÒãë—ðà   ðöŸ LCOMSOL models of untensioned structure¡' 'ª' ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðv² ð$ Ó ðN€€…‡A €¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðìvC�ðv² ð$ Ó ðN€€…‡A €¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðì&Lr ðv² ð$ Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð\vCs ðN ð$ “ ð6€�,>PƒÓÁ¯“qÑ™”–†V¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ =ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++î& ï €ùÙ Ú H ð@  ð(ðÒ ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð(ðh ð(  ðf€$Ez�‚ƒ„…‡¿¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ? ðŽäêQðà   𺟠Summary¡ dª ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðv² ð( Ó ðN€€…‡A€¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð&;…Æ ð¬¢ ð(  ð`€„Ez��_‚ȯƒ�_„ȯ…‡¿¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ðýQsØ  🠬 By using COMSOL FEM software we have analysed important material properties and features of the complex geometry of our NEMS device. - The Young modulus of the NEMS resonator was predicted. - We have shown how the symmetry of the device affects the frequency spectrum. - We have shown how the residual stress affects the distribution of the mechanical modes. - It was numerically confirmed that the piezoresistivity can be used for electrical characterisation of our fractal nanoresonaor. Such an electrical detection of resonant peaks is a key feature that allows practical applications.¡>‰  9  O  [  æ ÿÿÿþ…ÿÿÿþÿÿÿþ9ÿÿÿþÿÿÿþOÿÿÿþ/ÿÿÿþ/ÿÿÿþYÿÿÿþ/ÿÿÿþ)/ÿÿÿþ½ÿÿÿþª¨ …  9  O   Y  ) ½ ¦^ @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ ðN ð( “ ð6€�,>PƒÓÁ¯“qÑ™”–†V¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ =ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++ðìñÙ Ú5 ˜ð�°ð,ð(ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð,ðX¢ ð, C ð…‡Ö?ð¹ÞÛ ðà  ð�¢ ð, £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð ܼTðà   ð ŸðH ð, ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðìñÙ Ú5 ˜ð�Àð0ð(ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð0ðX¢ ð0 C ð…‡Ö?ð¹ÞÛ ðà  ð�¢ ð0 £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð ܼTðà   ð ŸðH ð0 ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðìñÙ Ú5 ˜ð�Ðð4ð(ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð4ðX¢ ð4 C ð…‡Ö?ð¹ÞÛ ðà  ð�¢ ð4 £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð ܼTðà   ð ŸðH ð4 ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðìñÙ Ú5 ˜ð�àð8ð(ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð8ðX¢ ð8 C ð…‡Ö?ð¹ÞÛ ðà  ð�¢ ð8 £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð ܼTðà   ð ŸðH ð8 ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðìñÙ Ú5 ˜ð�ðð<ð(ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð<ðX¢ ð< C ð…‡Ö?ð¹ÞÛ ðà  ð�¢ ð< £ ð<…‡¿À4e¤ÁÂËš[Ö×ÿ ?ð ܼTðà   ð ŸðH ð< ƒ 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