Tokyo Electron Pushes the Limits of Chip Density with Simulation

Derek Bassett and Michael Carcasi
Tokyo Electron America
Austin, TX

芯片制造商一直在坚持遵守摩尔定律，它规定了自 1965 年起，出于经济考虑能放置在集成电路上的晶体管数量每年翻一倍。然而，由于晶体管的数量增加，制造集成电路的过程（也叫光刻）变得更加困难。每个装置都需要大约 200 个清洁和光刻步骤，而且此过程一旦出现故障就可能斥资数百万美元。

Tokyo Electron America (TEL) 是一家制造集成电路处理重要工具的生产商，他们使用仿真来了解一种称为图形倒线的故障类型。图形倒线会在两个特征之间的清洁流体蒸发时发生，而在蒸发过程中表面张力发生变化会导致特征弯曲。理想情况下，这些特征会恢复正常形态，但有时它们发生永久变形。

TEL 的研究人员使用 COMSOL Multiphysics 软件创建了一个二维结构力学模型，它基于以表面张力为边界条件的一系列稳态计算。他们将这些结果与文献数据进行对比，发现该模型精确地预测了倒线临界纵横比。