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此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解，随后，将解转换为时域解，再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器，这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ...扩展阅读

本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。扩展阅读

本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期，以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。扩展阅读

本教学案例在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体。在低功率时，电流中的谐波较小，在选定功率值下可获得完美匹配。执行功率、频率和压力扫描，并研究它们对匹配功率传输比和效率的影响。最后 ...扩展阅读

流注放电是瞬态丝状放电，在存在强电场的情况下，可以在非导电背景中发展，这种放电可以获得较高的电子数密度，并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 ...扩展阅读

本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象，模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征，并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。扩展阅读

本教学模型用于分析微波等离子体炬的工作特性。等离子体在插入矩形波导的介质管内产生，仿真以完全自洽的方式，求解等离子体在传递与加热、微波电磁场、流体流动以及传热之间的多物理场耦合方程。扩展阅读

“漂移扩散”接口求解一对反应/对流/扩散方程，其中一个方程描述电子密度，另一个描述平均电子能。 该教学案例计算了漂移管中的电子数密度和平均电子能。由于左边界上的热电子发射，电子以假定的平均电子能释放。随后 ...扩展阅读