AltaSim Runs Plasma Analyses with Simulation

Luke T. Gritter, Sergei Yushanov, Jeffrey S. Crompton, and Kyle C. Koppenhoefer
AltaSim Technologies
Columbus, OH

AltaSim Technologies 主要提供工程咨询服务，其中包括先进的多物理场建模，如电容耦合等离子体（CCP）。等离子体蚀刻和薄膜沉积，这是先进微电子器件制造过程中的关键工艺，通常采用 CCP，其中的等离子体通过两个或多个电极之间的振荡电场触发和维持。CCP 的分析非常困难，因为要达到周期性稳态，等离子体的动力性能和大量 RF 周期是必需的。通过使用 COMSOL Multiphysics 在麦克斯韦和非麦克斯韦案情况下的轴对称 CCP 反应器中进行低频 RF 放电的一维和二维仿真，AltaSim Technologies 开发了可用于协助 CCP 加工技术的仿真模型。