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本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。扩展阅读

柔性机构由于不需铰链而具有简单性，因此非常有吸引力。在这个模型中，我们介绍如何使用拓扑优化设计一套柔性钳。使用形状优化对最终设计进行后处理，其中使用应力聚集函数来限制最大应力。最终设计在三维中得到了验证，并导出了 ...扩展阅读

这两个模型介绍了如何使用全耦合方法或单向耦合方法建立磁流体力学模型。有关这些模型的更详细描述，请参阅博客文章“在 COMSOL® 中构建磁流体动力学多物理场模型”。扩展阅读

旋转圆筒赫尔槽是电镀过程中的重要实验分析工具，用于测量电镀槽的不均匀的电流分布、质量传递和均镀能力。本模型研究了沿电极的一次、二次和三次电流分布以及阴极周围扩散层中的铜扩散，再现了论文 [1] 中发表的市售槽 ...扩展阅读

本例研究由摇臂和径向凸轮组成的弹簧式阀门开度机构。所有系统组件均作为刚体建模，并通过棱柱关节、铰链关节和槽关节连接。凸轮-从动件连接以及其他关节连接通过多体动力学 接口中的内置节点建模。 ...扩展阅读

本教学案例中的换热器包含具有振荡波形的动态壁，变形引起流体混合，还会减缓热边界层的形成，因此，变形提高了壁与流体之间的传热效率，此外，波形变形引起类似于蠕动泵的泵送效应，可补偿压力损失。此模型将用于固液传热的共轭传热 ...扩展阅读

低介电常数薄间隙边界条件，用于静电场模拟，近似处理与周围介质相比较而言具有较低相对介电率的薄层材料。本例比较低介电常数薄间隙边界条件和全场模型，讨论了这种边界条件的应用范围。扩展阅读

典型的地电正演问题（包括电阻率层析成像 ERT 和早期的垂直电测深 VES 等技术）计算在其他电极 (A,B) 处向地面注入电流时一组给定电极 (M,N) 上的电势。 通常情况下，物理域（地球）是无边界且无底部的 ...扩展阅读