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本模型模拟了在 U 型结构表面沉积氧化铝薄膜的 ALD 沉积过程。该工艺采用三甲基铝 (TMA) 和水 (H2O) 作为气态前体,氮气作为吹扫气体。气态反应物依次被引入反应腔室,并在U型结构表面经历一系列吸附和化学反应 ...扩展阅读
本例探讨多孔介质中电渗流的建模。该系统由烧结多孔材料隔室和产生电场的两个电极组成。电池结合了压力和电渗驱动流。 所求解的方程是流速和电流密度的连续性方程以及使用电动流动应用模式的质量平衡 ...扩展阅读
典型的电容器由两个导电物体组成,这两个物体之间有电介质。在这两个导体之间施加的电压差在二者之间产生电场,这个电场不仅直接存在于导电物体之间,还会延伸一定的距离,这称为边缘场。为了准确地预测电容器的电容 ...扩展阅读
本教程示例通过一个简单的悬臂梁实体模型来介绍“模态综合法”(CMS) 的概念。梁的某些部分通过 CMS 技术进行了降阶。本例还通过研究梁的阻尼自由振动,演示如何使用 CMS 来表示整个装配的静态和动态特性。此外 ...扩展阅读
开口谐振环 (SRR) 具有可抑制特定范围频率的带阻频率响应,这种 SRR 结构常被用作谐振器本身,并可以进行周期性地组合,用于构建人工元材料。 在此模型中,介电基板上的印刷 SRR 耦合到微带线 ...扩展阅读










