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本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象,模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征,并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。 扩展阅读
本例研究流经玻璃毛细管的流动流体中的声阱三维模型,其中的声学由施加在压电换能器上的振荡电势驱动固体管壁引起机械振动,从而在流体中产生声压场。本例对压电换能器产生的热量进行建模,这会在玻璃毛细管中产生温度梯度 ... 扩展阅读
本例中的模型演示如何通过用户定义的集总端口和集总元件在导体之间引入激励和集总电路元件。在其他一些模型中,演示了如何使用阻抗和过渡边界条件而不是体积方法来模拟导体。 欢迎阅读博客文章“结合运用体积导体模型和集总元件” ... 扩展阅读
直拉法(Czochralski,CZ)是制备单晶硅的核心工艺之一。通过精准调控加热功率、拉速和晶体旋转速率,能够有效控制晶体的形状,尤其是其直径。 本模型演示了直拉法晶体生长炉的热分析过程。系统采用电加热器进行加热 ... 扩展阅读
光学计算在取代当前电子计算机方面有着广阔的应用前景。本模型模拟一个基于六个马赫-曾德尔干涉仪 (MZI) 网络的光学 4x4 酉矩阵乘法装置。 欢迎阅读我们的博客文章“光学计算设备的仿真分析”,获取对该模型的更详细描述。 扩展阅读
本教学案例求解 CF4/O2 混合气体中的电感耦合等离子体反应器问题,其中完全自洽地求解了等离子体传递、磁场、流体流动和传热过程,并对反应器进料中的氧气摩尔分数进行了参数化分析。 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解,计算了流体流动和气体加热过程。此外,还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
此模型说明了轴向单极感应轴承的工作原理。在永磁体产生的磁场中,导电转子旋转产生感应涡流,涡流又产生与磁体的磁场方向相反的磁场,并感应产生与转子运动方向相反的力。转子的轴向位移总是与磁斥力达到平衡,因此 ... 扩展阅读
