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Plasma Module
本例使用全局模型来研究中等压力下的氢等离子体反应器,其中包含重物质热方程。在研究的第一部分中,我们使用了麦克斯韦电子能量分布函数;第二部分则采用两项近似的玻尔兹曼方程来自洽地求解全局模型。扩展阅读
电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作,具体取决于放电功率。在低功率状态(称为 α 态)下,电场振荡导致产生热量,并产生电子。在高功率状态(称为 γ 态)下,放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ...扩展阅读
电容耦合等离子体的基础物理学相当复杂,即使是相当简单的几何构型和等离子体化学反应也是如此。此模型基于多个不同计算结果对“电容耦合等离子体”物理场接口进行基准测试。扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中,我们研究氩等离子体的形成周期,其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ...扩展阅读











