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求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。扩展阅读

此模型模拟了具有氩/汞化学性质的无极灯。汞原子的激发阈值较低，意味着即使汞的浓度很低，其特性也占主导地位。等离子体在 185 nm 和 253 nm 处发射出强紫外线，继而激发涂在灯泡表面的荧光粉。从电路角度来看 ...扩展阅读

流注放电是瞬态丝状放电，在存在强电场的情况下，可以在非导电背景中发展，这种放电可以获得较高的电子数密度，并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 ...扩展阅读

本教学案例通过研究演示氙的瞬态负迁移率和负微分电导率效应。其中使用两项近似中的稳态和瞬态玻尔兹曼方程来计算电子能量分布函数。电子能量分布函数、电子平均能量和漂移速度与 Z. Donko 和 N. Dyatko ...扩展阅读

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ...扩展阅读

在低温等离子体中，电子传输行为与电子能量分布函数 (EEDF) 密切相关。通常，这种能量分布函数可近似为麦克斯韦分布，但实际过程中常处于非平衡状态。如果要在空间相关模型中纳入非平衡 EEDF 特性 ...扩展阅读

本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器，并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描，深入分析了反应器的性能变化。扩展阅读

本教学模型用于分析微波等离子体炬的工作特性。等离子体在插入矩形波导的介质管内产生，仿真以完全自洽的方式，求解等离子体在传递与加热、微波电磁场、流体流动以及传热之间的多物理场耦合方程。扩展阅读

本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象，模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征，并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。扩展阅读

“漂移扩散”接口求解一对反应/对流/扩散方程，其中一个方程描述电子密度，另一个描述平均电子能。 该教学案例计算了漂移管中的电子数密度和平均电子能。由于左边界上的热电子发射，电子以假定的平均电子能释放。随后 ...扩展阅读