ASML Advances Photolithography Systems with Multiphysics Simulation

Fred Huizinga, ASML, Netherlands

研发最先进的计算机芯片与生产芯片的机器，必须对各种紧密耦合的物理现象有深刻的理解。高精度设备的每一步设计与研发工作都离不开仿真的帮助。一套完备、易用的仿真工具拥有不可替代的重要性。荷兰阿斯麦（ASML）公司的工程师借助仿真技术设计了一种可在光刻系统中进行高精度运动的空气轴承，并且开发了仿真 App，支持整个团队的同事方便地对各式设计性能进行虚拟测试。